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[实用新型]氢氟酸存储罐-CN201320506503.7有效
发明人：陈顺保;邢峰;孔德春;吴华福;赵善富 -专利权人：南京红复玻璃钢有限公司
申请日： 2013-08-19 - 公布日： 2014-02-26 - 主分类号： B65D88/02 文献下载
摘要：本实用新型涉一种氢氟酸存储罐，罐体由外向内依次由抗紫外线层、结构层、防渗层和防腐层组成，所述的防腐层为聚酯合成毡，由于高分子结构与弱酸不反应因此能够保证氢氟酸溶液在罐体内部的存储安全。
氢氟酸存储

[实用新型]氢氟酸灌装系统-CN201220704156.4有效
发明人：吴建良;胡美艳 -专利权人：昆山晶科微电子材料有限公司
申请日： 2012-12-19 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： B67C7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氢氟酸灌装系统，包括原料罐、料槽、灌装机头、传送带装置、灌装瓶、瓶盖机械手、位置感应器和控制器，所述原料罐的出料口与料槽的进料口之间通过硬质管路连通，在硬质管路上设置有流量泵；所述料槽的出料口与灌装机头之间通过软质管路连通本实用新型提供的氢氟酸灌装系统，能够自动化完成氢氟酸的灌装生产，实现氢氟酸的灌装自动化，提高生产效率，避免人工操作危害。
氢氟酸灌装系统

[实用新型]氢氟酸原料室-CN201921637587.1有效
发明人：童晨 -专利权人：昆山晶科微电子材料有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： E04H1/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了氢氟酸原料室，包括仓储间和排气系统，仓储间内设置有若干氢氟酸监测报警器，仓储间的两个相对的墙壁上各设置有一个进出口，在进出口的顶部设置有密封卷帘门，排气系统的排气管设置于仓储间的屋顶中；原料室采用卷帘门隔断、排气系统抽离和石灰中和这三种方式去同步处理泄露的氢氟酸，如此便可防止氢氟酸泄露至原料室以外的地方，从源头上防止了氢氟酸大面积泄露事件的发生。
氢氟酸原料

[发明专利]回收氢氟酸的方法-CN200780021047.4无效
发明人：伯特兰·科利尔 -专利权人：阿克马法国公司
申请日： 2007-05-21 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明涉及一种处理包含氢氟酸的物流的方法。更具体地说，本发明的主题是回收氢氟酸的方法。根据本发明的方法的特征在于该方法包括至少一个压缩包含氢氟酸的气流的步骤，所述物流在该压缩步骤之前的温度为-20℃至100℃。
回收氢氟酸方法

[发明专利]薄膜表面处理方法及薄膜表面处理设备-CN201910014948.5在审
发明人：邓治国;王振;晏熙;郭昭;李发业;黄超;刘杰;刘岩;李显杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜表面处理方法及薄膜表面处理设备，通过采用氢氟酸对薄膜表面进行刻蚀处理，可以将薄膜表面具有的物质刻蚀掉。采用清洗溶液对经过刻蚀处理后的薄膜表面的氢氟酸进行清洗处理，以去除薄膜表面残留的氢氟酸，可以避免残留的氢氟酸导致薄膜过度刻蚀的情况。
薄膜表面氢氟酸刻蚀处理设备清洗处理残留致密工艺效果过度刻蚀清洗溶液氧化处理臭氧水氧化层薄膜去除

[发明专利]含氟含硝酸混合废酸的回收处理方法-CN202010962595.4在审
发明人：应盛荣;姜战;闻涛;周贞峰;应悦 -专利权人：衢州市鼎盛化工科技有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明提出了一种含氟含硝酸混合废酸的回收处理方法，包括：含氟含硝酸混合废酸在浓硫酸作用下，四氟化硅、氢氟酸、硝酸和水以气体状态逸出；冷凝所述气体，得到氢氟酸、硝酸、氟硅酸的混合酸液；所述混合废液包括氢氟酸使用本发明的处理方法，原含氟含硝酸混合废酸中含有的氢氟酸或硝酸回收率较高。光伏行业的混合酸回收率≥96％；电子行业的混合酸回收率≥93％。
含氟含硝酸混合回收处理方法

[发明专利]用于场区隔离刻蚀的方法-CN200610116402.3有效
发明人：王明琪;沈今楷 -专利权人：上海华虹NEC电子有限公司
申请日： 2006-09-22 - 公布日： 2008-03-26 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明公开一种用于场区隔离刻蚀的方法，由一氢氟酸刻蚀步骤与一干法多晶硅刻蚀步骤组成，其在氢氟酸刻蚀步骤之后、干法多晶硅刻蚀步骤之前增加一酸碱液洗净步骤。本发明由于在氢氟酸刻蚀步骤之后，干法多晶硅刻蚀步骤之前增加了一酸碱液洗净步骤，从而去除了在氢氟酸刻蚀步骤之后常由于多晶硅材料的憎水性而残留的硅化物水迹，提高了后续干法多晶硅刻蚀的质量。
用于场区隔离刻蚀方法

[发明专利]一种电子级氢氟酸的生产装置及生产方法-CN202010896720.6有效
发明人：李群生 -专利权人：北京化工大学
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级氢氟酸的生产装置及生产方法，将原料工业无水氟化氢先通过蒸发器气化后再输送到纯化塔，经过精馏得到高纯氟化氢气体；再输送到吸收塔，用一定浓度的氢氟酸液相吸收，得到电子级氢氟酸粗品；最后经超纯过滤得到电子级氢氟酸成品
一种电子氢氟酸生产装置方法

[发明专利]一种氢氟酸的制备专用反应釜-CN201110149239.1无效
发明人：王明 -专利权人：无锡市东风化工厂
申请日： 2011-06-03 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明涉及化工反应釜技术领域，具体为一种氢氟酸的制备专用反应釜。其可以实现对将从反应釜中出来的氢氟酸进行处理，减少氢氟酸中金属离子的含量，确保氢氟酸的品质。
一种氢氟酸制备专用反应

[实用新型]氢氟酸的制备专用反应釜-CN201120186632.3有效
发明人：王明 -专利权人：无锡市东风化工厂
申请日： 2011-06-03 - 公布日： 2011-12-21 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本实用新型涉及化工反应釜技术领域，具体为一种氢氟酸的制备专用反应釜。其可以实现对将从反应釜中出来的氢氟酸进行处理，减少氢氟酸中金属离子的含量，确保氢氟酸的品质。
氢氟酸制备专用反应

[发明专利]一种氢氟酸密闭采样装置-CN202211123017.7在审
发明人：江伟;胡洪峰;谢钺;金国军 -专利权人：宣城亨泰电子化学材料有限公司
申请日： 2022-09-15 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01N1/10 文献下载
摘要：本发明提供一种氢氟酸密闭采样装置，包括储存氢氟酸的储存瓶、设于储存瓶连接口处的连接机构、以及与连接机构配合取样氢氟酸的取样机构，连接机构包括设于储存瓶连接口处的密封盖、设于密封盖上的连接组件、以及设于连接组件上的清洗组件连接组件包括一端穿设于储存瓶内开设储存槽底壁处另一端穿设于密封盖上方的输液件、以及设于密封盖上方并连接输液件的连接件；清洗组件包括可通过连接槽连接清洗组件的清洁块、以及连接清洁块的清洗组件；本发明可以安全的对氢氟酸进行取样，避免了氢氟酸挥发到空气内造成危险。
一种氢氟酸密闭采样装置

[发明专利]一种用氢氟酸制备氟化亚锡的方法-CN201310276742.2有效
发明人：朱亮;李飞跃;黄忠孝;刘峙军;李文英 -专利权人：湖南有色湘乡氟化学有限公司
申请日： 2013-07-03 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： C01G19/04 文献下载
摘要：一种用氢氟酸制备氟化亚锡的方法，以氢氟酸、氧化亚锡为原料，具体包括以下步骤：（1）先在反应器中加入氢氟酸，开启搅拌，然后加入相当于理论量氧化亚锡8-12wt%的锡粒包，再将理论量的氧化亚锡以15-25g/min的速度加入到氢氟酸中，加料结束后，继续反应15-30分钟，反应结束后，取出锡粒包；从加入氧化亚锡开始至反应结束，向氢氟酸中通氮气，流量大小控制在无液体溅出；（2）加热至75-95℃，并保持该温度
一种氢氟酸制备氟化方法

[发明专利]表面性状优良的奥氏体不锈钢的制造方法-CN98125026.2无效
发明人：福田国夫;佐藤进;宇城工;吉冈正浩;河野雅昭;山崎伸次 -专利权人：川崎制铁株式会社
申请日： 1998-10-27 - 公布日： 2004-05-19 - 主分类号： C23G1/08 文献下载
摘要：酸洗时浸渍在硝酸20～100g/l、氢氟酸100～300g/l的氢氟酸溶液中，使氢氟酸浓度和金属离子满足特定关系式。先在硫酸、盐酸或硝氢氟酸中预酸洗，然后对表面进行单面平均2μm或以上的机械磨削后，在硝氢氟酸溶液中进行成品酸洗，沿钢板表面施加0.5～5.0m/s的逆向流，作为氢离子源添加硫酸或亚硫酸，浸渍时进行(阴极电解时间
表面性状优良奥氏体不锈钢制造方法

[发明专利]去除附着于高致密氧化钇涂层表面的二氧化硅薄膜的清洗方法-CN201811492884.1在审
发明人：穆帅帅;贺贤汉 -专利权人：富乐德科技发展（天津）有限公司
申请日： 2018-12-07 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种去除附着于高致密氧化钇涂层表面的二氧化硅薄膜的清洗方法，包括以下步骤：将料板浸入装有纯水的预处理容器中，预浸1‑5min；将预处理后的料板置入第一处理容器中处理1‑5min，第一处理容器中装有氢氟酸和硝酸的混合溶液，按重量比硝酸与氢氟酸之间比值为1：3‑1：5，氢氟酸与纯水之间的比值为1：20；将料板置入第二处理容器中处理1‑5min，第二处理容器中装有氢氟酸和盐酸的混合溶液，按重量比盐酸与氢氟酸之间比值为1：3‑1：5，氢氟酸与纯水之间的比值为1：7；将料板置入第三处理容器中处理1‑5min，第三容器中装有纯水；在60℃下烘干2‑10min。
氢氟酸处理容器料板置入二氧化硅薄膜氧化钇涂层混合溶液高致密重量比硝酸附着去除盐酸清洗预处理预处理容器处理效率第三容器浸入烘干预浸

[发明专利]一种无水氟化钾的合成方法-CN201711342423.1在审
发明人：张军航 -专利权人：江西渠成氟化学有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： C01D3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种无水氟化钾的合成方法，包括氢氟酸粗液与碳酸钡反应形成氟化钡沉淀、将所述氟化钡沉淀与反应液进行固液分离、所述氟化钡沉淀与碳酸钾溶液反应形成氟化钾溶液与碳酸钡沉淀、将所述氟化钾溶液与所述碳酸钡沉淀进行固液分离、加入氢氟酸溶液调节所述氟化钾溶液的pH、将调节好pH的所述氟化钾溶液进行喷雾干燥形成无水氟化钾，所述氢氟酸粗液的浓度范围为10％～45％，所述氟化钡沉淀与碳酸钾溶液反应形成的所述碳酸钡沉淀进一步与所述低溶度氢氟酸溶液反应本发明利用副产低溶度氢氟酸代替无水氟化氢，不仅降低了原料成本，同时能够解决副产物氢氟酸的综合利用；通过调节pH，使除去多余碳酸钾溶液，以达到减少杂质的效果。
一种无水氟化钾合成方法