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[发明专利]一种粘棒晶棒自转角优化方法-CN202310287927.7在审
发明人：周虹 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供一种粘棒晶棒自转角优化方法，包括：将晶棒置于夹具中，夹具的底部与晶棒的第一端面接触设置，夹具的顶部端面与晶棒的第二端面之间平行设置；测量并调整位于夹具中的晶棒的晶面晶向角度，以找到晶棒的目标晶向，晶棒的晶向包括水平晶向和垂直晶向，水平晶向和垂直晶向取值均落在目标晶向区间内，调整后的晶棒的第二端面与夹具的顶部端面之间具有夹角；对第二端面进行磨面，以使得磨面后的第二端面的晶向取值为目标晶向值，夹具的顶部端面与磨面后的第二端面之间平行设置，在粘棒前的磨面可以实现磨面后的晶棒来料晶向处于非解理区间，实现了粘棒转角从随机分布变成非解理区间分布，从而降低了硅片碎片率。
一种粘棒晶棒转角优化方法

[实用新型]偏晶向晶棒粘接装置-CN201220747487.6有效
发明人：于新现 -专利权人：西安神光安瑞光电科技有限公司;西安神光皓瑞光电科技有限公司
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C30B33/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种偏晶向晶棒粘接装置，所述偏晶向晶棒粘接装置包括：平台；设置于所述平台上的粘接台；设置于所述平台上的导向台；多个固定所述晶棒的固定夹，多个所述固定夹均能够沿着导向台运动；及检测晶棒偏置的二维倾角仪；当进行晶棒粘接时，所述二维倾角仪置于待粘接的晶棒一端。在此，利用二维倾角仪对晶棒进行偏置、利用多个固定夹固定多根晶棒，其中，每个固定夹固定一根晶棒；每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止；粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒，由此，可方便地实现对晶棒进行一定的偏置后粘接，得到偏晶向晶棒，即简化了晶棒粘接工艺，提高了晶棒粘接效率，从而降低了生产成本。
晶棒粘接装置

[发明专利]一种晶棒槽晶向测量仪和测量方法-CN202210186628.X在审
发明人：甄茹葶;甄伟 -专利权人：丹东奇伟企业管理咨询有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G01N23/207 文献下载
摘要：本发明提供一种晶体槽晶向测量仪和测量方法，其中晶棒槽晶向测量仪器包含载物机构、晶向测量机构、测角仪、槽深测量机构，所述载物机构能够承载晶棒并带动晶棒旋转，所述测角仪能够测量晶棒旋转角度，所述槽深测量机构能够测量所述晶棒的槽深，所述晶向测量机构能够测量所述晶棒上指定点晶向。该晶体槽晶向测量仪能够自动化测量槽任意底部端点的晶向，测量效率和测量精度高。
一种晶棒槽晶测量仪测量方法

[发明专利]一种单晶硅棒晶向检测装置及其晶向检测方法-CN201410106247.1有效
发明人：朱亮;傅林坚;叶欣;石刚;沈文杰;陈明杰;孙明;周建灿;杨奎 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2014-03-20 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： G01N21/00 文献下载
摘要：本发明涉及晶体生长炉领域，旨在提供一种单晶硅棒晶向检测装置及其晶向检测方法。该单晶硅棒晶向检测装置用于检测装夹在切方工作台上的圆形单晶硅棒的晶向，包括支架、支撑臂、晶向检测传感器支架、气缸、固定护罩、升降护罩、晶向检测传感器；该单晶硅棒晶向检测装置的晶向检测方法包括步骤：操作气缸、开启气源、启动晶向检测传感器并计算圆形单晶硅棒表面到激光发出点的距离最小值，该距离最小值即为晶棒的晶向。本发明能自动检测装夹于工作台上的晶棒的晶向，采用非接触式测量方法，检测精度高、响应快、耗时短、可自动控制；结构简单，陈本低，不需人工参与，适用于单晶硅棒流水线加工车间的全自动控制。
一种单晶硅检测装置及其方法

[实用新型]晶棒晶向测量的导向支座及定向仪-CN202122483213.2有效
发明人：万建军;宋亚滨;翟虎;陆继波;赵亨山 -专利权人：甘肃旭晶新材料有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G01N23/20025 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶棒晶向测量仪器，公开了一种晶棒晶向测量的导向支座及定向仪，该晶棒晶向测量的导向支座包括导向支架，所述导向支架上设置有用于放置晶棒的安装槽，所述安装槽上附着有限制所述晶棒移动的限位层。本实用新型的晶棒晶向测量的导向支座有效限制晶棒在晶向测量过程中的滑动，可提高检测结果的准确性，省时省力，能够有效提高检测效率。
晶棒晶测量导向支座定向

[发明专利]界面错配度计算方法及装置-CN202010724765.5在审
发明人：张志波;温丽涛 -专利权人：广东省材料与加工研究所
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供一种界面错配度计算方法及装置，该方法包括：建立两相晶体结构模型；根据两相晶体结构模型选取两相晶面；根据两相晶面选取两相晶向；根据两相晶向获取两相对应晶向原子间距和两相对应晶向原子夹角；根据两相对应晶向原子间距和两相对应晶向原子夹角本发明通过选取两相晶体的晶面和晶向，获取对应晶向原子间距和对应晶向原子夹角，计算界面错配度，从而判断界面关系。
界面错配度计算方法装置

[发明专利]界面错配度计算方法及装置-CN202010728258.9在审
发明人：张志波;温丽涛 -专利权人：广东省材料与加工研究所
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供一种界面错配度计算方法及装置，该方法包括：建立两相晶体结构模型；根据两相晶体结构模型选取两相晶面；根据两相晶面选取两相晶向；根据两相晶向获取两相对应晶向原子间距和两相对应晶向原子夹角；根据两相对应晶向原子间距和两相对应晶向原子夹角本发明通过选取两相晶体的晶面和晶向，获取对应晶向原子间距和对应晶向原子夹角，计算界面错配度，从而判断界面关系。
界面错配度计算方法装置

[发明专利]一种用于晶棒切割的晶棒自动定位系统及方法-CN202211664748.2在审
发明人：康森;鲁雅荣;石天虎;邵峰;万骞;马树锋;袁玮;韩斌 -专利权人：天通控股股份有限公司;天通银厦新材料有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及晶棒切割技术领域，尤其是一种用于晶棒切割的晶棒自动定位系统及方法，该系统包括自动旋转定位装置、晶向自动检测装置和自动晶向校准装置；所述自动旋转定位装置包括自上而下依次相连的自动旋转基准块固定架、基准块、树脂片和待切晶块；连杆、电流表、角度调节器、固定架、接收器和X射线发射管共同组成晶向自动检测装置；校准装置、电机和连接装置组成自动晶向校准装置。该系统实现了线切多边形形状晶块及晶向自检校准功能；不仅减少了重复粘胶定向过程，还能对待切晶块的晶向进行检测并校准，降低了晶向报废率，提高了生产效率。
一种用于切割自动定位系统方法

[发明专利]一种蓝宝石晶棒切割前晶向测量装置及其测量方法-CN202210674439.7在审
发明人：左洪波;杨鑫宏;于凌志;孟繁志;丁广博;王元博 -专利权人：哈尔滨秋冠光电科技有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种蓝宝石晶棒切割前晶向测量装置。它包括机台线网切角角度确认装置和晶棒端面偏分测量装置两个部分。本发明可以通过对切割前晶棒与线网之间的角度判定和晶棒自身晶向测量，预估下料晶片晶向，同时可以在机台上按照计算值调整晶棒与线网待切割角度，从而实现下料晶片更高的晶向集中性。实现完成切割后下料的晶片在测试c向偏m向晶向测量数值的稳定和均一，提高产品竞争力，需要一种能够使晶向粘接操作细节更完善，能够将切割下料晶片晶向控制在更小的波动范围内。
一种蓝宝石切割测量装置及其测量方法

[发明专利]线切割机的晶向偏差检测方法、粘棒方法和存储介质-CN202010484467.3有效
发明人：陈建铭;卢健平 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种线切割机的晶向偏差检测方法、粘棒方法和存储介质，其中，线切割机的晶向偏差检测方法包括以下步骤：获取线切割机在最新N次切割后的硅片的晶向偏差检测数据，其中，N为大于等于2的整数；根据N次硅片的晶向偏差检测数据计算得到线切割机的晶向偏差量该线切割机的晶向偏差检测方法，通过选择同一线切割机的多笔数据，并舍弃边缘分布区间的硅片的晶向偏差检测数据，保留中间的晶向偏差检测数据，进行计算得到该线切割机的晶向偏差量，由此能够得到更准确的线切割机的晶向偏差量
切割机偏差检测方法存储介质

[实用新型]一种晶棒定向粘棒装置-CN202221297105.4有效
发明人：徐永亮;钱超;姜恒;周波 -专利权人：苏州恒嘉晶体材料有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本申请涉及定向粘棒技术领域，具体而言，涉及一种晶棒定向粘棒装置，一定程度上可以解决晶棒水平位晶向角度和垂直位晶向角度的调节需要在两个不同部件上完成，并且需要加工树脂板补偿垂直位晶向角度的问题。晶棒定向粘棒装置包括晶棒、树脂板、晶托、角度测量机构、显示机构、测量平台；晶棒与树脂板连接；树脂板与晶托连接；晶托与测量平台连接；角度测量机构设置在晶棒的一端，角度测量机构用于测量晶棒的晶向角度，显示机构与角度测量机构连接，显示机构用于显示晶棒的晶向角度。
一种定向装置

[发明专利]自动晶元转换机-CN201210451420.2有效
发明人：卢冬青 -专利权人：上海功源电子科技有限公司
申请日： 2012-11-13 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶元转换机，包括：X/Y平台（X向气缸，Y向气缸，锁定气缸及推手气缸）：X向气缸能带动晶元盒X向移动；Y向气缸能带动晶元盒Y向移动；锁定气缸在晶元盒安放后将晶元盒锁紧固定和推手气缸安装在Y向动作板上。还包括：翻转组件（翻转机构、晶舟锁定机构及导片手机构）；翻转机构是一电机使翻转面进行翻转；晶舟锁定机构在晶舟安放后将晶舟固定；导片手机构是导向晶元片相对应的晶舟位置内，安装在翻转面下方。以上所述的X向气缸、Y向气缸、锁定气缸、翻转机构、晶舟锁定机构和导片手机构等分别与一PLC相连。本发明的有益效果是：使用便捷的PLC控制技术，完全避免人工接触晶元片，以满足安全保护要求。
自动转换

[发明专利]一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法-CN202111675322.2在审
发明人：邓信甫;陈新来;唐宝国;刘大威;毛明军 -专利权人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司;合肥至汇半导体应用技术有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法，包括以下步骤：步骤一、将晶圆放置于晶圆清洗槽内；步骤二、向晶圆清洗槽内吹送氮气，氮气吹送完成后，向晶圆清洗槽内输送超纯水润湿晶圆；步骤三、将超纯水排出，向晶圆清洗槽内吹送异丙醇，向晶圆清洗槽内输送超纯水润湿晶圆；步骤四、再次向晶圆清洗槽内吹送异丙醇，晶圆在摆动机构的带动下做简谐运动；步骤五、晶圆向晶圆清洗槽内吹加热后的异丙醇与氮气混合物，超纯水排出；步骤六、晶圆做简谐运动的状态下持续向晶圆清洗槽内吹送异丙醇与氮气混合物，直至晶圆表面干燥。
一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法

[发明专利]一种以不同晶向硅单晶制作籽晶的方法-CN202310162438.9在审
发明人：潘金平;肖世豪;沈益军;饶伟星;张立安;程富荣;冯小娟;赵亮;苏文霞;肖银平 -专利权人：海纳半导体（山西）有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及籽晶加工技术领域，具体为一种以不同晶向硅单晶制作籽晶的方法，包括如下步骤：S1、将111硅单晶棒切割取段，外表面进行外圆磨削加工成圆柱形结构的111晶向硅单晶锭；S2、对111晶向硅单晶锭的侧面进行X射线定向，确定110晶向位置，并在硅单晶锭的端面划线作为标记；S3、使110晶向朝上，将111晶向硅单晶锭水平放置在专用架子上，专用架子包括框架、托架、螺栓和调节螺母，将专用架子放到一个专用的水平平台上该以不同晶向硅单晶制作籽晶的方法中，可以使用111晶向硅单晶棒作为原料进行籽晶加工；利用X射线定向仪便于寻找111晶向硅单晶锭的110晶向位置，并利用专用架子精确地加工出110晶面，再利用可调平板校准110晶向偏离度，通过特定的籽晶加工工艺，得到指定晶向且偏差小的高强度籽晶。
一种不同硅单晶制作籽晶方法

[发明专利]一种调整晶棒正晶向滚磨加工的装置和方法-CN202210546117.4在审
发明人：董长海;沙彦文;苏波;周小渊;温洋;麦长彪;马占东;王思远 -专利权人：宁夏中晶半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B24B5/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种调整晶棒正晶向滚磨加工的装置和方法，包括机体和工作台，所述工作台顶部的左侧通过螺栓安装有安装座，所述安装座的顶部通过螺栓分别固定安装有减速器和轴承座，所述减速器的左侧通过螺栓固定连接有第一电机本发明具备调整晶向的优点，解决了目前的晶棒在进行正晶向滚磨加工前，不便于对晶棒的晶向偏离度进行调整，容易导致加工完毕的晶棒出现晶向超标的情况，晶向超标后无法调整晶棒的晶向，容易导致产品报废，在进行后续切片时需要再次调整晶向，会造成晶棒的切片成品率低、椭圆形和翘曲度大等问题。
一种调整晶棒正晶加工装置方法

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