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[发明专利]气相刻蚀装置-CN201410066813.0有效
发明人：肖东风;贾照伟;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2014-02-26 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明揭示了一种气相刻蚀装置，包括：工艺腔、氢氟酸储存罐、汽化器、质量流量控制器、真空泵及自动压力控制器。工艺腔用于气相刻蚀反应。氢氟酸储存罐储存液态的氢氟酸。汽化器使液态的氢氟酸汽化转变成氟化氢气体与水蒸汽的混合气体。质量流量控制器控制输送至工艺腔的气体的流量。真空泵对工艺腔抽真空。本发明将液态的氢氟酸作为反应物原料，能够降低工艺成本，且更安全，此外，供应至工艺腔内的气体及刻蚀反应的生成物均以气态的形式存在于工艺腔中，避免发生粘连。
刻蚀装置

[发明专利]一种氢氟酸液体中转装置及中转方法-CN201810821529.8有效
发明人：雷游生;李卫东;林庆鑫 -专利权人：福建龙氟化工有限公司
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： B65G47/52 文献下载
摘要：本发明涉及氢氟酸液体中转装置及中转方法，所述装置包括一往复传送机构；一存放箱，用于装载氢氟酸液体，所述存放箱承载于所述往复传送机构上，并由往复传送机构驱动移动；一取箱机构，将所述存放箱从往复传送机构的传送末端取下设置在传送末端的从动链轮以及套设在主动链轮和从动链轮上的链条；所述链条包括销轴以及从销轴两端连接各销轴的链节；所述销轴两端分别向外延伸，并分别固定套设一链块；本发明中转过程无需人工参与，并且能够监控中转过程中存放箱内的氢氟酸是否泄漏，并且具有双层密封，能够有效防止氢氟酸泄漏至外界，解决了现有的氢氟酸在中转时可能对工作人员造成损害等缺点。
一种氢氟酸液体中转装置方法

[发明专利]用于OGS二次强化工艺的玻璃基片一体化清洗设备-CN201310577373.0有效
发明人：蒋新;郑晔;屠金玲 -专利权人：苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2013-11-15 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： B08B11/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于OGS二次强化工艺的玻璃基片一体化清洗设备，它包括用于向清洗设备输入玻璃基片的入料机构、用于对玻璃基片进行氢氟酸浸泡的氢氟酸洗机构、用于对玻璃基片进行碱液浸泡的碱洗机构、用于对玻璃基片进行喷淋水洗的水洗机构、用于吹干玻璃基片的吹干机构、用于输出玻璃基片的出料机构，入料机构、氢氟酸洗机构、碱洗机构、水洗机构、吹干机构、出料机构依次连接。本发明通过将氢氟酸洗机构、碱洗机构、水洗机构、吹干机构等机构依次连接组合成一体，一方面能够提高清洗设备的密封性，降低氢氟酸对工作人员的伤害；另一方面不需要机械手等额外的辅助设备，降低了玻璃基片平破碎的风险
用于 ogs 二次强化工艺玻璃一体化清洗设备

[发明专利]一种钛合金腐蚀槽液化学分析方法-CN201810175633.4有效
发明人：严鹏飞;姚静芬;刘海东;赵政鑫 -专利权人：沈阳飞机工业（集团）有限公司
申请日： 2018-03-02 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： G01N31/16 文献下载
摘要：在pH＝6.5的六次甲基四胺缓冲溶液中，所有的氟离子与硝酸镧标准溶液定量反应，测得总氢氟酸浓度；在pH＝6～8的中性溶液中，游离的氟离子与硝酸镧标准溶液定量反应，测得游离氢氟酸浓度；通过总氢氟酸浓度与游离氢氟酸浓度的差值以及从实验中推导出的钛离子换算经验系数本发明的有益效果：(1)采用一种化学分析方法同时测定钛合金腐蚀槽液中三种化学成分的含量，操作简便，分析效率高；(2)该化学分析方法为一种绿色环保的分析方法；(3)该方法测得钛合金腐蚀槽液中总氢氟酸浓度的平均误差在
一种钛合金腐蚀液化分析方法

[发明专利]顶栅型薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示面板-CN201711022384.7有效
发明人：班圣光;曹占锋;姚琪 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：该顶栅型薄膜晶体管的制备方法包括：在形成有半导体有源层、源极和漏极、第一栅绝缘层、以及第一栅极的基板上制备第二栅绝缘层，并在所述第二栅绝缘层上方形成一刻蚀保护层；将形成有所述第二栅绝缘层和所述刻蚀保护层的基板置于氢氟酸清洗装置中进行氧化处理和氢氟酸清洗，以在所述氢氟酸清洗的过程中去除所述刻蚀保护层；在经过所述氢氟酸清洗之后的基板上制备第二栅极。本公开可改善氢氟酸清洗栅绝缘层而造成的表面损伤，从而保证薄膜晶体管的电学性能以及后续工艺的稳定性。
顶栅型薄膜晶体管及其制备方法阵列显示面板

[发明专利]一种硒纳米片的制备方法-CN202011024253.4有效
发明人：张晗;范涛健;张家宜 -专利权人：深圳大学
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C01B19/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种硒纳米片的制备方法，包括以下步骤：刻蚀：提供质量分数为5％～20％的氢氟酸溶液，向所述氢氟酸溶液中添加硒化铝以得到氢氟酸混合体系，将所述氢氟酸混合体系转移至50～80℃下搅拌1～5h，搅拌后再将氢氟酸混合体系进行一级离心并收集沉淀
一种纳米制备方法

[发明专利]一种高选择比的多晶硅蚀刻液及其制备方法-CN201910744727.3有效
发明人：李少平;万杨阳;贺兆波;张庭;尹印;张演哲;冯凯;王书萍;蔡步林 -专利权人：湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2019-08-13 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：该多晶硅蚀刻液由硝酸、硝酰类离子盐、有机碱氢氟酸盐、醋酸和去离子水组成。通过控制各组分的添加量和顺序，以质量配比先加入去离子水，硝酸和醋酸，搅拌均匀后再加入有机碱氢氟酸盐，最后加入硝酰类离子盐。在该蚀刻液中，硝酸为主氧化剂，硝酰类离子盐为助氧化剂，在酸性环境中分解产生硝酰离子，硝酰离子具有强氧化性，提高了其对多晶硅的氧化速率，有机碱氢氟酸盐缓慢释放氢氟酸，溶解氧化硅，由于有机碱基团的空间位阻，增大了氢氟酸的传质阻，降低了其对二氧化硅的腐蚀速率。
一种选择多晶蚀刻及其制备方法

[发明专利]一种壳管式氢氟酸废液处理装置及其方法-CN201711476018.9有效
发明人：熊新宇;梁志美;赵龙兵;葛军 -专利权人：马鞍山市华清环保工程有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C02F1/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种壳管式氢氟酸废液处理装置及其方法，属于废液处理技术领域。将水、氢氟酸废液和中和液分别通入水管、废液管和中和液管中，氢氟酸废液先通过水稀释后再与中和液发生中和反应，并用冷却水给混合液降温，从而达到处理氢氟酸废液的目的。利用本发明处理氢氟酸废液，不会有大量的氟化氢挥发逸出，避免了人员伤害和环境污染，且废液处理效率高，反应充分。
一种壳管式氢氟酸废液处理装置及其方法

[发明专利]氢氟酸处理装置-CN200810188703.6无效
发明人：澄田康光;笠原辰巳;茂木一利;梅泽浩之;桑木康之 -专利权人：三洋电机株式会社
申请日： 2008-09-22 - 公布日： 2009-05-27 - 主分类号： C02F1/58 文献下载
摘要：本发明提供一种氢氟酸处理装置，其在含氢氟酸的废水中添加钙而除去氟化物离子，在该装置中，需调整被处理水的pH，但在具有钙和氟化物离子的反应槽中调整pH，则处理效率降低。另外，pH计直接暴露于含有氢氟酸的废水中，则pH计的传感器易损坏。在向pH调整部的处理槽中加入氢氟酸时加入碱性药剂，使处理槽内第一被处理水pH比废水的大。另外，在循环路径上设置pH计，而不是直接暴露于废水中，可保护其不受氢氟酸影响。
氢氟酸处理装置

[实用新型]电子级氢氟酸取样室-CN201420098876.X有效
发明人：胡洪峰 -专利权人：宣城亨泰化工科技有限公司
申请日： 2014-03-05 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： G01N1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子级氢氟酸取样室，包括盒室，盒室内设置取样间，取样间的敞口处设置有遮挡外部空气进入取样间的软挡风帘，取样间上设置有进气管口，进气管口通过气管与洁净气源相连接，盒室内设置有取样输送管以及取样输送管上设置的放样阀，取样输送管的出口端设置在取样间内部，取样输送管的入口端与电子级氢氟酸生产系统中的氢氟酸输送管道相连通连接。上述方案中，取样时，通过气管向小取样间内通入洁净气体，将取样间内的空气通过挡风帘与取样间侧壁间的缝隙排净，然后打开放样阀进行取样，取样时保持取样间通洁净空气，防止整个取样过程中氢氟酸受空气污染，保证氢氟酸取样检测的准确性
电子氢氟酸取样

[实用新型]新型结晶石英砂生产装置-CN201620009846.6有效
发明人：陈立艳 -专利权人：新沂市宏润石英硅微粉有限公司
申请日： 2016-01-07 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： C01B33/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型结晶石英砂生产装置，该装置属于结晶石英砂生产领域，包括：盐酸池、第一清水池、氢氟酸池、第二清水池、晾晒场、破碎机、振动筛；盐酸池上设有天然石英石和盐酸进口、废酸出口，盐酸池和第一清水池之间设有第一输送机，第一清水池上设有清水进口、废水出口，第一清水池和氢氟酸池之间设有第二输送机，氢氟酸池上设有氢氟酸进口、废酸出口，氢氟酸池和第二清水池间设有第三输送机，第二清水池上设有清水进口、废水出口，第二清水池和晾晒场间设有第四输送机
新型结晶石英砂生产装置

[实用新型]一种氢氟酸生产用带有石膏渣的污水排放装置-CN201820269047.1有效
发明人：陈浩;刘艾菊 -专利权人：响水新联合化学有限公司
申请日： 2018-02-26 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： C02F1/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氢氟酸生产用带有石膏渣的污水排放装置，包括处理反应装置、氢氟酸反应釜、料仓、控制箱、石膏渣处理箱和废液处理箱，处理反应装置与氢氟酸反应釜之间设置有进料口，进料口和隔离板将处理反应装置的分隔为石膏渣处理箱和废液处理箱，处理反应装置与料仓之间设置有螺旋送料器和送料箱，氢氟酸反应釜用于生产氢氟酸，产生的石膏渣的废液经过进料口进入处理反应装置中进行处理，通过石膏渣处理箱和废液处理箱的中和处理后，经过螺旋送料器和送料箱的输送进入料仓内进行存储
石膏渣氢氟酸反应装置废液处理箱处理箱反应釜进料口料仓污水排放装置本实用新型螺旋送料器送料箱可靠控制石膏回收中和处理隔离板控制箱消石灰废液分隔扬尘生产存储自动化排放

[实用新型]用于OGS二次强化工艺的玻璃基片一体化清洗设备-CN201320727920.4有效
发明人：蒋新;郑晔;屠金玲 -专利权人：苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2013-11-15 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： B08B11/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于OGS二次强化工艺的玻璃基片一体化清洗设备，它包括用于向清洗设备输入玻璃基片的入料机构、用于对玻璃基片进行氢氟酸浸泡的氢氟酸洗机构、用于对玻璃基片进行碱液浸泡的碱洗机构、用于对玻璃基片进行喷淋水洗的水洗机构、用于吹干玻璃基片的吹干机构、用于输出玻璃基片的出料机构，入料机构、氢氟酸洗机构、碱洗机构、水洗机构、吹干机构、出料机构依次连接。本实用新型通过将氢氟酸洗机构、碱洗机构、水洗机构、吹干机构等机构依次连接组合成一体，一方面能够提高清洗设备的密封性，降低氢氟酸对工作人员的伤害；另一方面不需要机械手等额外的辅助设备，降低了玻璃基片平破碎的风险
用于 ogs 二次强化工艺玻璃一体化清洗设备

[实用新型]一种氢氟酸浓度自助调配装置-CN201721170940.0有效
发明人：江伟;胡洪峰;谢钺 -专利权人：宣城亨泰电子化学材料有限公司
申请日： 2017-09-13 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： B01F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氢氟酸浓度自助调配装置，包括供水装置、混合装置、供料装置和控制装置，供水装置包括静压水箱、电磁换向阀、出水流量计，静压水箱和电磁换向阀之间依次设置有定差减压阀和节流阀，静压水箱通过输水管依次与定差减压阀、节流阀、电磁换向阀和出水流量计连接，混合装置包括涡轮流量计、电动搅拌器、用于检测混合器中氢氟酸浓度的浓度比检测装置和混合器，系统不仅结构简单、维护方便、成本低，而且可以实现氢氟酸浓度的在线检测，PLC控制装置中设置的液晶显示屏可以直观地显示氢氟酸浓度的实时值，该氢氟酸配比装置利用变频泵控与流量反馈的定比配比技术，保证了配比浓度的稳定性和可靠性，环境适应性好。
氢氟酸电磁换向阀静压水箱混合器出水流量计定差减压阀调配装置供水装置混合装置节流阀本实用新型电动搅拌器环境适应性涡轮流量计液晶显示屏供料装置检测装置控制装置流量反馈配比技术配比装置维护方便依次设置在线检测变频泵浓度比输水管配比直观检测保证

[实用新型]一种石墨氢氟酸浸渍装置-CN201921409514.7有效
发明人：朱仕高;朱炜光 -专利权人：甘洛鑫晶源新材料有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C01B32/215 文献下载
摘要：本实用新型涉及石墨氢氟酸浸渍技术领域，尤其为一种石墨氢氟酸浸渍装置，包括底座、底柜、操作台和顶柜以及控制箱，所述底座的顶部安装有底柜，所述底柜的基面安装有第一柜门，所述底柜的顶部安装有操作台，所述操作台的顶部嵌入底柜的内部安装有浸渍池主体，所述浸渍池主体的内部从左至右依次设有氢氟酸池与去离子水池，所述底柜的左侧通过第一排液管连接于氢氟酸池的内部，整体装置达到高效提纯的效果，对石墨性能影响小，能耗低，废液可回收防止直排造成的环境污染，可以避免石墨与氢氟酸反应挥发物被操作人员吸入有害气体
一种石墨氢氟酸浸渍装置