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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于晶圆清洗的滚刷组件-CN202223508063.7有效
  • 曹自立;姚福聪;李长坤 - 华海清科股份有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-06-23 - B08B1/04
  • 本实用新型提供了一种用于晶圆清洗的滚刷组件，包括：辊筒，其表面具有多个均匀分布的出液孔；第一固定件，其配置于所述辊筒的一端并且具有连通所述辊筒的进液口；第二固定件，其配置于所述辊筒的另一端，用于在外部驱动装置的作用下致所述辊筒转动；海绵，其包覆所述辊筒的外表面并形成一体；所述辊筒内还配置有内芯，其表面具有芯孔，使得清洗液经由所述进液口流入所述内芯后，经由所述芯孔匀流后由所述出液孔排出到达所述海绵；所述芯孔沿所述内芯的圆周面上的螺旋线等距分布。本实用新型通过增设内芯可以有效调节清洗液在辊筒内的流速分布，使得清洗液可以沿辊筒轴向均匀排出。
  • 一种用于清洗组件
  • [实用新型]晶圆清洗装置和晶圆加工设备-CN202223508085.3有效
  • 曹自立;姚福聪;李长坤 - 华海清科股份有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-06-23 - B08B1/00
  • 本实用新型提供了一种晶圆清洗装置和晶圆加工设备，包括：滚刷，分别配置于晶圆的两侧刷洗晶圆的表面；驱动机构，驱动所述滚刷；旋转机构，用于旋转晶圆；所述滚刷包括同轴套装的刷体、第一芯筒、第二芯筒；所述刷体紧贴其内间隔地嵌套有第二芯筒的第一芯筒的外表面；所述第一芯筒散布有多个通水孔，所述第二芯筒散布有多个节水孔，使得注入滚刷的液体轴向均匀地输送至刷体。本实用新型提供的晶圆清洗装置改善了传统滚刷出液不均匀的问题，通过在第一芯筒内套装第二芯筒，清洗液经过两级匀流，实现了滚刷轴向均匀出液，保证刷体的轴向各处均处于湿润状态，进而缩短了晶圆加工设备在清洗环节的清洗时间，提高了清洗效率。
  • 清洗装置加工设备
  • [发明专利]一种用于晶圆清洗的滚刷组件-CN202211692065.8在审
  • 曹自立;姚福聪;李长坤 - 华海清科股份有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-05-23 - B08B1/04
  • 本发明提供了一种用于晶圆清洗的滚刷组件，包括：辊筒，其表面具有多个均匀分布的出液孔；第一固定件，其配置于所述辊筒的一端并且具有连通所述辊筒的进液口；第二固定件，其配置于所述辊筒的另一端，用于在外部驱动装置的作用下致所述辊筒转动；海绵，其包覆所述辊筒的外表面并形成一体；所述辊筒内还配置有内芯，其表面具有芯孔，使得清洗液经由所述进液口流入所述内芯后，经由所述芯孔匀流后由所述出液孔排出到达所述海绵；所述芯孔沿所述内芯的圆周面上的螺旋线等距分布。本发明通过增设内芯可以有效调节清洗液在辊筒内的流速分布，使得清洗液可以沿辊筒轴向均匀排出。
  • 一种用于清洗组件
  • [发明专利]晶圆清洗装置和晶圆加工设备-CN202211692068.1在审
  • 曹自立;姚福聪;李长坤 - 华海清科股份有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-05-12 - B08B1/00
  • 本发明提供了一种晶圆清洗装置和晶圆加工设备，包括：滚刷，分别配置于晶圆的两侧刷洗晶圆的表面；驱动机构，驱动所述滚刷；旋转机构，用于旋转晶圆；所述滚刷包括同轴套装的刷体、第一芯筒、第二芯筒；所述刷体紧贴其内间隔地嵌套有第二芯筒的第一芯筒的外表面；所述第一芯筒散布有多个通水孔，所述第二芯筒散布有多个节水孔，使得注入滚刷的液体轴向均匀地输送至刷体。本发明提供的晶圆清洗装置改善了传统滚刷出液不均匀的问题，通过在第一芯筒内套装第二芯筒，清洗液经过两级匀流，实现了滚刷轴向均匀出液，保证刷体的轴向各处均处于湿润状态，进而缩短了晶圆加工设备在清洗环节的清洗时间，提高了清洗效率。
  • 清洗装置加工设备
  •  1 
  • 共 5 条
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