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[实用新型]显影液循环系统-CN201920792277.0有效
发明人：倪勤晓 -专利权人：杭州科迈印务有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了显影液循环系统，包括回流口和罐体，所述回流口的内部设置有不锈钢弹簧片，且不锈钢弹簧片的下方安装有滤孔，所述回流口的一侧安装有回流管，且回流管的一侧安装有循环泵，所述循环泵的上方安装有连接管，所述罐体的内部设置有导液口，且罐体位于回流口的上方，所述导液口的另一侧安装有调节齿轮，且调节齿轮的上方安装有微型电机，所述导液口的内部设置有第一隔板，且第一隔板的上方安装有第二隔板。该显影液循环系统设置有循环泵，通过增大显影液与滤板之间的接触面积，使得滤板能够对显影液进行高效过滤，从而使得显影液能够循环利用，减少显影液的损耗和浪费，且使得显影液能够得到充分的利用。
显影液循环系统

[发明专利]显影装置、显影方法及显影液循环方法-CN200480002989.4有效
发明人：谷胁和磨;池田武司;宿南友幸;松本泰明;多田昌广;古谷直树;楠进也;松苗贵久;天满屋裕;三桥则登;茅根博之 -专利权人：凸版印刷株式会社
申请日： 2004-10-27 - 公布日： 2006-03-08 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：一种显影装置，具备显影液循环系统、超滤过滤器和滤液/浓缩液循环系统，(1)所述显影液循环系统包括：进行显影处理的显影槽、收容显影液的显影液循环池、将上述显影液循环池内的显影液输送到上述显影槽内的机构、使上述显影槽内进行显影处理所使用过的显影液返回上述显影液循环池内的机构；(2)所述超滤过滤器将上述显影液分离成滤液和浓缩液；(3)所述滤液/浓缩液循环系统包括：收容从上述显影液循环池中取出一部分的显影液的超滤浓缩液池、将上述超滤浓缩液池内的显影液输送到上述超滤过滤器的机构、使在上述超滤过滤器中被分离的浓缩液返回上述超滤浓缩液池内的机构、以及使在上述超滤过滤器中被分离的滤液返回上述显影液循环系统的机构。
显影装置方法显影液循环

[发明专利]废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质-CN202210518520.6在审
发明人：连杰 -专利权人：柏川新材料科技（宁波）有限公司
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C02F1/469 文献下载
摘要：本发明涉及废显影液技术领域，具体而言，涉及一种废显影液再生装置、再生方法以及可读存储介质本发明解决的问题：废显影液回收后无法循环利用的问题。为解决上述问题，本发明实施例提供一种废显影液再生装置的再生方法，再生方法包括：收集系统输出废显影液至第一分离系统；第一分离系统接收废显影液，并对废显影液进行分离，得到第一分离产物；将第一分离产物通入辅助循环系统；辅助循环系统将第一分离产物输送至收集系统。
显影液再生装置方法以及可读存储介质

[发明专利]一种显影液恒温保持管路系统-CN201410334927.9有效
发明人：王丽鹤 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2014-07-15 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明属于半导体匀胶显影领域，具体地说是一种显影液恒温保持管路系统，保温水循环系统的出口通过进水管进入显影单元、连接至集液块，与显影液源相连的显影液管进入显影单元，依次连接集液块、水液分离式药液阀及分液块，集液块与水液分离式药液阀之间的显影液管以及分液块与水液分离式药液阀之间的显影液管外均设有保温水套管，保温水套管与显影液管之间流通有由保温水循环系统提供的保温水；经分液块流出的保温水进入喷嘴的一个腔室，并通过回水管与保温水循环系统相连通，经分液块流出的显影液进入喷嘴的另一个腔室，喷洒至晶圆的表面。本发明使显影液管进入显影单元后完全浸泡在保温水里，避免裸露在外，减少其他因素对显影液的影响。
一种显影液恒温保持管路系统

[发明专利]一种显影装置及利于该装置的显影液循环系统-CN201810879571.5在审
发明人：吴楚鸿;李纬;陈巧银;黄泽杭;罗桂容;徐乐山 -专利权人：深圳市翰博士科技有限公司
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种显影装置及利于该装置的显影液循环系统，包括显影槽和显影循环系统，所述显影槽的上端内部设有显影液池，显影液池呈上大下小的梯形槽体状，所述显影液池的底面处设有底板，装置中显影液通过显影液循环管道顺着显影液池壁流下，且显影液在滤板上滤下时经过小型防水振动机振动均匀后进入下端底面上进行循环使用，显影液的使用效果较好，装置中通过电动推杆可控制密封板上二号通孔和底板上一号通孔相连通的孔径大小，方便控制显影液流下速度，便于根据实际需求控制循环速度进行使用
显影液底板密封板显影液循环系统显影装置显影槽通孔显影液循环电动推杆控制循环上下两端实际需求梯形槽体循环系统可控制密封性橡胶层振动机上端池壁底面滤板上滤下端显影防水

[实用新型]一种显影装置显影液循环系统-CN201821248055.4有效
发明人：吴楚鸿;李纬;陈巧银;黄泽杭;罗桂容;徐乐山 -专利权人：深圳市翰博士科技有限公司
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种显影装置显影液循环系统，包括显影槽和显影循环系统，所述显影槽的上端内部设有显影液池，显影液池呈上大下小的梯形槽体状，所述显影液池的底面处设有底板，装置中显影液通过显影液循环管道顺着显影液池壁流下，且显影液在滤板上滤下时经过小型防水振动机振动均匀后进入下端底面上进行循环使用，显影液的使用效果较好，装置中通过电动推杆可控制密封板上二号通孔和底板上一号通孔相连通的孔径大小，方便控制显影液流下速度，便于根据实际需求控制循环速度进行使用
显影液底板密封板显影液循环系统显影装置显影槽通孔本实用新型显影液循环电动推杆控制循环上下两端实际需求梯形槽体循环系统可控制密封性橡胶层振动机上端池壁底面滤板上滤下端显影防水

[实用新型]一种冲版机显影液循环系统-CN201320095593.5有效
发明人：赵莱 -专利权人：上海马西德威影像科技发展有限公司
申请日： 2013-03-04 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种冲版机，尤其是一种冲版机显影液循环系统。包括显影槽、循环单元，显影液监测单元和恒温控制单元。循环单元包括循环泵、过滤桶、热交换器和压力传感器，压力传感器与PLC电连接，循环单元与显影槽通过管道连接；在显影槽和循环单元上设有显影液监测单元和恒温控制单元，显影液监测单元包括pH值监测仪器、电导率监测仪器，所述pH值监测仪器、电导率监测仪器与PLC电连接，恒温控制单元包括制冷部分、加热部分和温度传感器，三者与PLC电连接，本实用新型通过对显影液过滤方式的改进使得显影液的过滤更加充分，使显影液的使用周期有效延长，降低了生产成本；通过对显影液pH值和电导率的监测使更换显影液的时间更加准确，通过对显影液的恒温控制使显影效果得到保证。
一种冲版机显影液循环系统

[实用新型]用于高密线路印制线路板的干膜显影设备-CN202220805574.6有效
发明人：刘春光;付杰;代小芳;张双燕;聂俊涛;金松;韩小妮 -专利权人：鼎富电子（惠州）有限公司
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于高密线路印制线路板的干膜显影设备，属于线路板领域，其包括显影槽，所述显影槽包括并列设置的上端开口的浸泡槽和上端开口的喷淋槽，所述喷淋槽内设置有喷淋系统；还包括药液循环系统，所述药液循环系统包括储液槽、连通所述喷淋槽和所述浸泡槽的用于将所述喷淋槽中的显影液输向所述浸泡槽的第一连通通道、连通所述浸泡槽和所述储液槽的用于将所述浸泡槽中的显影液输向所述储液槽的第二连接通道，以及连接所述储液槽和所述喷淋系统的用于将所述储液槽中的显影液输向所述喷淋系统的第三连通通道，所述第二连通通道上安装有用于过滤显影液的过滤器。本实用新型可有效提高高密线路印制线路板的显影效率。
用于高密线路印制线路板显影设备

[实用新型]显影制程设备-CN200820047228.6无效
发明人：叶奕志;刘耀隆 -专利权人：深超光电(深圳)有限公司
申请日： 2008-04-30 - 公布日： 2009-09-16 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型主要涉及一种显影制程设备，尤其是指一种应用于液晶显示器之显影制程设备，其包含：一工作腔与一中间贮槽、一显影液循环系统，具有一连接管路，连接该工作腔与该中间贮槽、一喷嘴，配置于该工作腔内、以及一显影液承接组藉由移动该显影液承接组，使其接近并靠住该喷嘴，并以该喷嘴进行显影液之假配药，最后再藉着该显影液承接组承接该显影液。因此，可控制关键尺寸之稳定性，并提升该显影液之回收率。
显影设备

[实用新型]一种印刷显影液的废水处理循环系统-CN202120287282.3有效
发明人：金嘉麟 -专利权人：天津市卫印印刷有限责任公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： C02F1/28 文献下载
摘要：本申请涉及一种印刷显影液的废水处理循环系统，属于印刷领域，其技术方案要点是包括净化箱，净化箱开设有进水口，净化箱开设有出水口，净化箱内转动连接有吸附板，吸附板连接有驱动吸附板转动的驱动件。本申请能够净化显影液废水，使得显影液废水被净化后能够循环利用，减少水资源的浪费。
一种印刷显影液废水处理循环系统

[发明专利]显影液回收装置-CN201810122601.8在审
发明人：李威;陆明 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本申请涉及液晶面板制造领域，一种显影液回收装置。包括储液器，所述储液器通过进水管和出水管串联于显影机的显影液循环系统中，所述储液器中设有液位传感器，所述显影液回收装置还包括除泡器，所述除泡器用于消除显影液中的气泡。本申请所述显影液回收装置，因为消除了气泡对所述液位传感器的影响，从而纠正了液位传感器的检测偏差，可以更加准确的检测当前的液位高度，保证正产的正常运行，避免因液位传感偏差而带来的宕机或者基板报废等损失。
显影液回收液位传感器储液器除泡器显影液循环系统液晶面板制造基板报废液位传感出水管进水管显影机显影液检测液位宕机申请串联纠正保证

[发明专利]显影液供应系统-CN201510891336.6有效
发明人：张岳妍 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2015-12-04 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： G03F7/32 文献下载
摘要：本发明提供一种显影液供应系统，包括一显影机台(1)、互为备用关系的第一显影液循环槽(21)和第二显影液循环槽(22)、显影液供应源(30)、及氮气供应源(40)，其中，通过将第一、第二显影液循环槽(21、22)及显影机台(1)设置成与显影液供应系统外部隔绝的密闭状态，且使氮气供应源(40)通过管道向第一、第二显影液循环槽(21、22)及显影机台(1)内充入氮气，能够使整个系统处于密封及氮气保护的状态，从而隔绝了空气对显影液中氢氧根离子的消耗，使显影液的使用周期得以延长。
显影液供应系统

[发明专利]显影装置及其清洗方法-CN201811401086.3在审
发明人：杨传灿 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供一种显影装置及其清洗方法。该显影装置包括显影液供给单元、与所述显影液供给单元连接的显影液喷淋单元以及与所述显影液供给单元连接的控制单元；所述显影液供给单元包括显影液储存罐、多个显影液循环罐以及分别设于多个显影液循环罐中并与显影液储存罐连接的喷头，显影液循环罐在自清洗模式中通过喷头将显影液喷洒至显影液循环罐的内壁上，有效地去除显影液循环罐的内壁上的死角位置的顽固光阻，该喷头喷出的显影液的清洗效果要优于现有技术中显影液浸泡方式的清洗效果，且喷头喷出的显影液到达一定量后，液面升高也可达到浸泡方式的清洗效果，此外还能节省显影液的用量，降低成本，以及节省清洗时间。
显影液显影液循环显影液供给单元喷头清洗效果显影装置清洗储存罐内壁喷出浸泡死角位置液面升高有效地自清洗光阻喷淋喷洒去除

[实用新型]PCB显影生产线-CN201621149131.7有效
发明人：陈斐;黄宇忠;王建朋 -专利权人：广州市万亿达电子设备有限公司
申请日： 2016-10-22 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种PCB生产设备，尤其是PCB显影生产线，包括依次连接的显影段和清洗段，所述显影段和清洗段均安装在同一个机架内，机架通过防水槽分隔成上下两层；所述显影段包括第一显影喷淋部和第二显影喷淋部；所述第一显影喷淋部包括第一辊道、第一吹尘器、显影液循环系统和两个设置在第一辊道上的显影液喷淋装置，所述第二显影喷淋部包括第二辊道、第二吹尘器和两个设置在第二辊道上的显影液喷淋装置，所述清洗段包括第三辊道、第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统、第四喷淋系统、超纯水喷淋系统、第一风刀系统和第二风刀系统，通过先吹尘、再显影、多次喷淋、两次风干等工序，有效提高显影质量。
pcb 显影生产线

[发明专利]显影液成分调整方法及其显影系统-CN200510126744.9有效
发明人：李易昌;林奇峰;徐启源 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2005-11-21 - 公布日： 2006-04-19 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：一种显影系统，包括一第一显影机台、一第二显影机台、一连通管以及一废液槽。第一显影机台包括一第一显影槽、一第一显影液循环槽、一第一废液管以及一第一废液控制阀，该第一显影槽连通该第一显影液循环槽，该第一废液管连接该第一显影液循环槽，该第一废液控制阀设于该第一废液管之上。第二显影机台包括一第二显影槽、一第二显影液循环槽、一第二废液管以及一第二废液控制阀，该第二显影槽连通该第二显影液循环槽，该第二废液管连接该第二显影液循环槽，该第二废液控制阀设于该第二废液管之上。连通管连通该第一显影液循环槽以及该第二显影液循环槽。废液槽连接该第一废液管以及该第二废液管。
显影液成分调整方法及其显影系统

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