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[实用新型]一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟-CN201520336704.6有效
发明人：李建林;张春风 -专利权人：扬州晶新微电子有限公司
申请日： 2015-05-22 - 公布日： 2015-10-28 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟，属于半导体硅器件扩散工艺用工装具。包括舟体，其特征是，舟体由四个舟节串联而成，每个舟节包括四根石英棒以及石英支撑架，四根石英棒平行而置，石英棒两端分别烧结在石英支撑架上，四根石英棒在同一平面内的横截面的圆心构成一个圆弧，该圆弧与5吋硅晶圆片的外圆周线重合；所述石英棒上设有若干装载5吋硅晶圆片的置片槽，置片槽垂直于石英棒的轴线，四根石英棒之间的置片槽位置对应，四根石英棒在同一平面内的置片槽共同承载一片5吋硅晶圆片。本实用新型具有装载140片5吋硅晶圆片的能力，提高了磷预淀积工序的产能和质量。
一种用于吋硅晶圆片磷预扩散石英

[发明专利]一种多晶铸锭用选择性全熔高效坩埚-CN201610148658.6在审
发明人：张福军;汪兴华 -专利权人：常熟华融太阳能新型材料有限公司
申请日： 2016-03-16 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种特殊高效坩埚，具体方法为将多晶坩埚底部边缘处布满硅颗粒或者硅与硅相应化合物的混合物作为形核物，坩埚底部中间部分不做任何处理，此种方法的实施可阻止因边缘籽晶熔化导致边缘形核较差的问题，保证多晶铸锭用半熔工艺下底部边缘处达到同质形核的目的杂质的引入及晶锭边缘低效比率可明显下降，晶锭整锭光电转换效率提升0.05-0.10%，制作高效坩埚底部涂层的成本可下降50-80%。
一种多晶铸锭选择性高效坩埚

[发明专利]顶侧分开控制的多晶硅铸锭炉加热装置-CN201110070743.2无效
发明人：傅林坚;石刚;叶欣;高宇;曹建伟;邱敏秀 -专利权人：上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2011-03-23 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，旨在提供一种顶侧分开控制的多晶硅铸锭炉加热装置。本发明可在长晶过程中对热场内温度进行控制，根据需要优化顶侧加热功率的配比，从而可使硅的结晶凝固得到有效的控制，进而加快长晶效率，降低能耗，提高硅锭品质。本发明的设计合理、能够有效改善多晶硅晶向，降低能耗、增大晶粒、减少晶界，从而提高多晶硅锭品质。
分开控制多晶铸锭加热装置

[实用新型]顶侧分开控制的多晶硅铸锭炉加热装置-CN201120078751.7有效
发明人：傅林坚;石刚;叶欣;高宇;曹建伟;邱敏秀 -专利权人：上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2011-03-23 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，旨在提供一种顶侧分开控制的多晶硅铸锭炉加热装置。本实用新型可在长晶过程中对热场内温度进行控制，根据需要优化顶侧加热功率的配比，从而可使硅的结晶凝固得到有效的控制，进而加快长晶效率，降低能耗，提高硅锭品质。本实用新型的设计合理、能够有效改善多晶硅晶向，降低能耗、增大晶粒、减少晶界，从而提高多晶硅锭品质。
分开控制多晶铸锭加热装置

[发明专利]一种向下拉制单晶硅的装置及拉制法-CN201510528359.0在审
发明人：张洪齐 -专利权人：罗万前
申请日： 2015-08-19 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： C30B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种向下拉制单晶硅的装置及拉制法。本装置由熔硅器、加热器、结晶器和托晶器等组成；本拉制法为；连续供料的熔硅，在结晶器内连续结晶，其连续生成的晶棒在托晶器支承下向下连续引出。本装置价低，本方法制备的单晶硅质量好、耗电少、成本低，可制方形晶棒。
一种向下拉制单晶硅装置制法

[实用新型]一种分离过共晶铝硅合金的装置-CN201320402194.9有效
发明人：吕国强;薛海洋;马文会;余文轴 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2013-07-08 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种分离过共晶铝硅合金的装置，属于电磁冶金技术领域。包括熔料装置和提拉装置，熔料装置的主体为石墨坩埚，石墨坩埚的外部有活动的感应装置、底部有带有支撑机构的托盘；提拉装置的主体为倒置的石英管，倒置的石英管的顶部有引锭机构、内部有模子、外部有冷却环；石英管的外径小于石墨坩埚的内径该装置分离过共晶硅铝合金制备初晶硅和共晶硅铝合金流程短,操作过程简单且节能环保,生产成本低，分离出的初晶硅除杂效果均比普通定向凝固好，而经历此过程获得的铝硅熔体脱去了一定的氢气，可以获得性能较好的共晶铝硅合金
一种分离共晶铝硅合金装置

[发明专利]一种硅棒缺陷自动检测系统及检测方法-CN202211692706.X在审
发明人：朱亮;李宏;张遵浩;韦孟锑;曹震;董胜;景健 -专利权人：杭州中为光电技术有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01N21/952 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅棒缺陷自动检测系统及检测方法。本发明的系统包括硅棒旋转模块、外形尺寸检测模块、内部缺陷检测模块、检测机构运动模块、机架模块和控制模块，硅棒旋转模块用于旋转待检测的硅棒，辅助外形检测、内部缺陷检测装置确定硅棒四根晶线的位置；外形尺寸检测模块用于识别硅棒晶线位置、测量硅棒直径和长度；内部缺陷检测模块包括线阵相机和红外光源，能识别硅棒隐裂、位错、孪晶等内部缺陷；检测机构运动模块能够实现硅棒左右两侧的外形尺寸检测模块和内部缺陷检测模块在X轴、Y轴和Z轴三个方向上的连续同步运动本发明提出的硅棒检测系统及检测方法能够对硅棒的外形尺寸、内部缺陷进行精准检测，提高硅棒及硅片的产能和效率。
一种缺陷自动检测系统检测方法

[发明专利]一种硅晶棒抛光机-CN202310261146.0在审
发明人：郑秀玲 -专利权人：郑秀玲
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅晶棒抛光机，其结构包括底座、移动机构、控制箱、摩擦盘，控制箱嵌固在底座上端，移动机构安装于底座上端，摩擦盘嵌固在底座上端，本发明中通过手动控制移动板通过滑动板在底座上移动，从而通过手动对固定器旋转，使固定器卡合挤压在压缩板外侧，继而对固定器连接的挤压机构固定，使挤压机构中的硅晶棒进行旋转打磨，打磨时控制控制器使伸缩杆伸缩，继而阻挡机构向内部挤压活动，继而固定块通过橡胶块进行形变挤压，继而摩擦板对硅晶棒摩擦卡合，通过摩擦阻挡，对硅晶棒进行固定，同时摩擦板对硅晶产生的震动进行缓冲，避免移动打磨时出现偏差和缎纹，使硅晶棒进行固定挤压，防止容易出现震动而偏移位置。
一种硅晶棒抛光机

[发明专利]一种用于晶圆加工的双面研磨设备-CN202110225971.6有效
发明人：石小亮 -专利权人：广东宝元通检测设备有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B24B37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆加工的双面研磨设备，其结构包括底架、传动箱、联动箱、控制箱、研磨盘，底架上端焊接连接于联动箱下端，传动箱下端固定连接于底架上端，联动箱下端与研磨盘上端相连接，控制箱左端螺柱连接于联动箱右端，将设备进行通电，把硅晶棒放入研磨盘内，操控控制箱对硅晶棒进行研磨，硅晶棒在研磨的过程中，推动卡块挤压弹簧，卡块抵住固定条，弹簧进行回弹推动卡块，使硅晶棒固定在导盘上端进行研磨，通过转轴内的驱动轮带动连接杆外侧的滑球在滑圈内进行旋转，使卡板挤压压柱进行回弹产生振动，传导给磨块与磨环，防止硅粉溶解卡住凹槽，导致磨盘呈光滑面，造成硅晶棒发生滑动，使研磨尺寸发生改变。
一种用于加工双面研磨设备

[实用新型]一种晶硅圆棒拼接装置-CN201921369304.X有效
发明人：李炜;王看看 -专利权人：徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶硅圆棒拼接装置，包括底座和可滑动地设置在所述底座上的两组拼接机构；所述拼接机构包括第一气缸和第一托板，两个所述拼接机构之间设置有第二托板，所述第二托板固定连接在所述底座的中间位置处，所述第二托板用于支撑与晶硅圆棒相配合的固定套，还包括多个托块和升降机构；本实用新型设置有两组拼接机构能够将两个短的晶硅圆棒拼成长的晶硅圆棒，提高硅片的产量和效率，拼接时仅需工人将晶硅圆棒放到拼接机构上即可十分方便
一种晶硅圆棒拼接装置

[发明专利]一种过共晶铝硅合金初生硅变质剂及其制备方法-CN201210194047.7有效
发明人：田学雷;张勇;郑洪亮;许荣福;孙玉成 -专利权人：山东大学
申请日： 2012-06-13 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： C22C1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于过共晶铝硅合金初生硅细化的变质剂，其成份为硅0.1-30%，铁0.001-30%，余量为铝；以质量计。本发明还公开了一种用于过共晶铝硅合金初生硅细化的变质剂的制备方法，将工业纯铝或高纯铝于中频炉中融化，然后依次加入称量好的工业纯硅或高纯硅和工业纯铁，继续加热至完全熔解。保温并搅拌后浇注成锭或制成线材。本发明的过共晶铝硅合金初生硅变质剂含有初生硅的形核基底，大大提高初生硅的形核率，从而细化初生硅。该变质剂在合适比例加入过共晶铝硅合金中时，其对初生硅的变质效果是明显的，并且其效果要优于现在传统的AlP变质剂。
一种共晶铝硅合金初生变质及其制备方法

[实用新型]一种叠层太阳能电池和电池组件-CN202123337375.1有效
发明人：孙越;林纲正;陈刚 -专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：叠层太阳能电池包括叠层设置的钙钛矿电池和晶硅电池，晶硅电池的硅衬底由硅棒切割而成，硅衬底的形状与硅棒的截面的形状相同，硅衬底的尺寸与硅棒的截面的尺寸相同。如此，无需将硅棒的边缘切割去掉，可以提高硅棒的利用率，节约原料，降低成本。
一种太阳能电池电池组件

[发明专利]通过改善111晶棒晶向偏离角改善硅片warp的方法-CN202110447267.5有效
发明人：赵延祥;历莉;刘波;程博;王忠保 -专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供一种通过改善111晶棒晶向偏离角改善硅片warp的方法，属于单晶硅切片技术领域。方法通过保持拉制单晶硅晶棒所用的成品籽晶的111晶向的偏离度为1.5°±0.5°改善单晶硅切片warp值及warp分布。在掏籽晶过程中，使得所制备的成品籽晶的111晶向具有一个1.5°±0.5°的偏离角，用该成品籽晶拉制的单晶硅晶棒在切片过程中，能够保持晶棒的旋转角的变化范围在±5°之间，摆角在1.5°附近，从而保证了多线切割过程中
通过改善 111 晶棒晶偏离硅片 warp 方法

[发明专利]一种提纯棒的拉制方法-CN202310098147.8在审
发明人：赵巍;陈铭;宋丽平;龙小娇;龙昭钦 -专利权人：四川晶科能源有限公司
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明属于单晶硅制备技术领域，涉及一种提纯棒的拉制方法。拉制方法包括将硅料混合物填装到单晶炉内；将所述硅料混合物加热融化为硅熔体；对所述硅熔体进行引晶、放肩、转肩、等径生长，之后收尾提断并冷却，取出晶棒的步骤；拉制方法所采用的的原料均为异常硅料混合物，其组分包括焖炉料、细粉等，通过对硅料混合物进行熔融、引晶、放肩、转肩、等径生长等步骤的处理，去除硅料中的杂质并形成了提纯棒；所制备的提纯棒经破碎后可以在拉制单晶硅棒时投炉使用，实现了异常硅料的再利用，大幅度的节约了硅料成本
一种提纯拉制方法

[实用新型]一种浮动支撑装置及包含该装置的晶硅截断机-CN201821156268.4有效
发明人：付涛;段景波;解培玉 -专利权人：青岛高测科技股份有限公司
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种浮动支撑装置及包含该装置的晶硅截断机，浮动支撑装置包括支撑座、浮动支撑单元和刚性支撑，所述浮动支撑单元包括导向轴、顶头和弹簧，本实用新型借助浮动支撑单元自适应晶硅棒的不同直径变化，在浮动支撑单元和刚性支撑的共同作用下，对晶硅棒进行定位并进行可靠装夹，避免晶硅棒在切割过程中出现位移或下坠，减少崩边，提高切割效率和切割质量。
浮动支撑浮动支撑装置晶硅棒本实用新型刚性支撑截断机晶硅切割过程切割效率直径变化导向轴支撑座自适应下坠崩边弹簧顶头装夹切割