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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种双气浮大型基板传输装置-CN201310738321.7在审
发明人：吴福龙;周畅;阮冬 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种双气浮大型基板传输装置，包括：一气浮框架，所述气浮框架位于一机架上，并可相对机架上升和下降运动，所述气浮框架上设有结构相同的第一气浮单元和第二气浮单元，所述第一气浮单元位于所述第二气浮单元的垂直上方，所述第一、第二气浮单元分别包括安装在气浮框架上的气浮块，以及位于所述气浮块上的垂向传输模块。
一种双气浮大型传输装置

[实用新型]一种气浮装置、工件台和光刻机-CN201820628746.0有效
发明人：吴文娟 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气浮装置、工件台和光刻机，该气浮装置包括承载单元和气浮单元；所述承载单元固定连接于所述气浮单元的第一表面；所述气浮单元包括多个出气口，所述多个出气口在所述气浮单元的第二表面呈阵列分布；所述气浮单元的第二表面与第一表面相对设置。本实用新型的技术方案通过在气浮单元的第二表面设置呈阵列分布的出气口，使气浮装置的第二表面受力均匀，变形小，从而提高了气浮装置的气浮刚度。
气浮单元第二表面气浮装置出气口本实用新型承载单元第一表面阵列分布工件台光刻机受力均匀相对设置气浮变形

[发明专利]气浮传输装置及传输方法和应用-CN201610200732.4有效
发明人：阮冬;纪国友 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种气浮传输装置和传输方法及应用，所述气浮传输装置用于在工件库和工件台之间传输基板，所述气浮传输装置包括：气浮单元、X向运动单元、Y向运动单元和机械手装置，所述X向运动单元和Y向运动单元设置在所述气浮单元上，所述气浮传输装置设备简单，装配难度低，根据所述气浮传输装置提供一种气浮传输方法，通过机械手装置从工件库上载基板至气浮单元，依靠气浮单元上的X向运动单元和Y向运动单元传输基板至工件台并从工件台上下载基板，通过机械手装置传输给工件库，传输过程中气浮单元只提供浮力使基板悬浮不参与基板传输，该方法简单易行，并能够提高基板的传输效率，所述气浮传输装置应用于光刻机能够提高光刻机的生产效率。
传输装置方法应用

[实用新型]卫星姿态控制模拟仿真设备-CN202120315379.0有效
发明人：项军华 -专利权人：长沙国科星河企业管理合伙企业(有限合伙)
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G05B17/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种卫星姿态控制模拟仿真设备，包括试验平台、支撑框架、气源单元以及气浮单元；所述试验平台设置在支撑框架上，所述气源单元安装在支撑框架中，气浮单元设置在支撑框架底部，气源单元与气浮单元连接，由气源单元为气浮单元提供高压气体并由气浮单元喷出，使得整个设备处于悬浮状态，能够满足较重的试验器件的姿态控制模拟仿真。
卫星姿态控制模拟仿真设备

[发明专利]分级气浮废水处理系统-CN201910943779.3在审
发明人：郭定江;刘兵;唐波 -专利权人：四川恩特普环保科技有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： C02F1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种分级气浮废水处理系统，包括初级气浮处理单元以及至少一个次级气浮处理单元；初级气浮处理单元包括：初级气浮室、与初级气浮室进料口相连的初级循环溶气管路系统、初级进液管路，所所述初级溶气泵外接空气供给源并且与初级进液管路相连；次级气浮处理单元包括：次级气浮室、与次级气浮室进料口相连的次级循环溶气管路系统、次级进液管路，所述次级溶气泵外接空气供给源并且与次级进液管路相连，所述次级进液管路与初级清液出口相连；当次级气浮处理单元数量为两个及两个以上时，次级气浮处理单元之间通过上一次级气浮处理单元的次级清液出口与下一次级气浮处理单元的次级进液管路连接。
分级废水处理系统

[实用新型]分级气浮废水处理系统-CN201921667116.5有效
发明人：郭定江;刘兵;唐波 -专利权人：四川恩特普环保科技有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： C02F1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种分级气浮废水处理系统，包括初级气浮处理单元以及至少一个次级气浮处理单元；初级气浮处理单元包括：初级气浮室、与初级气浮室进料口相连的初级循环溶气管路系统、初级进液管路，初级溶气泵外接空气供给源并且与初级进液管路相连；次级气浮处理单元包括：次级气浮室、与次级气浮室进料口相连的次级循环溶气管路系统、次级进液管路，次级溶气泵外接空气供给源并且与次级进液管路相连，次级进液管路与初级清液出口相连；当次级气浮处理单元数量为两个及两个以上时，次级气浮处理单元之间通过上一次级气浮处理单元的次级清液出口与下一次级气浮处理单元的次级进液管路连接。
分级废水处理系统

[实用新型]一种处理含藻类物质污水的一体化装置-CN202022571372.3有效
发明人：边淑贞;廖常盛;胡美玲;矫忠直 -专利权人：达斯玛环境科技（北京）有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种处理含藻类物质污水的一体化装置，包括：混凝反应单元与絮凝反应单元、气浮单元和过滤单元集成设置在一起，形成一体化结构，气浮单元和过滤单元集成设置在同一池体内，气浮单元设置在过滤单元上面；混凝反应单元前端设有混凝进水管，该混凝反应单元依次与絮凝反应单元、气浮单元和过滤单元连通；气浮单元和过滤单元所在池体内设有反洗单元；溶气释放单元设置在絮凝反应单元一侧，与气浮单元连接；刮渣单元设置在气浮单元所在的池体上；过滤单元所在池体的后端设置出水管。该装置集混凝、絮凝、气浮和过滤于一体，处理含藻类物质污水能有效去除藻渣、避免释放器堵塞，使出水水质达标。
一种处理藻类物质污水一体化装置

[发明专利]微纳米气浮过滤结构和微纳米气浮过滤装置-CN202210737911.7在审
发明人：左金宝;明亮;吴云峰;徐远征 -专利权人：珠海滢凯工业技术有限公司;珠海市科英机电设备有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B01D63/16 文献下载
摘要：本发明提供一种微纳米气浮过滤结构和微纳米气浮过滤装置，该微纳米气浮过滤结构包括容纳腔、旋转驱动单元和膜过滤单元，膜过滤单元设置在容纳腔内，旋转驱动单元设置在容纳腔外，旋转驱动单元驱动膜过滤单元旋转，膜过滤单元包括中空旋转轴和过滤膜，中空旋转轴内设置有渗液通道，过滤膜均设置在中空旋转轴上，过滤膜内设置有产水通道，产水通道与渗液通道连通，容纳腔内设置有气浮曝气单元，气浮曝气单元设置在过滤膜的下方，气浮曝气单元能排出微纳米气泡；该微纳米气浮过滤装置包括上述微纳米气浮过滤结构
纳米过滤结构装置

[实用新型]微纳米气浮过滤结构和微纳米气浮过滤装置-CN202221628213.5有效
发明人：左金宝;明亮;吴云峰;徐远征 -专利权人：珠海滢凯工业技术有限公司;珠海市科英机电设备有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： B01D63/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种微纳米气浮过滤结构和微纳米气浮过滤装置，该微纳米气浮过滤结构包括容纳腔、旋转驱动单元和膜过滤单元，膜过滤单元设置在容纳腔内，旋转驱动单元设置在容纳腔外，旋转驱动单元驱动膜过滤单元旋转，膜过滤单元包括中空旋转轴和过滤膜，中空旋转轴内设置有渗液通道，过滤膜均设置在中空旋转轴上，过滤膜内设置有产水通道，产水通道与渗液通道连通，容纳腔内设置有气浮曝气单元，气浮曝气单元设置在过滤膜的下方，气浮曝气单元能排出微纳米气泡；该微纳米气浮过滤装置包括上述微纳米气浮过滤结构。
纳米过滤结构装置

[发明专利]高低温箱内被测件的三维变形测量装置-CN201110370253.4有效
发明人：孙建辉;单晓杭;彭廷红;郑欣荣 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2011-11-18 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：一种高低温箱内被测件的三维变形测量装置，测量装置包括细绳、三维气浮组件和三个方向的带编码器的信号采集模块，各个气浮单元均包括气浮轴和气浮套，三个方向的带编码器的信号采集模块分别安装在x向气浮单元、y向气浮单元和z向气浮单元上；x向气浮轴安装在固定板上，x向气浮套可滑动地安装在x向气浮轴上，x向气浮套与y向气浮轴固定连接，y向气浮套可滑动地安装在y向气浮轴上，y向气浮套与z向气浮套固定连接，z向气浮轴可滑动地安装在z向气浮套上；细绳的上端与被测件连接，细绳的下端与三维气浮组件的z向气浮轴连接。
低温箱内被测件三维变形测量装置

[发明专利]高低温箱内机械装置三维微小变形的高精度测量系统-CN201110370271.2有效
发明人：单晓杭;孙建辉;彭廷红;郑欣荣 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2011-11-18 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： G01N3/40 文献下载
摘要：一种高低温箱内机械装置三维微小变形的高精度测量系统，测量系统包括细绳、三维气浮组件和三个方向的光电位移传感装置，各个气浮单元均包括气浮轴和气浮套，三个方向的光电位移传感装置分别安装在x向气浮单元、y向气浮单元和z向气浮单元上，用以测量x向、y向和z向位移；x向气浮轴安装在固定板上，x向气浮套可滑动地安装在x向气浮轴上，x向气浮套与y向气浮轴固定连接，y向气浮套可滑动地安装在y向气浮轴上，y向气浮套与z向气浮套固定连接，z向气浮轴可滑动地安装在z向气浮套上；细绳的上端与被测件连接，细绳的下端与三维气浮组件的z向气浮轴连接。
低温机械装置三维微小变形高精度测量系统

[发明专利]高低温箱内被测件变形量的高精度测量系统-CN201110370274.6有效
发明人：彭廷红;孙建辉;单晓杭;郑欣荣;丁少杰 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2011-11-18 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：一种高低温箱内被测件变形量的高精度测量系统，测量系统包括细绳、三维气浮组件和三个方向的激光位移光电编码测量模块，各个气浮单元均包括气浮轴和气浮套，三个方向的激光位移光电编码测量模块分别安装在x向气浮单元、y向气浮单元和z向气浮单元上；x向气浮轴安装在固定板上，x向气浮套可滑动地安装在x向气浮轴上，x向气浮套与y向气浮轴固定连接，y向气浮套可滑动地安装在y向气浮轴上，y向气浮套与z向气浮套固定连接，z向气浮轴可滑动地安装在z向气浮套上；细绳的上端与被测件连接，细绳的下端与三维气浮组件的z向气浮轴连接。
低温箱内被测件变形高精度测量系统

[实用新型]高低温箱内被测件变形量的高精度测量系统-CN201120462807.9有效
发明人：彭廷红;孙建辉;单晓杭;郑欣荣;丁少杰 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2011-11-18 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：一种高低温箱内被测件变形量的高精度测量系统，测量系统包括细绳、三维气浮组件和三个方向的激光位移光电编码测量模块，各个气浮单元均包括气浮轴和气浮套，三个方向的激光位移光电编码测量模块分别安装在x向气浮单元、y向气浮单元和z向气浮单元上；x向气浮轴安装在固定板上，x向气浮套可滑动地安装在x向气浮轴上，x向气浮套与y向气浮轴固定连接，y向气浮套可滑动地安装在y向气浮轴上，y向气浮套与z向气浮套固定连接，z向气浮轴可滑动地安装在z向气浮套上；细绳的上端与被测件连接，细绳的下端与三维气浮组件的z向气浮轴连接。
低温箱内被测件变形高精度测量系统

[实用新型]高精度龙门气浮平台-CN202121885599.3有效
发明人：肖国丰;陈志强 -专利权人：北京瑞邦精控科技有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精度龙门气浮平台，包括：两个龙门导轨，其相对且平行设置，任一龙门导轨上设有与其滑动连接的龙门气浮组件；横梁导轨，其固设于两个龙门气浮组件之间，横梁导轨上设有与其滑动连接的横梁气浮组件；其中，龙门气浮组件和横梁气浮组件上均设有多个多孔节流气浮支撑单元和多个小孔节流气浮支撑单元，任一多孔节流气浮支撑单元的出气口位于龙门气浮组件或横梁气浮组件的两侧，任一小孔节流气浮支撑单元的出气口位于龙门气浮组件或横梁气浮组件的顶部和本实用新型采用多孔节流和小孔节流配合的方式实现气浮支撑，确保了龙门气浮平台的高刚性和高稳定性，并彻底避免气浮组件抱死的现象发生。
高精度龙门平台

[实用新型]一种单元拼装式生态浮岛-CN202220875488.2有效
发明人：曲毅;郝进伟;丁宇;曹惠翔;杨宏旺;刘雪;徐慧荟;谢辉 -专利权人：毅康科技有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： C02F3/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及生态工程技术领域，特别涉及一种单元拼装式生态浮岛，包括由若干个单元浮岛围绕曝气浮岛相连而成，曝气浮岛和单元浮岛均为正多边形结构；曝气浮岛和单元浮岛各自圆周侧壁上竖向设置有大端面朝内的梯形插槽；相邻的单元浮岛之间以及单元浮岛与曝气浮岛之间均通过连接块插入梯形插槽中进行连接，连接块4与梯形插槽9相匹配；曝气浮岛上设置有太阳能支架和曝气风机，太阳能支架设置有太阳能电池板，太阳能电池板用于向曝气风机供电，连接块上设置有若干个曝气孔，曝气风机通过曝气孔向单元浮岛进行曝气。以此解决了生态浮岛的水体曝气问题，同时通过太阳能电池板的使用降低了成本，整体安装拆卸方便快捷。
一种单元拼装生态

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