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[发明专利]形成具有粗糙表面的多晶硅的方法-CN200410054227.0无效
发明人：江瑞星;梁世岳 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2004-09-02 - 公布日： 2006-03-08 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种形成具有粗糙表面的多晶硅的方法，它利用化学气相沉积法沉积一个多晶硅层，然后利用刻蚀液对多晶硅表面进行侵蚀，使多晶硅表面产生更大的表面积，或者在化学气相沉积多晶硅层时，同时通入一种含有氧分子的气体，来使多晶硅晶粒表面形成硅氧化物，再利用对该硅氧化物与硅具有高选择比的刻蚀液，对多晶硅表面进行一次刻蚀工艺，以获得一个具有较大表面积的多晶硅。
形成具有粗糙表面多晶方法

[实用新型]一种立式自动排渣离心机-CN202222580937.3有效
发明人：杨外兰;刘斌 -专利权人：上海沃邦环保科技有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： B04B11/08 文献下载
摘要：、刮板伸缩汽缸、接水盘、接水盘伸缩汽缸、污水导流槽、出料口、集水箱、气动隔膜泵、液晶显示器、接渣箱、上层碳钢板、下层碳钢板、电机固定板；本实用新型中，利用转筒式离心仓高转速运动所产生的强大离心力将磨削液中的液相与固相杂质进行分离处理，当污液通过气动隔膜泵进入高速旋转的转筒内腔组成磨削液的轻重相，由于受到不同的离心力，重相杂质快速沉积到转筒内壁上，而轻相磨削液附着在重相表面随转筒高速旋转从溢流孔流出，干净的磨削液经集水箱流出，当一个工作循环完成后沉积在转筒内壁上的固相杂质由刮刀刮离排进接渣箱，达到污液的过滤和自动排渣的功能。
一种立式自动离心机

[发明专利]检测基底循环多次利用的CO气体光谱传感器的用途-CN201410647638.4无效
发明人：葛明;姚建林;袁亚仙;贾雪平;王南平 -专利权人：南通大学
申请日： 2013-08-19 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测基底循环多次利用的CO气体光谱传感器的用途，是在CO的吸附及SERS检测中的应用，CO气体光谱传感器的制备方法以正己烷为油相，将正己烷加入到金溶胶溶液中，在油水液/液两相界面上形成金纳米粒子膜；将金膜捞至ITO导电玻璃上，制备成单分散的且具有SERS增强效应的金膜固相基底；计时伏安法恒电流沉积Pt颗粒至金膜固相基底。本发明通过电化学方法选择合适的沉积条件沉积Pt颗粒，利用金膜的表面增强效应和Pt与CO分子的强化学吸附作用，充分发挥表面增强拉曼光谱极高灵敏度及光谱分辨率高的特点，对CO气体分子实现实时在线检测。
检测基底循环多次利用 co 气体光谱传感器用途

[发明专利]高灵敏度的CO气体光谱传感器的制备方法-CN201310359876.0无效
发明人：葛明;姚建林;袁亚仙;贾雪平;王南平 -专利权人：南通大学
申请日： 2013-08-19 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种高灵敏度的CO气体光谱传感器的制备方法，以正己烷为油相，将正己烷加入到金溶胶溶液中，在油水液/液两相界面上形成金纳米粒子膜；通过提拉法将金膜捞至ITO导电玻璃上，制备成单分散的且具有SERS增强效应的金膜固相基底；采用计时伏安法恒电流沉积Pt颗粒至金膜固相基底。本发明通过电化学方法选择合适的沉积条件沉积Pt颗粒，利用金膜的表面增强效应和Pt与CO分子的强化学吸附作用，充分发挥表面增强拉曼光谱极高灵敏度及光谱分辨率高的特点，对CO气体分子实现实时在线检测。
灵敏度 co 气体光谱传感器制备方法

[发明专利]多特征管段、多角度位置、颗粒浓度可控的冲蚀沉积测试装置与测试方法-CN201910341343.7有效
发明人：赵延鹏;吴志锋;谢文明;刘莹;王富强;程子明 -专利权人：辽宁红沿河核电有限公司;哈尔滨工业大学（威海）
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G01N15/04 文献下载
摘要：多特征管段、多角度位置、颗粒浓度可控的冲蚀沉积测试装置与测试方法，属于核电站管道冲蚀沉积测试领域。本发明解决了传统管流式冲蚀沉积实验装置不能同时测试不同特征管段、同一管段不同角度位置冲蚀沉积情况，以及难以模拟核电站一回路管道内颗粒浓度随时间变化的冲蚀沉积情况的问题。本发明中动力装置包括变频器、三相电机和离心泵；变频器的输入端连接三相电源，输出端连接三相电机，三相电机输出端连接离心泵，离心泵进水口连接循环管道主管路末端，离心泵出水口连接循环管道主管路始端；测试装置的部件中，与储液罐中介质接触的各部件均为非金属材料或不含Co、Fe、Ni、Mn、Cr的金属材料。本发明用于冲蚀沉积测试。
特征管段角度位置颗粒浓度可控冲蚀沉积测试装置方法

[发明专利]熔融基底表面制备功能薄膜的方法-CN200610049552.7无效
发明人：叶高翔 -专利权人：浙江大学
申请日： 2006-02-21 - 公布日： 2006-07-26 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：一种熔融基底表面功能薄膜的制备方法，其特征是采用在室温下为固相的低熔点低蒸汽压材料为薄膜基底。沉积薄膜之前，升高基底温度，将其熔融而成为液相基底；然后采用磁控溅射或热蒸发等方法，将薄膜材料原子蒸发并沉积到液相基底表面，通过扩散、成核、旋转、凝聚，生长成具有特征晶粒结构(多晶)的功能薄膜；沉积结束后
熔融基底表面制备功能薄膜方法

[发明专利]一种轻质高强复合材料及其制备方法-CN202310152259.7在审
发明人：刘军;王臻 -专利权人：中南大学
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B22F7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种轻质高强复合材料，包括交替沉积的陶瓷沉积层和金属沉积层，所述金属沉积层由金属颗粒经激光熔化沉积而成，所述陶瓷沉积层由陶瓷颗粒经激光熔化沉积而成，且所述陶瓷沉积层表面与金属沉积层表面通过瞬时液相扩散连接本发明的轻质高强复合材料，采用激光熔化沉积工艺交替沉积金属沉积层和陶瓷沉积层制备得到，实现了陶瓷‑金属一体化结构成型，在轻量化的同时具有良好的刚性和延展性。本发明还提供一种轻质高强复合材料的制备方法。
一种高强复合材料及其制备方法

[发明专利]一种通过电泳沉积制备二氧化钒薄膜的方法-CN201210020500.2有效
发明人：张建武;侯纪伟;阮奇峰 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2012-01-21 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： C25D13/02 文献下载
摘要：本发明提供一种制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于，先将二氧化钒粉体加入到溶剂中，然后加规定量碘单质、超声分散，制备出分散较好的悬浮液，作为电泳沉积液。使用导电衬底作电极，用直流电源来提供电压或电流，将电极放入到二氧化钒悬浮液中，通过调节电压、电流、沉积时间等在电极上直接得到二氧化钒沉积薄膜，自然晾干或烘干。本发明方法的特点在于先成相后成膜，电极上不发生电化学反应，沉积前后粉体的相不发生变化、克服了现有制备技术先成膜后成相而导致薄膜不纯的缺点。本发明膜厚可以控制，工艺简单，反应条件温和，沉积时间短，膜层生长速率快，稳定性高，废液可以循环利用，经济且无污染，适合大面积和大批量生产。
一种通过电泳沉积制备氧化薄膜方法

[发明专利]使用化学气相沉积或液相外延来形成铁氮化物硬磁性材料-CN201580049388.7在审
发明人：王建平;姜岩峰 -专利权人：明尼苏达大学董事会
申请日： 2015-08-05 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本公开描述了包括α″‑Fe16N2的硬磁性材料以及用于使用化学气相沉积或液相外延来形成包括α″‑Fe16N2的硬磁性材料的技术。
使用化学沉积外延形成氮化物磁性材料

[发明专利]一种高强度石墨烯改性SiCf/SiC复合材料的制备方法-CN202210876795.7在审
发明人：陈招科 -专利权人：中南大学
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C04B35/80 文献下载
摘要：本发明公开了一种高强度石墨烯改性SiCf/SiC复合材料的制备方法，包括以下步骤：通过SiC纤维布置于化学气相沉积炉中，通过化学气相渗透在SiC纤维布表面生长100‑200nm厚热解碳界面；水基石墨烯分散液配置；将含热解碳界面纤维布真空浸渍于石墨烯分散液中，在含热解碳界面纤维布表面引入石墨烯，取出该纤维布烘干后以3层为一组采用模具夹紧，通过化学气相渗透法沉积50h SiC基体得到多孔SiCf/SiC复合材料；通过浸渍工艺在多孔SiCf/SiC复合材料中引入石墨烯，烘干后沉积50h SiC基体，将所得SiCf/SiC复合材料再次浸渍引入石墨烯，烘干后沉积50h SiC基体，如此反复直至复合材料密度达约2.70g本发明通过真空浸渍的方法引入石墨烯作为陶瓷基复合材料强韧相，进而提升陶瓷基复合材料的性能。
一种强度石墨改性 sicf sic 复合材料制备方法

[发明专利]连续离子液相制备纳米薄膜的自动沉积方法及自动化设备-CN202110146931.2在审
发明人：刘伟;李光旻;王文安 -专利权人：中企众鑫（天津）工业设计有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备，包括密封舱，密封舱内依次设有第一烧杯、第二烧杯、第三烧杯和第四烧杯，密封舱内设有运行控制系统、环境控制系统和视频监控系统。同时，本发明还公开了连续离子液相制备纳米薄膜的自动沉积方法。本发明通过中央控制系统设置导电玻璃衬底在各个溶液中的沉积时间和沉积循环周期，可以调节纳米薄膜的成分和厚度，有效提高制备纳米薄膜的实验效率，同时可以提高纳米薄膜沉积的精准度，具有极大的实用经济价值。
连续离子制备纳米薄膜自动沉积方法自动化设备

[发明专利]一种液相高浓度纳米粒子包覆方法-CN201911276066.2有效
发明人：高彦峰;陈长;唐宇韡;杨群 -专利权人：上海大学
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： C01B13/14 文献下载
摘要：本发明公开一种液相高浓度纳米粒子包覆方法。所述液相高浓度纳米粒子包覆方法包括以下步骤：1）将纳米粒子分散在液相Ⅰ中，得到分散液A；2）通过球磨工艺对分散液A中的纳米粒子进行分散；3）向分散液A中添加改性剂和液相Ⅱ的混合液A，球磨分散，对纳米粒子进行表面改性，得到分散液B；4）向分散液B中添加包覆材料和液相Ⅲ的混合液B，球磨分散，从而获得包覆材料在纳米粒子表面沉积的分散液C；5）对分散液C进行分离，最后得到均匀包覆的纳米粉体。
一种液相高浓度纳米粒子方法

[发明专利]一种气相原子沉积钛白粉包膜的方法-CN201510711832.9有效
发明人：梁斌;郭婧;袁绍军 -专利权人：四川大学
申请日： 2015-10-28 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： C09C1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种气相原子沉积钛白粉的新方法。钛白粉通过包膜可以封闭表面光催化活性有效提高钛白粉涂料的耐候性，传统工业包膜方法是采用硅酸钠等硅盐溶液液相沉积，形成的硅膜较厚且不均匀。本发明提出了一种气相包膜方法，将干燥的钛白粉原料进行表面羟基化处理后，真空脱气，通入SiCl4蒸汽与钛白粉表面羟基进行表面水解反应沉积，在钛白粉表面形成单原子层的氧化硅膜，使用该方法包覆形成的二氧化硅膜层均匀气相原子沉积包膜覆盖性强、光学性能优良，可以显著提高钛白粉的分散性和耐候性。与传统液相包膜法相比具有操作简单、包膜层致密、反应时间短、不产生废液等优势，是一种更加环保、经济且易于工业化操作的新型包膜方法。该方法还可以用于包覆半导体氧化物颗粒、碳纳米管、金属片等不同基底材料。
一种原子沉积钛白粉包膜方法

[发明专利]一种测量化学气相沉积炉的原料蒸发量的方法-CN201410172645.3在审
发明人：朱刘;朱巨才;于金凤;李钦;吴伟平;陈松 -专利权人：清远先导材料有限公司
申请日： 2014-04-25 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明提供了一种测量化学气相沉积炉内原料蒸发量的方法，本发明提供的方法采用测量组件对化学气相沉积炉的原料蒸发量进行测定，通过测定固体原料变为液体时的位移，以及液体蒸发过程中的位移，得到原料的蒸发量。本发明提供的方法采用的测量组件，其浮球组件设置在固体原料的顶部，能够实时反映原料的液面的变换；测量组件中的位移传感器组件探出化学气相沉积炉，从而能够实现对大设备、高炉膛的化学气相沉积炉的使用要求。
一种测量化学沉积原料蒸发量方法

[发明专利]一种控制胶体沉积物微观形貌的方法-CN202010805564.8有效
发明人：陈龙泉;周思雨;王意乐 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制胶体沉积物微观形貌的方法，包括以下步骤：S1.配制乙醇‑超纯水溶液，然后用聚苯乙烯悬浮液稀释，得到稀释液；S2.清洗玻璃表面后，在其表面喷涂一层碳颗粒涂层；S3.通过化学气相沉积法在S2的碳颗粒涂层上沉积二氧化硅层，然后煅烧，再通过化学气相沉积法在二氧化硅层上涂覆半氟化硅烷层，制得超疏水表面；S4.将S3所得超疏水表面水平置于恒定温度和湿度的半封闭腔体中，将S1所得稀释液滴在超疏水表面上进行蒸发本发明成本低、耗时短、易操作，只需单一的改变二元胶体悬浮液中易挥发溶液的比例来控制胶体沉积物的微观结构，就可以得到不同二维、三维复杂结构，且能够制作出尺寸更小的微纳结构材料。
一种控制胶体沉积物微观形貌方法

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