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- [发明专利]一种热光移相器-CN202310985062.1在审
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刘敬伟;张甜甜
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国科光芯（海宁）科技股份有限公司
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2023-08-04
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2023-10-10
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G02F1/01
- 本申请公开了一种热光移相器，包括：衬底；包覆层，包覆层形成在衬底上方；芯层波导,芯层波导形成在包覆层内部；加热层,加热层形成在芯层波导的侧面；传热结构,传热结构同时与加热层及芯层波导相接，形成在芯层波导和加热层的上方和/或下方，用于将加热层产生的热能传递至芯层波导；隔热结构,隔热结构形成在芯层波导上方的包覆层中，用于将加热层产生的热能限制在芯层波导附近。本申请提出的技术方案，在未增加工艺难度的前提下，利用传热结构的高热导率特性将加热层产生的热能直接传至芯层波导，大幅度减小移相器的功耗与响应时间；还利用隔热结构削弱包覆层中的热扩散使热量集中于芯层波导附近
- 一种移相器
- [发明专利]一种基于平面光波导的微腔光学滤波器-CN202210442144.7有效
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张跃芳;郭嘉梁
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季华实验室
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2022-04-25
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2023-06-02
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G02B6/10
- 一种基于平面光波导的微腔光学滤波器，包括衬底、脊形芯层光波导、平面芯层光波导以及在平面芯层光波导内的四个反射曲面镜；所述脊形芯层光波导和平面芯层光波导设置在衬底上表面，脊形芯层光波导上设有输入端口、下降端口和直通端口，输入端口的宽度和输入光波的宽度一致，直通端口用于滤波后的目标光波输出，下降端口用于滤波后其他波长的光波输出；所述四个反射曲面镜构筑成平面微纳微腔，使得通过脊形芯层光波导进入平面芯层光波导的光波在平面微纳微腔内被循环反射并发生共振实现滤波本发明通过平面芯层光波导和脊形芯层光波导的配合以及平面微纳微腔的共振滤波，较于传统的基于脊形光波导的光学滤波器，具有更加优异的综合性能。
- 一种基于平面波导光学滤波器
- [发明专利]一种厚膜氮化硅波导的挖槽制备方法-CN201910750281.5有效
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李彬;李志华;刘若男
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中国科学院微电子研究所
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2019-08-14
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2020-09-25
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G02B6/136
- 本发明公开了一种厚膜氮化硅波导的挖槽制备方法，包括：在半导体衬底上沿半导体衬底的厚度方向形成下包层；光刻与刻蚀下包层，在下包层内形成芯层槽，芯层槽的宽度大于预设波导的宽度；在芯层槽内和下包层上沉积芯层材料，形成第一芯层，第一芯层的厚度小于预设波导的厚度；以下包层的上表面为终止层，采用表面平坦化工艺去除多余的第一芯层；重复上述步骤直到芯层槽内形成的芯层的厚度达到预设波导的厚度为止；光刻与刻蚀芯层，形成预设波导结构；在预设波导结构和下包层上形成上包层。该方案解决了因薄膜太厚而产生的高应力问题，并优化了波导的形状、降低了侧壁粗糙度、增加波导的陡直度，降低了波导损耗。
- 一种氮化波导制备方法
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