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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种晶圆盒FOUP自动锁定与解锁装置-CN201922440111.5有效
发明人：马丽梅;张朝增 -专利权人：北京东方兴航机电科技有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型属于锁定装置技术领域，尤其涉及一种晶圆盒FOUP自动锁定与解锁装置，包括平台、三个定位件、锁紧件、气缸固定件、气缸、锁紧运动组件；晶圆盒FOUP设置平台上，平台上固定有定位件，定位件与晶圆盒FOUP底部的三个定位孔对应，使晶圆盒FOUP通过定位件设置平台上；气缸通过气缸固定件固定在平台下方；通过气缸驱动锁紧运动组件，锁紧运动组件的组件气缸连接件向后运动，滚针在旋转连杆矩形长槽内移动，带动旋转连杆与锁紧件进行顺时针旋转，实现FOUP解锁；组件气缸连接件向前运动，滚针在旋转连杆矩形长槽内移动，带动旋转连杆与锁紧件进行逆时针旋转，实现FOUP锁定。
一种晶圆盒 foup 自动锁定解锁装置

[实用新型]一种晶圆清洗系统-CN202222549935.8有效
发明人：宋林杰 -专利权人：湖北三维半导体集成创新中心有限责任公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种晶圆清洗系统，包括：固定旋转组件，用于固定晶圆并带动晶圆围绕晶圆的圆心进行旋转；设置在固定旋转组件的下方的第一喷液组件，用于向晶圆喷洒清洗液；设置在固定旋转组件的下方的滚刷，围绕滚刷的轴线进行旋转以清洗晶圆表面；设置在滚刷的下方的清洗槽，用于盛装清洗液，并对旋转中的滚刷上背离固定旋转组件且浸没在清洗液中的部分进行清洗。通过在固定旋转组件的下方设置第一喷液组件和滚刷，利用第一喷液组件和滚刷清洗晶圆的同时，也利用清洗槽内的清洗液清洗滚刷，如此，在滚刷清洗晶圆的过程中滚刷也能够进行自清洗过程，避免滚刷的表面附着的颗粒物重新粘附到晶圆表面，造成二次污染，从而提高晶圆的清洗效率。
一种清洗系统

[发明专利]一种晶圆刷洗压力的控制方法、装置、设备及存储介质-CN202210424383.X在审
发明人：杨旭;周庆亚;田洪涛;贾若雨;杨元元 -专利权人：北京烁科精微电子装备有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G05D15/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆刷洗压力的控制方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：收集若干组滚刷移位器的移位参数及对应的晶圆压力；根据收集到的移位参数及对应的晶圆压力计算移位参数和晶圆压力的函数关系；在加工晶圆时，根据设定的晶圆压力，利用函数关系计算滚刷移位器的目标移位参数；控制滚刷移位器移动到目标移位参数处。本发明能够按工艺需求设定任意晶圆压力并使滚刷移位器移动，此外，通过晶圆加工数量和偏移量的关系，实时进行压力补偿，避免滚刷不断损耗导致误差变大，提高了刷洗设备的稳定性。
一种刷洗压力控制方法装置设备存储介质

[实用新型]一种晶圆运输装置-CN202222854089.0有效
发明人：贾亚飞;郭静;季春瑞;许桂洋;刘佳均;张浩 -专利权人：安徽新芯威半导体有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆运输装置，属于晶圆运输技术领域。主要包括一侧开口的储存箱，储存箱开口处设置有用于阻挡晶圆架从储存箱内移出的阻挡组件；储存箱远离开口处一侧的内壁两侧均设置有滚套轴，滚套轴分别靠近一侧的支撑槽，滚套轴两端均固定有铰接杆，铰接杆一端与储存箱内壁铰接晶圆架放入储存箱时，会挤压并撑开两个滚套轴，弹性件通过自身弹性将两个铰接杆收拢，从而带动滚套轴有将晶圆架推出储存箱的趋势，而晶圆架的另一侧会被阻挡组件挡住，从而达到了滚套轴和阻挡组件配合，将晶圆架夹持固定的效果本申请的一种晶圆运输装置达到增加晶圆固定强度的效果。
一种运输装置

[发明专利]晶圆清洗装置、化学机械研磨机台及清洗方法-CN202210063875.0在审
发明人：宋锴星;黄耀东;陈锟;齐宝玉;陈智;孙延松;李朝勇 -专利权人：格科半导体（上海）有限公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆清洗装置、化学机械研磨机台及清洗方法。该晶圆清洗装置包括：滚刷，其包括本体和设置于所述本体表面的第一凸起和第二凸起；滚刷驱动装置；所述滚刷驱动装置用于驱动所述滚刷绕着所述滚刷的中心轴线旋转。其中，所述第一凸起为圆柱形凸起；所述第二凸起为针状凸起；晶圆可置于两个滚刷之间，且晶圆表面与所述圆柱凸起和所述针状凸起相接触。本发明实施例中在圆柱凸起的间隙处设置多个针状凸起结构，增加了滚刷整体与晶圆表面的接触面积，提高了化学清洗液的利用率。同时，针状凸起的尖端可以有效地擦除晶圆表面细微颗粒，从而达到更优异的除污效果。
清洗装置化学机械研磨机台方法

[发明专利]晶圆清洗装置和晶圆加工设备-CN202211692068.1在审
发明人：曹自立;姚福聪;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆清洗装置和晶圆加工设备，包括：滚刷，分别配置于晶圆的两侧刷洗晶圆的表面；驱动机构，驱动所述滚刷；旋转机构，用于旋转晶圆；所述滚刷包括同轴套装的刷体、第一芯筒、第二芯筒；所述刷体紧贴其内间隔地嵌套有第二芯筒的第一芯筒的外表面；所述第一芯筒散布有多个通水孔，所述第二芯筒散布有多个节水孔，使得注入滚刷的液体轴向均匀地输送至刷体。本发明提供的晶圆清洗装置改善了传统滚刷出液不均匀的问题，通过在第一芯筒内套装第二芯筒，清洗液经过两级匀流，实现了滚刷轴向均匀出液，保证刷体的轴向各处均处于湿润状态，进而缩短了晶圆加工设备在清洗环节的清洗时间
清洗装置加工设备

[实用新型]晶圆清洗装置和晶圆加工设备-CN202223508085.3有效
发明人：曹自立;姚福聪;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆清洗装置和晶圆加工设备，包括：滚刷，分别配置于晶圆的两侧刷洗晶圆的表面；驱动机构，驱动所述滚刷；旋转机构，用于旋转晶圆；所述滚刷包括同轴套装的刷体、第一芯筒、第二芯筒；所述刷体紧贴其内间隔地嵌套有第二芯筒的第一芯筒的外表面；所述第一芯筒散布有多个通水孔，所述第二芯筒散布有多个节水孔，使得注入滚刷的液体轴向均匀地输送至刷体。本实用新型提供的晶圆清洗装置改善了传统滚刷出液不均匀的问题，通过在第一芯筒内套装第二芯筒，清洗液经过两级匀流，实现了滚刷轴向均匀出液，保证刷体的轴向各处均处于湿润状态，进而缩短了晶圆加工设备在清洗环节的清洗时间
清洗装置加工设备

[发明专利]清洗晶圆的滚刷单元同心卡接结构-CN201710367176.4在审
发明人：陶利权;柳滨;史霄;熊朋;周庆亚;佀海燕 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2017-05-23 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种清洗晶圆的滚刷单元同心卡接结构，弹性伸缩卡接结构设置在驱动单元上实现快速卡接及更换。此设计减小了驱动轴和惰轴的不同轴度制造公差。滚刷转轴与驱动轴或惰轴采用了既以锥形孔和锥形轴柔性同心定位连接，又以方形孔和方形轴的刚性啮合传力连接的结构形式，减弱了滚刷转轴与驱动轴和惰轴的硬性连接程度，衰减了滚刷转轴的旋转跳动，消除了滚刷跳动对晶圆产生的冲击本发明清洗晶圆的滚刷单元同心卡接结构用在晶圆化学机械抛光（CMP）后的清洗系统，杜绝了滚刷对晶圆的冲击损坏，提高了晶圆产品质量，减少了密封圈更换频率，减少了清洗设备的维修周期。
清洗单元同心结构

[发明专利]往复移动滚剪的非晶合金带材横剪加工装置和方法-CN202011364883.6有效
发明人：阎秋生;郭晓辉;路家斌;潘继生 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B23D19/04 文献下载
摘要：本发明公开了往复移动滚剪的往复移动滚剪的非晶合金带材横剪加工装置及方法和方法。往复移动滚剪的非晶合金带材横剪加工装置，包括安装在机座上并依次传动配合的非晶合金带材卷料、带料托板、送料滚筒、多孔陶瓷滑动吸附盘，吸附收片机构和升降式收料仓；送料滚筒与多孔陶瓷滑动吸附盘之间设有横切装置，横切装置包括上滚剪刀片盒下滚剪刀片。本发明采用滚剪方式以圆刀滚剪代替直刀横剪，进行超薄带材的横剪成型加工，得到更佳带材剪切加工质量，大幅提高剪切刀具寿命。
往复移动合金带材横剪加工装置方法

[实用新型]一种清洗刷对中装置和晶圆清洗装置-CN202023002429.4有效
发明人：王剑 -专利权人：华海清科（北京）科技有限公司
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种清洗刷对中装置和晶圆清洗装置，所述清洗刷对中装置包括滚刷工装、晶圆工装和卡紧机构；所述晶圆工装设置在晶圆清洗装置的壳体中，其由壳体中的支撑滚轮定位；所述滚刷工装设置于所述晶圆工装的两侧，其能够沿水平方向移动以靠近及远离所述晶圆工装；所述卡紧机构设置于所述壳体的顶部并位于晶圆工装的上侧，其通过抵接所述晶圆工装的外缘以保持晶圆工装的位置。
一种洗刷装置清洗

[发明专利]一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置-CN202310378343.0在审
发明人：路新春;睢英照;请求不公布姓名 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置，包括：箱体，其内部用于容纳晶圆并提供晶圆清洗的空间；清洗组件，包括位于晶圆两侧的两个水平设置的滚刷，滚刷具有驱动端和进液端；滚刷在位于其驱动端的驱动件的带动下沿其轴向旋转，对晶圆表面进行滚动擦洗；进液端的端部与进液端盖对接，进液端的外周配置有轴承组件，轴承组件的底部配置有引流装置；清洗液由进液端盖通入进液端，至少部分清洗液流入滚刷，其余清洗液穿过轴承组件后由引流装置排出本发明在滚刷的进液端配置引流装置，使得流体流过轴承组件后由底部的引流装置流出，在对轴承组件实现水润滑的同时防止清洗液流进箱体，降低晶圆污染的风险。
一种实现轴承润滑清洗装置

[实用新型]一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置-CN202320774010.5有效
发明人：路新春;睢英照;请求不公布姓名 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置，包括：箱体，其内部用于容纳晶圆并提供晶圆清洗的空间；清洗组件，包括位于晶圆两侧的两个水平设置的滚刷，滚刷具有驱动端和进液端；滚刷在位于其驱动端的驱动件的带动下沿其轴向旋转，对晶圆表面进行滚动擦洗；进液端的端部与进液端盖对接，进液端的外周配置有轴承组件，轴承组件的底部配置有引流装置；清洗液由进液端盖通入进液端，至少部分清洗液流入滚刷，其余清洗液穿过轴承组件后由引流装置排出本实用新型在滚刷的进液端配置引流装置，使得流体流过轴承组件后由底部的引流装置流出，在对轴承组件实现水润滑的同时防止清洗液流进箱体，降低晶圆污染的风险。
一种实现轴承润滑清洗装置

[发明专利]一种晶圆转移系统以及方法-CN202111090673.7在审
发明人：吴功;倪萌;郑英杰;国建花;李国勇 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆转移系统，包括：晶圆盒取放单元，晶圆盒取放单元包括装载台一，装载台一用于接收并承载晶圆盒；开盒单元，开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，晶圆盒开关器用于承载和开闭晶圆盒，夹持机构用于夹持并提升位于晶圆盒开关器上的晶圆盒；晶圆盒转移机械手，晶圆盒转移机械手用于在晶圆盒取放单元和开盒单元之间转移晶圆盒。本发明通过晶圆盒取放单元、开盒单元和晶圆盒转移机械手的配合，实现对晶圆盒快速开闭作业，确保晶圆盒转移机械手的高效作业，同时也提供了多个晶圆盒缓冲暂存工位，从而避免晶圆盒载入或载出堵塞，提高了系统运行效率
一种转移系统以及方法

[实用新型]一种晶圆转移系统-CN202122256258.6有效
发明人：吴功;倪萌;郑英杰;国建花;李国勇 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆转移系统，包括：晶圆盒取放单元，晶圆盒取放单元包括装载台一，装载台一用于接收并承载晶圆盒；开盒单元，开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，晶圆盒开关器用于承载和开闭晶圆盒，夹持机构用于夹持并提升位于晶圆盒开关器上的晶圆盒；晶圆盒转移机械手，晶圆盒转移机械手用于在晶圆盒取放单元和开盒单元之间转移晶圆盒。本实用新型通过晶圆盒取放单元、开盒单元和晶圆盒转移机械手的配合，实现对晶圆盒快速开闭作业，确保晶圆盒转移机械手的高效作业，同时也提供了多个晶圆盒缓冲暂存工位，从而避免晶圆盒载入或载出堵塞，提高了系统运行效率
一种转移系统

[发明专利]半导体晶圆盒仓储运输结构系统-CN202110178441.0在审
发明人：邓羽辰 -专利权人：艾迪森科技有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体晶圆盒仓储运输结构系统。主要系由晶圆盒升降运输结构体、晶圆盒储架结构体、手臂结构体、手臂抓取晶圆盒结构体及晶圆盒仓储结构体组成，其中晶圆盒储架结构体系悬挂天花板上，利用晶圆盒升降运输结构体将晶圆盒作为升降至入、出料口，并以手臂结构体抓取晶圆盒利用轨道输送至晶圆盒仓储结构体作为精准晶圆盒的取放，由于晶圆盒储放至悬吊在天花板上的晶圆盒仓储结构体，使本发明系统具有节省空间、晶圆盒方便取放的特性。
半导体晶圆盒仓储运输结构系统

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