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- [发明专利]晶圆承载装置-CN202310379220.9在审
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肖国丰;陈志强;刘中伟
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2023-04-11
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2023-07-04
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H01L21/687
- 本发明公开了一种晶圆承载装置，包括由下至上依次设置的第一驱动件、第一负载板、第二驱动件、第二负载板、真空吸盘，还包括至少两根竖直的接片柱；第三驱动件，其设在所述第一负载板上且位于所述第二驱动件下方；其中，所述第二驱动件、所述第二负载板、所述真空吸盘上均设有同轴同径的穿孔以形成与所述接片柱对应的通道，所述第三驱动件驱动所述接片柱的顶部在竖直方向上同步往复进出所述通道的顶部，且所述通道使所述接片柱适应第二负载板做六自由度微动。本发明具有的有益效果是，利用本装置，只需驱动接片柱向上移动，将晶圆从真空吸盘上向上顶升，以便机械手取走，避免了原有的垂直升降运动台和微动台的配合调整，操作简单、快速。
- 承载装置
- [发明专利]高精度大负载AC轴-CN202310379274.5在审
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肖国丰;陈志强;刘中伟
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2023-04-11
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2023-06-23
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B23K26/70
- 本发明公开了一种高精度大负载AC轴，包括：A轴组件，其包括：两个A轴力矩电机，其水平同轴且相对设置；固定组件，其与每个A轴力矩电机的定子连接；C轴组件，其包括：C轴力矩电机，其竖直设于两个A轴力矩电机中间，C轴壳体，其套设在C轴力矩电机的外侧，C轴力矩电机的定子与C轴壳体连接，每个A轴力矩电机的动子与C轴壳体的外侧壁连接，本发明的各旋转轴采用直驱力矩电机进行驱动，零齿槽效应且无采用伺服电机驱动时的传动结构，提高了驱动精度的同时极大的减小了结构的尺寸，可充分的满足在有限空间内的安装应用。
- 高精度负载ac
- [实用新型]高精度龙门运动台-CN202122483486.7有效
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肖国丰;陈志强
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2021-10-15
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2022-02-18
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B23Q1/01
- 本实用新型公开了一种高精度龙门运动台，包括基座；龙门支撑组件，其包括设置于所述基座两侧的侧立柱，两侧立柱的顶端分别设置有导轨；横梁轴组件，所述横梁轴组件包括横梁轴、分别连接于横梁轴两端的两支撑块组件及滑设于所述横梁轴上的横梁滑台，两支撑块组件分别滑动连接于两导轨上，以使所述横梁轴组件滑设于所述龙门支撑组件的顶部。本实用新型的高精度龙门运动台通过设置支撑块组件，利用支撑块组件连接横梁轴与龙门支撑组件来达到结构的优化，进而降低零部件的加工要求，降低装配要求并提高龙门运动台的整体运行刚度及运行精度。
- 高精度龙门运动
- [实用新型]三轴中空精密运动台-CN202122244551.0有效
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肖国丰;陈志强
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2021-09-16
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2021-11-23
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G01D11/00
- 本实用新型公开了三轴中空精密运动台，包括：基座，其上设置有放待检测物质的区域，基座沿水平方向设置；三轴运动平台，其设置在基座上，三轴运动平台包括可沿水平面内相互垂直的两个方向移动的XY轴运动平台和可沿竖直方向移动的Z轴运动平台，其中，XY轴运动平台和Z轴运动平台上均设置有贯通孔，贯通孔均允许检测设备通过并到达放待检测物质的区域的上方。本实用新型通过XYZ方向的大中孔结构，能够为大尺寸工件的光学检测提供充足的安装和检测空间，并满足大负载和大加速度及高精度的要求。
- 中空精密运动
- [实用新型]高精度二维运动台-CN202122293356.7有效
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肖国丰;陈志强
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2021-09-22
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2021-11-23
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F16M11/04
- 本实用新型公开了一种高精度二维运动台，其特征在于，包括：底轴基座；底轴负载板，其两端分别通过一个第一交叉滚柱导轨滑动设于所述底轴基座的顶部，任一第一交叉滚柱导轨包括固设于所述底轴基座上的第一固定导轨，以及固设于所述底轴负载板上的第一滑动导轨；任一第一滑动导轨和与其相对应的第一固定导轨相互平行且彼此滑动连接，第一滑动导轨的长度小于第一固定导轨的长度；上轴负载板，其滑动设于所述底轴负载板上，所述上轴负载板相对所述底轴负载板的滑动方向与第一固定导轨垂直。本实用新型采用精密交叉滚柱导轨进行导向，并通过对交叉滚柱导轨进行部分改进从而实现二维非等行程运动，同时可满足于真空环境下使用。
- 高精度二维运动
- [实用新型]大负载精密气浮直线平台-CN202121869806.6有效
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肖国丰;陈志强
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2021-08-11
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2021-11-02
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H02K7/14
- 本实用新型公开了大负载精密气浮直线平台，包括：基座，其上相对设有平行的气浮导轨；滑台组件，其滑动设置于所述气浮导轨上，所述滑台组件两侧相对设有多个多孔节流的气浮块，所述气浮块的出气方向朝向所述气浮导轨的侧壁，所述滑台组件底部设有多个小孔节流单元的出气孔；直线驱动组件，直线驱动组件驱动所述滑台组件滑动。本实用新型具有在多孔节流的气浮块和小孔节流单元均加载气流，可以使得滑台组件侧面和底面与气浮导轨之间形成气膜，从而实现无接触滑动，以及避免气浮块与气浮导轨发生抱死现象的有益效果。
- 负载精密直线平台
- [实用新型]高精度龙门气浮平台-CN202121885599.3有效
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肖国丰;陈志强
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2021-08-12
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2021-11-02
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F16C32/04
- 本实用新型公开了一种高精度龙门气浮平台，包括：两个龙门导轨，其相对且平行设置，任一龙门导轨上设有与其滑动连接的龙门气浮组件；横梁导轨，其固设于两个龙门气浮组件之间，横梁导轨上设有与其滑动连接的横梁气浮组件；其中，龙门气浮组件和横梁气浮组件上均设有多个多孔节流气浮支撑单元和多个小孔节流气浮支撑单元，任一多孔节流气浮支撑单元的出气口位于龙门气浮组件或横梁气浮组件的两侧，任一小孔节流气浮支撑单元的出气口位于龙门气浮组件或横梁气浮组件的顶部和/或底部。本实用新型采用多孔节流和小孔节流配合的方式实现气浮支撑，确保了龙门气浮平台的高刚性和高稳定性，并彻底避免气浮组件抱死的现象发生。
- 高精度龙门平台
- [实用新型]侧挂垂向运动气浮直线台-CN202121924320.8有效
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肖国丰;陈志强
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2021-08-17
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2021-11-02
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G01D11/00
- 本实用新型公开了一种侧挂垂向运动气浮直线台，包括：基座；滑台，其可移动设置在基座上，基座和滑台间设有间隙，滑台两侧与基座磁性相吸，滑台上设置有进气口，滑台上间隙对应处设置有多个与进气口连通的出气口；一对气缸，其分别设置在滑台的两侧，气缸的活塞杆的活动端与滑台铰接，活塞杆与滑台移动方向相同，气缸的气缸本体外环设有转接内环，转接内环外环设有转接外环，转接外环与转接内环通过第一连接杆转动连接，转接外环外设置有支撑块，支撑块与转接外环通过一对同轴的第二连接杆转动连接，第一连接杆与第二连接杆位于同一平面且垂直，支撑块与基座连接。本实用新型运行平稳可靠且运行精度高。
- 侧挂垂运动直线
- [实用新型]一种高精度气浮转台-CN202122011305.0有效
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肖国丰;陈志强
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2021-08-25
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2021-11-02
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F16C32/06
- 本实用新型公开了一种高精度气浮转台，包括固定部件及转动部件，所述转动部件可转动套设于固定部件中部，且与固定部件同轴；所述固定部件上设置有轴向气孔及多层径向气孔，所述固定部件上还设置有与轴向气孔和/或径向气孔连通的进气孔，以使进气孔通气后，所述固定部件与所述转动部件之间形成气膜；其中，所述固定部件内壁上在相邻两层径向气孔间设置有环形排气槽，所述固定部件上设有使环形排气槽与大气相通的排污气孔。本实用新型的一种高精度气浮转台通过在固定部件内壁上设置环形排气槽，作为两层径向气孔之间气体排出通道，将气体中杂质、水和油等污染物排出设备，实现对气浮转台自清洁功能。
- 一种高精度转台
- [实用新型]六自由度微动平台-CN202122053282.X有效
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肖国丰;陈志强
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2021-08-27
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2021-11-02
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B25H1/00
- 本实用新型公开了一种六自由度微动平台，包括：微动板，其水平设置，微动板包括平板，平板的外侧由内到外依次套设有内框体、中框体和外框体；负载板，其水平放置在平板上，负载板与平板转动连接；平升摆动组件，其包括三个第一伸缩件，三个第一伸缩件竖直设置并呈三角形排布，每个第一伸缩件的输出端与外框体的底部抵接；平移组件，其包括两个第二伸缩件，其中一个第二伸缩件的输出端与中框体连接，另一个第二伸缩件的输出端与内框体连接，第一方向和第二方向相互垂直；旋转组件，其固设于外框体上，旋转组件的输出端与负载板连接。本实用新型将平升摆动组件、平移组件和旋转组件分开设置，简化了协调过程，微动精度高。
- 自由度微动平台
- [实用新型]垂直升降运动台-CN202122083834.1有效
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肖国丰;陈志强
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2021-08-31
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2021-11-02
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B66F7/06
- 本实用新型提供了一种垂直升降运动台，包括：底座，其水平设置，底座上设置有轴承座；导轨安装座，其与底座连接，导轨安装座上平行设置有三条导轨，导轨与所述底座垂直，每条导轨上均设置有两个滑块；滚珠丝杆机构，其包括滚珠丝杆和丝杆母，丝杆母套设在滚珠丝杆上，滚珠丝杆的一端与轴承座连接；上安装板，其为L形，包括水平设置的第一连接板和垂直设置的第二连接板；竖直安装板，其上端面与第一连接板连接，竖直安装板上设置有凸台，凸台与所述丝杆母连接；光栅尺，其包括光栅尺条和读数头，光栅尺条设置在竖直安装板的一侧上。本实用新型稳定性高，精度高，有效提升升降运动台到达准确的位置。
- 垂直升降运动
- [实用新型]精密气浮直线平台-CN202121869713.3有效
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肖国丰;陈志强
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北京瑞邦精控科技有限公司
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2021-08-11
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2021-10-19
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B23Q1/38
- 本实用新型公开了一种精密气浮直线平台，包括：基座；气浮滑台，其滑设于基座上，气浮滑台与基座之间设有间隙，气浮滑台的两侧与基座的底部的两侧磁性相吸；气浮滑台的外壁上设有进气口，内壁上设有多个出气口，任一出气口与进气口连通；基座的沿其宽度方向的两侧均设有预载板，任一预载板水平设置，并由可与磁铁相吸的铁磁性材料制成；气浮滑台为倒扣于基座上的倒U型结构，气浮滑台的两个竖直部的自由端上均间隔嵌设有多个永磁铁，任一永磁铁位于与其对应的预载板的正上方。本实用新型具有提高稳定性、运行精度和定位精度的有益效果。
- 精密直线平台
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