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- [发明专利]一种晶圆提取装置-CN201410482236.3有效
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黄仁东
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上海集成电路研发中心有限公司
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2014-09-19
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2017-09-29
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H01L21/687
- 本发明公开了一种晶圆提取装置，该装置将一组按垂直于晶舟中的晶圆轴向设置且与晶圆数量、位置分别对应的杠杆安装在中空的晶舟承载平台和晶圆推进操作平台内，并通过各杠杆间独立的转动，带动与杠杆连接的推进杆使之穿过晶舟承载平台的上表面开口垂直移动，从而可将晶舟承载平台上安装的晶舟中对应的晶圆顶起，并使被顶起的晶圆与相邻晶圆之间形成高度差。这样，就无须将真空吸笔伸入到二枚相邻晶圆之间,即可实现晶圆的安全提取。因此，本发明避免了在使用真空吸笔手动从晶舟内提取晶圆时触碰到其他晶圆而造成晶圆损伤及污染的问题。
- 一种提取装置
- [发明专利]一种防磕碰晶舟单元-CN202010774572.0在审
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魏运秀
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赣州市业润自动化设备有限公司
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2020-08-04
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2020-10-30
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H01L21/673
- 本发明公开了一种防磕碰晶舟单元，包括舟体，所述舟体上成型有左右方向设置的槽道，槽道的内壁上成型有多个线性均布的凸筋，凸筋的上端面上成型有两个对称设置的卡槽，每个凸筋上的两个卡槽内套接有隔板，隔板的左侧壁和右侧壁上各成型有多个凸起；晶圆插套在相邻两个隔板的凸起之间；所述舟体的左侧壁上成型有两个连接芯轴；舟体的右侧壁上成型有两个分别与两个连接芯轴同轴心设置的连接孔，连接芯轴和连接孔过渡配合设置。本发明通过相邻两个隔板的凸起将晶圆夹持，可有效防止晶圆发生碰撞，且凸起与晶圆间通过点接触，可减少对晶圆表面的损伤；同时可以根据需要将该晶舟单元进行组合，组成不同槽数的晶舟。
- 一种磕碰单元
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