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- [发明专利]气液抽取分离装置及光刻机-CN202011450195.1在审
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曹红波;夏广宝;周二虎
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北京华卓精科科技股份有限公司
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2020-12-11
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2021-09-07
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H01L21/67
- 本发明提供了一种气液抽取分离装置及光刻机，涉及半导体加工设备领域，为解决现有的气液抽取分离装置无法满足光刻机不同工况下的气液抽取分离需求的问题而设计。该气液抽取分离装置用于光刻机，包括控制模块和多组气液抽取分离模块，多组气液抽取分离模块分别配置为抽取分离不同的气液混合体；气液抽取分离模块包括通过管路依次连接的真空吸附头、通断阀和气液分离箱，真空吸附头被配置为抽取气液混合体；控制模块被配置为控制气液抽取分离模块工作；气液分离箱被配置为对气液混合体进行气液分离。该光刻机包括上述气液抽取分离装置。本发明提供的气液抽取分离装置及光刻机满足了不同工况下的气液分离需求。
- 抽取分离装置光刻
- [实用新型]气液抽取分离装置及光刻机-CN202022984194.7有效
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曹红波;夏广宝;周二虎
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北京华卓精科科技股份有限公司
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2020-12-11
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2021-08-24
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种气液抽取分离装置及光刻机，涉及半导体加工设备领域，为解决现有的气液抽取分离装置无法满足光刻机不同工况下的气液抽取分离需求的问题而设计。该气液抽取分离装置用于光刻机，包括控制模块和多组气液抽取分离模块，多组气液抽取分离模块分别配置为抽取分离不同的气液混合体；气液抽取分离模块包括通过管路依次连接的真空吸附头、通断阀和气液分离箱，真空吸附头被配置为抽取气液混合体；控制模块被配置为控制气液抽取分离模块工作；气液分离箱被配置为对气液混合体进行气液分离。该光刻机包括上述气液抽取分离装置。本实用新型提供的气液抽取分离装置及光刻机满足了不同工况下的气液分离需求。
- 抽取分离装置光刻
- [发明专利]气液分离器以及气液分离装置-CN202210022794.6在审
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熊从贵
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台州龙江化工机械科技有限公司
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2022-01-10
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2022-04-12
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F25B43/00
- 本发明公开一种气液分离器以及气液分离装置，用于提高气液油分离效果，它包括具有腔室的壳体，所述腔室用于气液分离；壳体侧壁设有连通蒸发器获取制冷剂液体的进气管，壳体顶部设有流向制冷压缩机的出气管，壳体底部设有出液管；U型管，其位于腔室底部，所述出气管向下延伸至腔室内并与U型管其中一端连通；所述U型管的底部通过可活动吸油管连通有能够浮在液面上的吸油球体；以及位于壳体内底部的用于提供稳定热源的换热装置。本发明通过换热装置和可活动吸油管连通的吸油球体，在保证热量交换稳定的情况下，使得制冷剂气液混合物受热稳定，确保其充分分离，同时能够有效地将制冷剂液面的冷冻润滑油抽吸到制冷压缩机。
- 分离器以及分离装置
- [发明专利]气液分离装置以及气液分离控制方法-CN202210021576.0有效
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田春雨;朱凤朝;刘宇
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中国航天空气动力技术研究院
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2022-01-10
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2023-06-06
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F25B43/02
- 本发明公开一种具有回油功能的气液分离装置以及气液分离控制方法，所述气液分离装置包括若干吸附器，每个吸附器设有吸附进气管、吸附出气管、吸附出液管和饱和度传感器；吸附进气管上设有吸附进气控制阀和吸附进气止回阀，吸附出气管上设有吸附出气控制阀和吸附出气止回阀，吸附出液管上设有吸附出液控制阀；反吹装置，其连通到所述出气控制阀的入口端；处理器，其与每个吸附器上的吸附进气控制阀、吸附出气控制阀、吸附出液控制阀、饱和度传感器和反吹装置通信连接本发明在分离进气管与蒸发器出气口之间设置吸附器预先交替吸附分离、交替再生，然后将润滑油送回制冷剂压缩机，保证系统连续运行的同时提高回油效果。
- 分离装置以及控制方法
- [发明专利]井下同井采注气液分离器-CN201611072154.7有效
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李森;王尊策;徐艳;闫月娟;张井龙;温后珍
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东北石油大学
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2016-11-29
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2023-02-14
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E21B43/38
- 一种井下同井采注气液分离器。该种气液分离器与潜油电泵结合,采用顶置式电潜泵排水采气举升系统，可实现气液混合流在井下分离。其特征在于：所述气液分离器还具有气液分离主体、气液分隔罩以及气液外螺旋体；气液分离主体位于由上外壳、进液外壳以及下外壳围成的腔体内，气液分离主体由气液分离主体上传动轴、气液分离主体导流段、气液分离主体倒锥段以及气液分离主体下传动轴由上至下依序连接后构成；在气液分离主体导流段外焊接有导流叶片；在气液分离主体倒锥段上开有进气孔，气孔道的出口位于上外壳的内容腔中；气液分隔罩为空心的倒置锥台形，气液外螺旋体亦为空心的倒置锥台形。
- 井下井采注气液分离器
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