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- [发明专利]气流调节装置以及具备其的测试分选机-CN202110447283.4有效
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金贞淑;金永柱;李贤振
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细美事有限公司
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2021-04-25
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2023-09-22
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B07C5/02
- 本说明书的实施例提供一种气流调节装置以及具备其的测试分选机。根据本说明书的实施例的气流调节装置包括：风扇，形成用于对安放在测试托盘中的半导体元件的温度进行控制的气流；风道，向接口板的方向引导所述气流；气流调节板，位于将双面模板向所述接口板的方向推压的加压单元和使所述加压单元移动的驱动单元之间，并形成有被所述风道引导的气流能够穿过的多个孔洞；以及第一流量调节单元，附着于形成在所述气流调节板中的至少一个孔洞，并调节所述至少一个孔洞的开放面积。通过流量调节单元调节形成在气流调节板中的孔洞的开放面积，从而能够控制测试腔室内部的气流，能够减少半导体元件的温度偏差。
- 气流调节装置以及具备测试分选
- [发明专利]呼吸装置-CN201610278973.0在审
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萧志扬;林书宏
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新利虹科技股份有限公司
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2016-04-28
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2016-11-16
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A61M16/00
- 本发明涉及一种呼吸装置，其包括压力调整单元、压力侦测单元、流量侦测单元以及处理单元。压力调整单元与处理单元电性耦接，具有耦接端，压力侦测单元与耦接端耦接，用以检测耦接端之气流压力，流量侦测单元与耦接端耦接，用以检测耦接端之气流流量，处理单元与压力调整单元、压力侦测单元以及流量侦测单元电性耦接，其中，呼吸装置操作于侦测模式时，处理单元根据气流阻力所设定之吸气时间参数、呼吸频率参数以及肺柔软度所设定之压力支持参数使压力调整单元在侦测时段内调整气流压力为侦测压力。
- 呼吸装置
- [发明专利]用于处理基板的设备-CN202111396154.3在审
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严基象;李正悦;丁宣旭;柳杨烈
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细美事有限公司
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2021-11-23
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2022-05-24
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G03F7/16
- 一种用于处理基板的设备包括：处理容器，其具有内部空间；支撑单元，其具有支撑板，所述支撑板配置成在所述内部空间中支撑和旋转所述基板；液体供应单元，其配置成将处理液体供应至由所述支撑单元支撑的所述基板；以及排气单元，其配置成排放所述内部空间中的空气流，其中所述排气单元包括空气流引导管，所述空气流引导管引导由于由所述支撑单元支撑的所述基板的旋转而在所述基板上流向所述基板的外侧的空气流的流动方向，并且所述空气流引导管具有入口，空气流被引入所述入口中，所述入口设置在与由所述支撑单元支撑的所述基板基本相同的水平处。
- 用于处理设备
- [实用新型]镀膜腔室及镀膜设备-CN202223198094.7有效
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许铁柱;李丹
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拓荆科技股份有限公司
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2022-11-29
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2023-03-14
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C23C16/455
- 本实用新型提供一种镀膜腔室及镀膜设备，涉及半导体技术领域，镀膜腔室包括腔室、进气流道和温度控制单元；所述进气流道的一端与所述腔室内部连通，所述温度控制单元设置在所述进气流道内，且所述温度控制单元位于所述进气流道与所述腔室的交界区域将温度控制单元设置在进气流道与腔室的交界区域，能够使温度控制单元靠近腔室设置，缩小温度控制单元与腔室之间的距离，使温度控制单元具有良好地温控效果，提升进气流道内的流导率的调节效果，从而保证镀膜工艺环境的温度性
- 镀膜设备
- [发明专利]浴室取暖器控制设备-CN201410390227.1有效
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杨伟
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杨伟
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2014-08-08
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2014-10-15
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F24D19/10
- 热水器燃气气流测量单元布置在所述燃气热水器的燃气接口处，以便感测燃气接口处水的气流速度。控制单元通过向所述浴室取暖器发送第一信号来开启述浴室取暖器，并且通过向所述浴室取暖器发送第二信号来关闭述浴室取暖器；控制单元在通过向所述浴室取暖器发送第一信号来开启所述浴室取暖器并经过第一预定等待时间之后，向所述热水器燃气气流测量单元发送第三信号来开启所述热水器燃气气流测量单元；热水器燃气气流测量单元在第二预定等待时间内持续感测到燃气气流速度低于预定气流速度时向控制单元发送第四信号；控制单元在从所述热水器燃气气流测量单元接收第四信号时向所述浴室取暖器发送第二信号来关闭述浴室取暖器
- 浴室取暖器控制设备
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