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- [实用新型]激光氮化设备-CN201620825690.9有效
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张翀昊;樊宇;倪春阳
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常州天正工业发展股份有限公司
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2016-07-29
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2018-01-05
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C23C8/36
- 本实用新型公开了一种激光氮化设备，它包括机床、固定设置在机床上并用于装设待加工工件的激光氮化盒、能够分别沿X轴、Y轴、Z轴移动地设置在机床上的激光硬化头，X轴、Y轴、Z轴两两垂直设置。本实用新型激光氮化设备为数控激光氮化成套设备，在使用其对工件进行激光氮化时，将工件固定在激光氮化盒内，并向激光氮化盒内输入一定压力的氮气（或其他能够应用于激光氮化的混合气体，一下简称为混合气体），氮气（或混合气体）通过电加热棒加热到所需的温度，机床按照数控系统预先设定的程序，带动激光硬化头运动，激光从激光硬化头射出，透过耐高温高压玻璃窗照射到激光氮化盒上的工件表面，促使氮气离子化并与工件表面发生氮化反应
- 激光氮化设备
- [发明专利]一种氮化镓基外延膜的制备方法-CN200810070780.1无效
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刘宝林;黄瑾;郑清洪
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厦门大学
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2008-03-19
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2008-08-20
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H01L21/20
- 一种氮化镓基外延膜的制备方法，涉及一种氮化镓基外延膜。提供一种提高氮化镓激光剥离的速率，降低氮化镓激光剥离的阈值功率密度的氮化镓基外延膜的制备方法。在蓝宝石衬底上生长氮化镓基外延膜，将其P面粘在衬底支撑材料上，或用金属键合在衬底支撑材料上；设定电动平台的行进速度；将外延膜固定在载物玻璃上，放入真空室中抽真空；调整激光束经过光学系统后的聚焦光斑大小，激光束照射到外延膜背面，激光光斑扫描外延膜，使蓝宝石和氮化镓界面的氮化镓发生分解，氮化镓基外延膜与蓝宝石衬底分离；激光扫描蓝宝石衬底上生长氮化镓基外延膜结束后，关闭真空泵；将外延膜浸入盐酸，去除氮化镓和蓝宝石表面的镓
- 一种氮化外延制备方法
- [发明专利]一种氮化镓衬底剥离方法-CN202210159444.4有效
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郭芬;苏康;满宏涛;李拓
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苏州浪潮智能科技有限公司
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2022-02-22
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2022-05-13
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H01L21/335
- 本申请公开了一种氮化镓衬底剥离方法，包括：获取上表面直接生长有氮化镓外延结构的氮化镓衬底；利用激光光束经外延结构对氮化镓衬底内部进行扫描照射，在氮化镓衬底内产生分解层；激光光束为脉冲宽度小于10‑15s量级的激光，分解层与氮化镓衬底的上表面的距离小于氮化镓衬底的厚度；将氮化镓衬底在分解层处分离，得到剥离后氮化镓衬底和半导体器件。本申请在由氮化镓外延结构到氮化镓衬底的方向上，用激光光束照射氮化镓衬底，使氮化镓衬底内部发生热分解反应，氮化镓衬底在分解层处分离，得到单纯的剥离后氮化镓衬底和半导体器件，即在得到半导体器件的同时实现了氮化镓衬底的剥离，剥离后氮化镓衬底可以重复利用，降低氮化镓衬底的成本。
- 一种氮化衬底剥离方法
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