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[外观设计]气体管路-CN202030306798.9有效
发明人：甘万 -专利权人：上海盛韬半导体科技有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： 23-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：气体管路。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品为用于气体输送设备上的流体调压阀组。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
气体管路

[外观设计]气体管路-CN202030306804.0有效
发明人：甘万 -专利权人：上海盛韬半导体科技有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： 23-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：气体管路。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品为用于气体输送设备上的流体调压阀组。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
气体管路

[实用新型]气体管路结构-CN201820286311.2有效
发明人：苏信瑀;廖志朋 -专利权人：苏信瑀
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本实用新型有关于一种气体管路结构，是一种提供加热后的特殊气体与化学气相沉积装置所产生的废弃混合的气体管路结构；本实用新型至少包括有一气管、一输气孔，以及一环体；藉此，本实用新型藉由在气管内加装气体流道与复数个气孔的硬体设计，有效使经过加热后的氮气与化学气相沉积装置的制程后所产生的废气于气管内混合，以避免排气管路中的废气凝结成粉尘而沉积于排气管内部而减损气管的流通性，确实达到提升废气的流速以输出至废气处理器并提升气管的流通性的主要优势
气管本实用新型化学气相沉积装置废气气体管路加热氮气废气处理器管路结构排气管路气体流道硬体设计内混合排气管输气孔复数环体加装制程沉积粉尘废弃凝结输出

[实用新型]气体的传输装置-CN202320490609.6有效
发明人：华宇;赵兴;祝家伟 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型提供一种气体的传输装置，包括总气体管路，总气体管路上设置总气体管路阀以及第一气体通量检测模块，总气体管路用于通入载气以及蒸汽；多个分气体管路，每个分气体管路的一端与总气体管路相连通，每个分气体管路的另一端均设置有喷淋头，每个分气体管路上均设置有第二气体通量检测模块以及分气体管路阀；控制电路，控制电路用与接收第一气体通量检测模块以及每个第二气体通量检测模块的电信号，若分气体管路间的气体通量差异大于预设值则关闭每个分气体管路阀本实用新型在分管的气体管路上添加气体通量检测模块，因此各管路的气体通量调整会更为高效；发生各管路上气体通量差异过大，能够中止当前工艺，从而避免产品的报废。
气体传输装置

[发明专利]一种精准比例混合气体供应设备-CN202110169374.6在审
发明人：黄金海 -专利权人：上海弗川自动化技术有限公司
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：本发明提供一种精准比例混合气体供应设备，包括特殊气体管路，与特殊气体管路连接的吹扫气体管路和标定气体管路；所述特殊气体管路包括A气体输入管路和B气体输入管路，与A气体输入管路和B气体输入管路连接的特殊气体混合器，与特殊气体混合器连接的特殊气体输出管路；所述标定气体管路与特殊气体混合器连接；所述特殊气体混合器包括混合输入管路，与混合输入管路连接的缓冲罐BT，与缓冲罐BT连接的混合输出管路。本发明通过将两种原始气体进行精准比例混合，实现混合气体供应，可以缩减购买混合气钢瓶和普通气柜的成品，并且可以根据实际使用需求进行流量控制，满足大批量使用需求，减少混合气体的使用成本，从而达到利润最大化。
一种精准比例混合气体供应设备

[实用新型]工艺气体进气管路系统-CN201721125247.1有效
发明人：许国青;茅兴飞 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-09-04 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工艺气体进气管路系统，包括至少一个非饱和蒸汽气体管路、非饱和蒸汽气体汇集管路、饱和蒸汽气体管路和混合管路，至少一个非饱和蒸汽气体管路并联后连通于非饱和蒸汽气体汇集管路，非饱和蒸汽气体汇集管路和饱和蒸汽气体管路交汇后连通于混合管路，混合管路用于连通至真空工艺腔，工艺气体进气管路系统还包括调压部件，调压部件设于非饱和蒸汽气体汇集管路上，用于将非饱和蒸汽气体汇集管路的出口处的压力调节至预定值以下。该工艺气体进气管路系统能够实现等离子刻蚀机、PVD等真空设备配气时饱和蒸汽气体与非饱和蒸汽气体的同时传送，使饱和蒸汽气体可与其它工艺气体按任意流量进行配比。
工艺气体管路系统

[实用新型]一种气体管路连接装置-CN202021321467.3有效
发明人：韩军 -专利权人：韩军
申请日： 2020-07-08 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： F16L29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体管路连接装置。该装置包括第一气体管路、第二气体管路、气门芯和顶针，第一气体管路上设有第一管路接头，第二气体管路上设有第二管路接头；气门芯安装于第一管路接头内，顶针位于第二管路接头内。当第一管路接头与第二管路接头连接时，顶针顶在气门芯上并接通第一气体管路和第二气体管路，气体由第一气体管路流向第二气体管路，在第二气体管路上安装有后端产品。当后端产品损坏需要拆卸下来进行检修或更换时，只需要将第二管路接头与第一管路接头断开，顶针与气门芯分开，第一管路接头达到自封的效果，第一气体管路内气体不会泄漏，将后端产品拆卸下来进行检修或更换即可。
一种气体管路连接装置

[发明专利]用于半导体制造设备的气体管路控制装置-CN201910560512.6有效
发明人：霍冬冬;蔡学权 -专利权人：英特尔半导体（大连）有限公司;英特尔公司
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于半导体制造设备的气体管路控制装置，半导体制造设备包括处理气体供给管路、处理气体排出管路和保护气体供给管路，所述气体管路控制装置包括：保护气体供给阀，设置在保护气体供给管路中，被配置为在保护气体供给阀处于打开状态时，使得保护气体供给管路与处理气体排出管路处于连通状态，以向处理气体排出管路供给保护气体，以及在保护气体供给阀处于关断状态时，使得保护气体供给管路与处理气体排出管路处于非连通状态，以禁止向处理气体排出管路供给保护气体；以及第一控制开关，被配置为在接收到保护气体供给信号时，使保护气体供给阀处于打开状态，并且在未接收到保护气体供给信号时，使保护气体供给阀处于关断状态。
用于半导体制造设备气体管路控制装置

[发明专利]裁切气体管路的方法与装置-CN200610150362.4无效
发明人：洪煜堃;刘享星;彭建国 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2006-10-30 - 公布日： 2008-05-07 - 主分类号： B26D7/08 文献下载
摘要：本发明是关于一种裁切气体管路的方法与装置。一种裁切气体管路的方法，包含选择一气体管路，并夹钳或滚压此气体管路，以形成一颈形区间于气体管路上，接着切割颈形区间，以裁切气体管路。颈形区间可为一封闭区间或为一半封闭区间，并借由颈形区间阻隔气体管路中一气体的流动，以减少裁切时，气体管路中残存的气体外泄的情形。一种用以裁切气体管路的装置，以裁切一气体管路，包含：一夹钳或滚压装置，用以夹钳或滚压该气体管路，并形成一颈形区间于该气体管路；以及一切割装置，用以切割该颈形区间，以裁切该气体管路。
气体管路方法装置

[发明专利]气体供应系统及其气体输送方法、等离子体处理装置-CN201911243135.X有效
发明人：连增迪;左涛涛;吴狄 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种气体供应系统，包括多个气体输入管路和气体输出管路，所述气体输入管路包括并联的第一气体输出支路和第二气体输出支路，所述气体输出管路包括第一气体输出管路和第二气体输出管路，所述第一气体输出管路的输出端与所述第二气体输出管路的输入端相连，第二气体输出管路的输出端用于给等离子体处理设备的腔室输送气体，第一气体输出管路与多个气体输入管路中的第一气体输出支路的输出端相连通，第二气体输出管路与所多个气体输入管路中的第二气体输出支路的输出端相连通，从而在多个气体输入管路中输出不同流量需求的第一气体和第二气体时，以解决小流量需求的第二气体对等离子体处理工艺过程的改善效果较为有限的问题。
气体供应系统及其输送方法等离子体处理装置

[实用新型]一种用于气体管路的常开电磁阀-CN202020727590.9有效
发明人：蔡宽平 -专利权人：西安京兆电力科技有限公司
申请日： 2020-05-07 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种用于气体管路的常开电磁阀，主要采用气体出口管路大通径设计和气体入口管路小通径设计的常开电磁阀，确保气体入口管路中气体压力(气压8KPa及以下)常开电磁阀瞬时启闭；另外在带电状态下利用气体入口管路中气体压力(气压1MPa及以下)远远大于气体出口管路中气体压力(气压8KPa及以下)，气体入口管路中气体强大压力作用实现了常开电磁阀对气体出口管路中气体可靠地隔离密封，确保了气体入口管路中气压1MPa及以下气体也无法串流气体出口管路中
一种用于气体管路常开电磁阀

[实用新型]一种气体混合装置-CN201821536932.8有效
发明人：张卫 -专利权人：上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： B01F15/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及气体混合技术领域，公开一种气体混合装置。其中气体混合装置包括柜体以及均设置于所述柜体内部的第一气体进气管路、第二气体进气管路、混合管路、混合气体排出管路以及废气排出管路，所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路的一端相连通，且所述混合管路的一端连接所述第一气体进气管路和所述第二气体进气管路连通的一端，所述混合管路的另一端分别连通于所述混合气体排出管路和所述废气排出管路；所述第一气体进气管路上设置有流量计；所述第二气体进气管路上设置有流量控制器，且所述流量控制器根据所述流量计的读数调节所述第二气体进气管路内的气体流量本实用新型能精确控制混合气体比例，操作方便，安全性能好。
气体进气管路排出管路气体混合装置混合管路流量计连通本实用新型流量控制器混合气体进气管废气安全性能柜体内部控制混合气体混合气体流量一端连接柜体

[实用新型]干熄炉循环气体检测取样管路-CN201920192807.8有效
发明人：崔世东;张民强;董良华;段志钢;韩烨;刘文良;刘兵;李红春;刘宇江;张兴聚 -专利权人：河北渤海煤焦化有限公司
申请日： 2019-02-13 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G01N1/22 文献下载
摘要：本实用新型公开的干熄炉循环气体检测取样管路，包括循环气体主管路以及通过斜支管连接在循环气体主管路左侧的两个循环气体支管路，两个循环气体支管路平行设置，两个斜支管之间呈V形布置，两个循环气体支管路之间设置有取样管路，取样管路与循环气体主管路同轴设置，取样管路的右侧连接在两个斜支管的交接处并且与循环气体主管路的内部相连通，取样管路的左侧分别通过第一出管、第二出管与两个循环气体支管路连通。本实用新型设置有便于检测气体的取样管路，该取样管路设置在两个斜支管的交接处，并且与循环气体主管路同轴设置，使得循环气体主管路中的气体可以非常顺畅的进入到取样管路中，便于激光气体分析仪检测，提高了检测精度与安全系数
循环气体取样管路主管路斜支管支管路检测本实用新型同轴设置干熄炉交接处出管激光气体分析仪安全系数平行设置连通

[发明专利]管路气体泄漏的检测方法、存储介质和计算机设备-CN202110652574.7在审
发明人：杨康;何广利;许壮;田中辉;董文平;董辉;赵月晶 -专利权人：国家能源投资集团有限责任公司;北京低碳清洁能源研究院
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G01M3/28 文献下载
摘要：本发明提供一种管路气体泄漏的检测方法、存储介质和计算机设备，包括以下步骤：在管路中的气体压力达到平衡之后，获取管路的多个部位各自在不同时刻的气体实时压力；针对管路的每个部位，根据其在不同时刻的气体实时压力确定该部位的气体压力变化率，进而得到管路的多个部位各自对应的气体压力变化率；根据管路的多个部位各自对应的气体压力变化率，按照预定策略，判断管路是否存在气体泄漏。本发明的方法无需检测人员对气体管路进行逐个部位的气体泄漏检测，减少了管路气体泄漏对检测人员的危险。实现了对气体管路的多个部位同时进行检漏，提高的气体管路检漏的效率，节省了气体管路检测人员的时间，为气体管路的检测人员带来方便。
管路气体泄漏检测方法存储介质计算机设备

[发明专利]气体管路冷却装置-CN201410229095.4在审
发明人：盛义良 -专利权人：安徽华盛科技控股股份有限公司
申请日： 2014-05-27 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： F28D7/02 文献下载
摘要：本发明提出了一种气体管路冷却装置，结构简单，设计合理，冷却效果好，易于清洗。其包括：冷却水储箱、液体吸入管、冷却水排出管、污水排出管、冷量交换盘管、第一阀门、第二阀门和气体管路；液体吸入管和污水排出管连接在冷却水储箱下部，冷却水排出管连接在冷却水储箱上部，第一阀门和第二阀门分别安装在液体吸入管和污水排出管上，气体管路安置在冷却水储箱内部并位于液体吸入管和冷却水排出管之间，气体管路上下为螺旋状结构，气体管路的入口和出口位于冷却水储箱外部，冷量交换盘管设置在冷却水储箱内部且盘绕在气体管路上。
气体管路冷却装置

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