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[发明专利]栅氧化层的工艺方法-CN201410837551.3在审
发明人：冯岩;柯行飞 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种栅氧化层的工艺方法，包含：第一步，炉管中通入氧气，进行栅氧化层热生长；第二步，在含氧氛围下，温度1050℃时进行第一次退火；第三步，在含氮氛围下，温度1050℃时进行第二次退火。本发明采用了含氧氛围和含氮氛围先后分步退火的工艺来改善栅氧化层的性能，降低器件的漏电流。
氧化工艺方法

[发明专利]催化剂组合物-CN200880004469.5无效
发明人：田中裕久;上西真里;谷口昌司;岩崎良平;木村希夫;松枝悟司 -专利权人：大发工业株式会社;株式会社科特拉
申请日： 2008-01-15 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： B01J23/745 文献下载
摘要：本发明的催化剂组合物为含复合氧化物的催化剂组合物，上述复合氧化物含有对上述复合氧化物在氧化氛围气下固溶、在还原氛围气下析出的过渡元素(铂族元素除外)。
催化剂组合

[发明专利]一种还原氛围多级氧化热力焚烧炉及废气治理方法-CN202011248425.6在审
发明人：郑承煜;欧阳林 -专利权人：上海安居乐环保科技股份有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： F23G5/027 文献下载
摘要：本发明公开了一种还原氛围多级氧化热力焚烧炉及废气治理方法，本方案在燃烧炉膛内沿其轴向依次设置多级氧化燃烧段，其中，第一级氧化燃烧段形成还原性氛围；第二级氧化燃烧段形成降温阶段；第三级氧化燃烧段形成氧化性氛围；燃烧炉膛上对应每级氧化燃烧段分别设置有进风组件，进风组件分别与对应的多级氧化燃烧段连通。本方案实现根据废气组分特性，在焚烧炉不同部位分别送入，避免发生混合爆炸，达到多级氧化目的，安全性能更高。
一种还原氛围多级氧化热力焚烧废气治理方法

[实用新型]一种还原氛围多级氧化热力焚烧炉-CN202022590836.5有效
发明人：郑承煜;欧阳林 -专利权人：上海安居乐环保科技股份有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： F23G5/027 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种还原氛围多级氧化热力焚烧炉，本方案在燃烧炉膛内沿其轴向依次设置多级氧化燃烧段，其中，第一级氧化燃烧段形成还原性氛围；第二级氧化燃烧段形成降温阶段；第三级氧化燃烧段形成氧化性氛围；燃烧炉膛上对应每级氧化燃烧段分别设置有进风组件，进风组件分别与对应的多级氧化燃烧段连通。本方案实现根据废气组分特性，在焚烧炉不同部位分别送入，避免发生混合爆炸，达到多级氧化目的，安全性能更高。
一种还原氛围多级氧化热力焚烧

[发明专利]一种利用生产双烯醇酮后的铬渣制备氧化铬绿的方法-CN200910063423.7无效
发明人：廖全斌;刘明国 -专利权人：三峡大学
申请日： 2009-08-04 - 公布日： 2009-12-30 - 主分类号： C01G37/033 文献下载
摘要：一种利用生产双烯醇酮后的铬渣制备氧化铬绿的方法，涉及含铬废渣的利用和氧化铬绿的制备。本发明的主要工艺是将含三氧化二铬的废渣在惰性氛围或者还原氛围中低温煅烧，通过水洗将水溶性杂质除去，再在高温下与辅料和矿化剂一起煅烧，得到高质量的不同颜色的氧化铬绿。本发明提供的制备氧化铬绿的方法，利用生产双烯醇酮后的铬渣为原料，提高了产品的附加值；在惰性氛围或还原性氛围中煅烧，可以有效防止三氧化二铬被氧化成六价铬，氧化铬绿的回收率达到95％以上；方法简便，主要通过煅烧炉完成生产过程，无需复杂的生产设备，不用在水溶液中进行复杂的氧化还原转化过程，降低了生产成本；生产过程无废渣和有毒废气排放，有利益环境保护。
一种利用生产双烯醇酮后制备氧化铬方法

[发明专利]氮氧化物荧光体粉末及其制造方法-CN201580006843.5有效
发明人：隅野真央;上田孝之;岩下和树;藤永昌孝;治田慎辅 -专利权人：宇部兴产株式会社
申请日： 2015-02-02 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： C09K11/08 文献下载
摘要：关于具有587～630nm的荧光峰波长的氮氧化物荧光体，提供一种外部量子效率高于以往的氮氧化物荧光体。本发明涉及一种含有50～10000ppm的Li的氮氧化物荧光体粉末的制造方法，其特征在于，将氮化硅粉末、成为铝源的物质、成为钙源的物质和成为铕源的物质混合，在非活性气体氛围中或在还原性气体氛围中在1500～2000℃烧成，获得作为中间物的以含Ca的α型塞隆为主成分的氮氧化物荧光体烧成物后，将该氮氧化物荧光体烧成物进而在存在Li的条件下在非活性气体氛围中或在还原性气体氛围中在1450℃～低于所述烧成温度的温度进行热处理
氧化物荧光粉末及其制造方法

[发明专利]吸收氢合金电极的制造方法-CN01109860.0无效
发明人：井本辉彦;伊势忠司;村上贵行;广田洋平 -专利权人：三洋电机株式会社
申请日： 2001-03-21 - 公布日： 2001-09-26 - 主分类号： H01M4/26 文献下载
摘要：一种吸收氢合金电极的制造方法包括把吸收氢合金保持在实质上不引起氢气吸收的温度所维持的氢气氛围中还原该合金表面所存在的氧化物或氢氧化物的还原工序、从不引起氢吸收的温度自然冷却到合金的平衡氢压与氢氛围气中的氢压相等的温度后开始抽真氢氛围气排出氢气并冷却到室温的工序、排出氢气并冷却到室温后把从氩、氮或二氧化碳中所选择的气体导入到氛围气中反回到常压的工序和把合金粉末浸渍含氧化抑制剂的水溶液中的工序。
吸收合金电极制造方法

[发明专利]金属多孔体的制造方法-CN200910119492.5无效
发明人：和田智宏;羽路智之;高桥慎一;神田辉一;渡边宪一 -专利权人：大阳日酸株式会社
申请日： 2009-03-17 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： B22F7/00 文献下载
摘要：一种金属多孔体的制造方法，其为通过烧结在有机多孔性的骨料上涂覆由金属粉和有机粘合剂构成的浆料而成的金属多孔体原料来制造金属多孔体的方法，包括如下工序：在包含一氧化碳和二氧化碳的氛围下以650℃以下的温度处理前述金属多孔体原料的脱脂工序；在惰性氛围或真空氛围中、在烧结温度以下处理该脱脂工序后的金属多孔体原料的脱碳工序；将该脱碳工序后的金属多孔体原料保持在惰性氛围或真空氛围或氢气氛围或由氢气与惰性气体的混合气体氛围形成的还原性氛围中、在前述脱碳工序中的温度以上且前述金属粉的熔点以下的温度下的烧结工序
金属多孔制造方法

[发明专利]一种柔性复合透明导电膜及其制备方法-CN200610070509.9无效
发明人：闫金良;赵银女;孙学卿;李清山 -专利权人：鲁东大学
申请日： 2006-11-22 - 公布日： 2007-06-13 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性复合透明导电膜及其制备方法，该柔性复合透明导电膜在有机柔性基材上依次设有钝化层、金属氧化物层、金属导电层和金属氧化物层。其中：钝化层在氩气氛围中射频溅射钝化靶材制备，金属氧化物层在氩气氛围中射频溅射金属氧化物靶材制备，金属导电层在氩气氛围中直流溅射金属靶材制备。
一种柔性复合透明导电及其制备方法

[发明专利]一种SiGe沟道的形成方法-CN202211022413.0在审
发明人：成鑫华 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供一种SiGe沟道的形成方法，位于硅衬底上的第一氧化硅层、位于第一氧化硅层上的硅层；硅层上覆盖有硬掩膜层；在硬掩膜层上形成凹槽区域，凹槽区域将硅层的上表面暴露；在凹槽区域形成SiGe薄膜；SiGe薄膜上表面形成有自然氧化层；在反应腔中进行氢气氛围的预处理以去除自然氧化层；在反应腔中进行氨气氛围的预处理以去除自然氧化层，在氨气氛围中对所述SiGe薄膜上表面进行热处理；对SiGe薄膜上表面进行氧化，形成致密氧化层。本发明的方法可有效去除SiGe表面的自然氧化层，并通过后续工艺形成质量更为致密的氧化层，降低SiOx层和SiGe之间的缺陷密度以及SiOx自身的平带电压，提高器件性能。
一种 sige 沟道形成方法

[发明专利]一种氮氛围下热处理的三氧化二铁光催化剂及其制备方法和应用-CN201910621201.6有效
发明人：陈其赞;罗东向;张梦龙;李洁 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B01J23/745 文献下载
摘要：本发明属光催化氧化技术领域，公开了一种氮氛围下热处理的三氧化二铁光催剂及其制备和应用。所述氮氛围下热处理的三氧化二铁光催化剂是将三氯化铁(III)六水合物置于去离子水中超声，得三氯化铁(III)前驱液液；将三氯化铁(III)前驱液加入放置有导电基底的高温反应釜中在80～160℃进行水热反应；水热反应结束后用去离子水冲洗，在干燥气体流下干燥；在氮气氛围下500～700℃烧结制得。在氮氛围下热处理的三氧化二铁光催化剂在其表面形成氮掺杂，可在三氧化二铁本证能级的基础上形成新的中间能级，从而达到对三氧化二铁光催化剂的禁带宽度Eg进行微调的目的，使Eg变窄，从而获得更高的可见光的光吸收能力
一种氛围热处理氧化光催化剂及其制备方法应用

[发明专利]柔性氛围灯的制备方法及柔性氛围灯-CN202210454817.0在审
发明人：宁建华;朱其华 -专利权人：广东祺龙科技有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C04B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了柔性氛围灯的制备方法及柔性氛围灯，其中柔性氛围灯制备方法的步骤包括：(1)将40～70份碱土金属碳酸盐、30～50份氧化铝、1～5份氧化铕、2～6份氧化镝、3～7份硼酸搅拌混合，然后经过烧结4～10份阻燃剂、3～9份抗静电剂、0.3～3份防变色助剂、1～2份乙撑双硬脂酰胺混炼得到第二混合物；(3)将50～90份发光粉加入第二混合物中得到第三混合物；(4)将第三混合物压延或注射成型制得柔性氛围灯；以上各物质的含量皆以重量份数计，通过该方法可得具有高发光强度和高柔性的氛围灯。
柔性氛围制备方法

[发明专利]一种低温合成碳化钛/碳的方法-CN202210469881.6在审
发明人：梁初;叶章泽;李嘉辉;陈敏志;杜光焰 -专利权人：浙江万畅环保科技有限公司;浙江工业大学
申请日： 2022-04-30 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C01B32/921 文献下载
摘要：所述方法包括：将金属铝配位氢化物和二氧化钛混合后，于二氧化碳氛围下加热反应得到碳化钛/碳；或将金属氢化物、铝和二氧化钛在氢气氛围下球磨后，于二氧化碳氛围下加热反应得到碳化钛/碳。本发明所述方法工艺较为简单、合成温度低、原料经济易得，易于规模化生产；且消耗的是温室气体二氧化碳，不产生大量温室气体和有毒有害气体，绿色环保；同时碳化钛/碳复合物为原位生成、混合均匀程度高。
一种低温合成碳化方法

[发明专利]用于监控炉管无氧氛围的监控片、制造方法及其监控方法-CN201410162818.3有效
发明人：江润峰;曹威;戴树刚 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-04-22 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种用于监控炉管无氧氛围的监控片，所述监控片包括硅基衬底，所述硅基衬底之本征氧化物薄膜的厚度小于15埃；二氧化硅薄膜层，所述二氧化硅薄膜层生长在所述硅基衬底上，且所述二氧化硅薄膜层的厚度为800～1200埃；氮化钛薄膜层，所述氮化钛薄膜层沉积在所述二氧化硅薄膜层之异于所述硅基衬底的一侧，且所述氮化钛薄膜层的厚度为200～1000埃。本发明用于监控炉管无氧氛围的监控片之制造方法简单，对所述无氧氛围的监控直观性强、即时性好，改善生产效率，提高产品良率。
用于监控炉管氛围制造方法及其

[发明专利]基于高温退火技术的氧化镓器件制备方法及氧化镓器件-CN202211089756.9在审
发明人：徐光伟;何启鸣;周选择;李秋艳;赵晓龙;龙世兵 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/477 文献下载
摘要：本发明公开一种基于高温退火技术的氧化镓器件制备方法及氧化镓器件，涉及半导体制备技术领域，包括以下步骤：在氧化镓晶圆表面制备第一阻挡层，所述阻挡层起在高温氧退火过程中阻挡高温氧氛围环境的作用；对阻挡层实施以氧化镓晶圆杂质调控目的的图形化工艺，所述图形化工艺的工艺深度不超过所述阻挡层厚度；对经上述处理后的氧化镓晶圆在氧氛围退火处理；去除退火处理后的氧化镓晶圆的阻挡层；去除已剥离所述阻挡层的氧化镓晶圆的表面层。通过退火技术加上图形化工艺的设计解决了氧氛围高温退火技术下无法只针对氧化镓材料局部区域处理，无法对氧化镓材料选择性区域净载流子浓度调控的问题。
基于高温退火技术氧化器件制备方法

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