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[发明专利]一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法-CN201610391574.5在审
发明人：姚坤;姚望;王传稳;陈静;高尚 -专利权人：怀远县金浩电子科技有限公司
申请日： 2016-06-06 - 公布日： 2016-09-07 - 主分类号： C08L33/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法，其具体制备步骤为：（1）将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中，并加入等质量的纯水，球磨后取出置入真空烘箱中烘干；（2）将配制好的玻璃粉与步骤（1）中处理好的混合料混合后进行充分搅拌，再置入真空烘箱中烘烤；（3）将步骤（2）中处理好的混合料均匀投入有机载料中，混匀搅拌后，再密闭超声后得到气敏浆料；本发明的有益效果是：采用配方、工艺参数设计合理，制备出的气敏浆料均匀，用该气敏浆料制备的半导体气敏元件敏感度高，各项性能优异。
一种半导体元件浆料制备方法

[发明专利]一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法-CN201611212422.0在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：青岛祥智电子技术有限公司
申请日： 2016-12-25 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法，其具体制备步骤为：(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中，并加入等质量的纯水，球磨后取出置入真空烘箱中烘干；(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌，再置入真空烘箱中烘烤；(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中，混匀搅拌后，再密闭超声后得到气敏浆料；本发明的有益效果是：采用配方、工艺参数设计合理，制备出的气敏浆料均匀，用该气敏浆料制备的半导体气敏元件敏感度高，各项性能优异。
浆料制备半导体气敏元件置入真空烘箱混合料球磨机工艺参数设计二氧化钛浆料制备玻璃粉敏感度氧化锌烘烤烘干密闭超声混匀球磨配制配方取出

[发明专利]一种MEMS气体传感器及其制造方法-CN202210774283.X在审
发明人：陈学志;杨云春;陆原 -专利权人：赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：该制造方法包括：提供一衬底；在衬底的第一表面依次形成支撑层、加热电极和绝缘层；在绝缘层上旋涂一层气敏材料，形成气敏膜层，并对气敏膜层图形化处理；采用剥离工艺在图形化处理后的气敏膜层上形成气敏电极；从衬底的第二表面开始旋涂的方法可以有效改善形成的气敏膜层的厚度一致性，显著提高MEMS气体传感器因气敏膜层不均匀而导致的产品性能一致性的问题。同时还可以显著提高生产效率，适合大规模量产。且采用该制造方法制造的MEMS气体传感器可以有效提高气敏膜层与气敏电极之间的黏附性。
一种 mems 气体传感器及其制造方法

[发明专利]基于STM32的智能液态蒸发式VOC气体测试表征仪-CN201910372119.4有效
发明人：郑雁公 -专利权人：宁波大学
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：基于STM32的智能液态蒸发式VOC气体测试表征仪，属于气敏元件性能测试领域。技术方案如下：包括：配气进液控制器、配气箱、气敏测试系统、N2气瓶、上位机、液体蒸发炉，所述液体蒸发炉内置于所述配气箱，所述配气进液控制器与所述液体蒸发炉连接，所述配气箱的入口通过三通阀分别与所述气敏测试系统、N2气瓶连接，所述配气箱的出口与所述气敏测试系统连接，所述气敏测试系统与所述上位机连接。有益效果是:本发明将液态的VOC气体通过液态蒸发的办法蒸发成气态的VOC气体，通过单片机STM32控制流量泵从而控制液体注入的流速和蒸发的速度；通过单片机控制载气的流速将所蒸发好的混合气体均匀地送入气敏元件测试箱进行元件测试
基于 stm32 智能液态蒸发 voc 气体测试表征

[发明专利]一种室温检测NO₂有机/无机复合气敏材料的制备与应用-CN201010518844.7无效
发明人：王淑荣;张守民;郭先芝;吴世华 -专利权人：南开大学
申请日： 2010-10-26 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： C08L65/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种室温检测NO2有机/无机复合气敏材料及其制备方法与应用。本发明的室温检测NO2的有机/无机复合气敏材料，以所制备的纳米半导体金属氧化物WO3粉体为无机成分，所制备的导电高分子聚合物聚噻吩(PTP)为有机成分。公开了复合气敏材料的制备方法及应用方法。本发明的有益效果在于：采用简单的机械共混法制备出PTP/WO3有机/无机复合气敏材料，其有机和无机含量易控。制备的气敏材料具有较好的热稳定性。制备的气敏材料对NO2具有优良的气敏性能：灵敏度高，操作温度低，选择性好。具有良好的工业应用前景。
一种室温检测 no sub 有机无机复合材料制备应用

[发明专利]精细多孔结构气敏传感材料的制备方法-CN201210510028.0无效
发明人：苏慧兰;由雪玲;张荻 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2012-12-03 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C04B41/85 文献下载
摘要：本发明公开了一种精细多孔结构气敏传感材料的制备方法，包括以下步骤：对植物叶片进行预处理；将预处理后的叶片放入前驱液中，进行两步浸渍；将两步浸渍后的叶片依次经过清洗、干燥、烧结处理，制得精细多孔结构的金属氧化物气敏材料；将制得的金属氧化物气敏材料涂覆于基底表面，并对其进行老化处理，制得具有精细多孔结构的金属氧化物气敏传感材料。本发明的精细多孔气敏传感材料的制备方法，其工艺简单灵活，成本低廉，可通过调控纳米颗粒的尺寸、选择不同的植物叶片模板，而获得具有优良性能的气敏传感材料，本发明方法制得的精细多孔结构的气敏材料能对各种气体表现出高的灵敏度
精细多孔结构传感材料制备方法

[实用新型]一种基于陶瓷基片的微热板气敏阵列器件-CN201920311587.6有效
发明人：张顺平 -专利权人：华中科技大学;深圳华中科技大学研究院
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本实用新型属于气敏传感器制造技术领域，并公开了一种基于陶瓷基片的微热板气敏阵列器件。包括多孔保护网罩、陶瓷微热板气敏阵列芯片、垫高环和半导体管壳；陶瓷微热板气敏阵列芯片设于所述多孔隙保护网罩下方，其与垫高环的一侧固定连接；半导体管壳与所述垫高环的另一侧固定连接，且所述陶瓷微热板气敏阵列芯片通过引线与所述焊盘连接本实用新型既能使陶瓷微热板气敏阵列芯片中的气敏膜充分接触到气氛，又使器件具有一定的机械性能，有效避免了硅片在热冲击过程中因应力累积而发生破裂等问题，提高了产品的稳定性和可靠性，使得器件能广泛地应用在各种场合
微热板阵列芯片陶瓷垫高半导体管壳本实用新型保护网罩机械性能气敏传感器充分接触陶瓷基片应力累积阵列器件多孔隙气敏膜热冲击硅片焊盘破裂应用制造

[实用新型]一种混合气体检测的微型传感器阵列-CN202222544692.9有效
发明人：李强;马铭玮;李明勇;云峰 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：本实用新型包设置在基底上的四种不同铟锡比例的气敏单元，分别为第一气敏单元、第二气敏单元、第三气敏单元与第四气敏单元，每一个气敏单元上设置有叉指电极。将气敏元器件制备为阵列的形式，可解决传感器在化工、煤炭行业中产生的混合气体检测时的交叉敏感和目标优选问题，能够提高器件的抗干扰性能，且能一次性有效实现多个目标气体的检测。
一种混合气体检测微型传感器阵列

[发明专利]一种氧化锌纳米管阵列气敏传感器的制备方法-CN201510686553.1在审
发明人：何丹农;林琳;章龙;王艳丽;张春明 -专利权人：上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
申请日： 2015-10-22 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于丙酮气体检测的氧化锌纳米管阵列传感器的制备方法，采用湿化学-分步温控相结合法制备氧化锌纳米管阵列，气敏传感器件采用旁热式器件结构，以氧化铝陶瓷管为载体，陶瓷管内部有加热丝，外表面附有金电极，两端由铂金丝引出电极，陶瓷管内有加热丝，陶瓷管外涂附氧化锌纳米管阵列气敏材料，焊接、封装后得到气敏传感器件。本发明的优点在于利用纳米管阵列做气敏材料，可大大增加材料表面的活性空位及电子传输性能；提高气敏传感器的响应率和响应时间；本发明的气敏传感器件制作简单、性能稳定、灵敏度高、响应时间短、恢复时间短，可显著降低对丙酮的检测极限
一种氧化锌纳米阵列传感器制备方法

[发明专利]一种含气凝胶的温敏隔热保温采光玻璃及其制备方法-CN201711486920.9在审
发明人：卢梦言;卢孟磊;左小荣;张丁日;卢军;卢珊;卢斌 -专利权人：长沙星纳气凝胶有限公司
申请日： 2017-12-30 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： E06B3/67 文献下载
摘要：一种含气凝胶的温敏隔热保温采光玻璃，主要由两片玻璃、与两片玻璃构成空腔的间隔条和密封胶、空腔中填充的气凝胶颗粒、气凝胶颗粒间或气凝胶颗粒与玻璃间的缝隙中填充的温敏变色水凝胶组成，所述气凝胶为疏水气凝胶或具有内部疏水、表面亲水结构特征的气凝胶，其制备方法包括以下步骤：（1）制作玻璃空腔，（2）填充气凝胶，（3）灌入温敏变色水溶胶，（4）封口。本发明的温敏隔热采光玻璃随着环境温度升高，近红外透过率随之智能降低，气凝胶颗粒被温敏变色水凝胶限定位置，无法移动；具有低的导热系数以及优异的隔音性能减震吸能性能，可广泛应用于绿色建筑、超低能耗建筑的保温隔热窗
温敏气凝胶颗粒气凝胶采光玻璃变色隔热保温两片玻璃水凝胶空腔制备填充封口减震保温隔热窗疏水气凝胶填充气凝胶表面亲水玻璃空腔超低能耗导热系数隔音性能交通运输绿色建筑围护结构限定位置采光顶间隔条密封胶水溶胶透过率隔热隔墙灌入幕墙疏水吸能玻璃智能移动制作应用

[发明专利]一种高灵敏度的氨气气体传感器及其制备方法-CN201911224960.5有效
发明人：高翔;郑成航;王永广;周灿;翁卫国;张涌新;吴卫红;刘少俊;张悠;周志颖 -专利权人：浙江大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01N27/416 文献下载
摘要：本发明涉及一种高灵敏度的氨气气体传感器及其制备方法，所述高灵敏度氨气气体传感器包括金叉指电极基片和气敏材料层，所述金叉指电极基片由下层的氧化铝陶瓷衬底和固定于在其表面的金叉指电极构成，所述气敏材料层涂覆在金叉指电极表面；所述气敏材料层主体成分为贵金属钌修饰的氧化钨，采用钨酸钠作为钨源，氯化钌作为贵金属来源。本发明使用3D打印方法在金叉指电极上沉积气敏材料，能方便快速的得到厚度和形状可控的气敏薄膜，制备方法简单，制作成本低，适合大规模生产；本发明中贵金属钌的修饰增强了气敏材料的表面活性，促进了待测气体与气敏材料的反应，从而进一步提高了气敏性能。
一种灵敏度氨气气体传感器及其制备方法

[发明专利]一种磺化石墨烯负载氧化铟气敏材料的制备方法-CN201811527036.X在审
发明人：申芳华;廖梓龙 -专利权人：东莞理工学院
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： C01B32/19 文献下载
摘要：本发明属于气体敏感材料技术领域，具体涉及一种磺化石墨烯负载氧化铟气敏材料的制备方法；磺化石墨烯负载氧化铟气敏材料的制备过程中，依次制备氧化石墨烯、还原氧化石墨烯、磺化石墨烯、磺化石墨烯负载氧化铟，本发明制造成本低廉，制备磺化石墨烯负载氧化铟的过程中，没有污染产生，制备得到的磺化石墨烯负载氧化铟气敏材料中，磺化石墨烯与氧化铟互相协同，拥有较佳的协同效果，大大提高了气敏材料的气敏性能。
石墨烯磺化氧化铟气敏材料制备还原氧化石墨烯气体敏感材料制备氧化石墨协同气敏性能制备过程制造成本污染

[发明专利]一种提高有机-无机杂化钙钛矿衍生ABX3-CN202211375160.5在审
发明人：王晓红;徐甲强;张欣瑜 -专利权人：上海大学
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及半导体气敏元件技术领域，具体地说是一种提高有机‑无机杂化钙钛矿衍生ABX3/SnO2复合物甲醛气敏性能的方法使用液相制备法结合管式炉焙烧工艺得到ABX3/SnO2复合物，通过XRD、SEM、ATR‑IR表征，研究分析材料的组成与形貌结构，并测试了材料的各项气敏性能/base:Sub>NH3PbI3)中B位的Pb，利用铜和锡的钝化作用，活化了晶格，改善了有机‑无机杂化钙钛矿的结晶性能，并在此基础上焙烧获得其衍生物ABX3/SnO2复合物，提高了材料的气敏性能，降低了其工作温度，提高了其气敏选择性。
一种提高有机无机杂化钙钛矿衍生 abx base sub

[发明专利]氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件及制备方法-CN201310264387.7有效
发明人：葛美英;尹桂林;姜来新;何丹农 -专利权人：上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
申请日： 2013-06-28 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器及其制备方法，氧化锡-氧化锌复合空心微球利用模板法制备，气敏传感器件采用旁热式器件结构，以氧化铝陶瓷管为载体，陶瓷管内部有加热丝，外表面附有金电极，两端由铂金丝引出电极在陶瓷管外部涂有氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏材料，焊接、封装后得到气敏传感器件。本发明的优点在于：利用比表面积大的金属氧化物微球做气敏材料，可大大增加材料表面的活性空位；提高气敏传感器的响应率和响应时间；本发明采的气敏传感器件制作简单、性能稳定、灵敏度高，在工作温度下对乙醇有很高的灵敏性
氧化氧化锌复合空心微球气敏传感器件制备方法

[实用新型]一种气敏传感器性能测试用气体循环装置-CN202320875843.0有效
发明人：李静;邓勇辉;程金生;郑捷亭;孙文滢;陈晓娜;林宝杰;陈佳耀;马婷婷;黄俊豪;林嘉怡;雷文韬 -专利权人：韶关学院
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气敏传感器性能测试用气体循环装置，包括气敏传感器测试装置，所述气敏传感器测试装置包括底座和两个测试主机，两个所述测试主机相对固定装设于底座的顶端。本实用新型在使用气敏传感器测试装置进行气敏传感器的测试时，通过调节组件与限位组件的相互配合，使得测试气体只会在固定筒与限位筒内流动，可在气体由固定筒内或是限位筒内流出时进行气敏传感器的更换，使得气敏传感器在更换时几乎不会有测试气体由装置内流出散发到外界空气中影响操作者的操作环境
一种传感器性能测试气体循环装置