“掩膜体”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网_专利查询网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果5326907个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]单位掩膜、其制造方法及包括其的掩膜组件-CN201711015844.3有效
发明人：吕守华;黄俊杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种单位掩膜、其制造方法及包括其的掩膜组件。单位掩膜包括：掩膜体，沿长度方向和宽度方向延伸，并且在掩膜体上形成有掩膜图案；以及夹紧部，沿掩膜体的长度方向从掩膜体的端部延伸出，其中，在夹紧部上形成有防滑图案。该单位掩膜能够提高使用夹具夹持并拉伸单位掩膜时的张网精度。
单位制造方法包括组件

[发明专利]一种掩膜支撑装置和非接触式曝光设备-CN202310947539.7在审
发明人：薛峰;邢吉文;杨鹏;谢淑俊;陈曦;曹葵康 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜支撑装置和非接触式曝光设备，属于掩膜版支撑定位领域或镀铜的图形化领域，掩膜支撑装置包括掩膜基座、载台侧边定位组件、掩膜载台和掩膜版；掩膜载台包括内设气道的载台体，在载台体的中部开设掩膜窗口；在载台体的侧边开设侧气孔，用于设置气阀；在载台体的底面开设多个底面定位孔，用于设置掩膜定位销；在载台体的底面还开设一个气槽孔和一个闭环气槽，气槽孔与闭环气槽和载台体的内设气道连通，用于抽真空吸附下方的掩膜版通过本申请的掩膜支撑装置，可以快速更换掩膜版，并实现快速高精度的定位，便于在掩膜应用领域推广应用。
一种支撑装置接触曝光设备

[发明专利]掩膜板覆盖膜设计方法-CN201310195623.4无效
发明人：朱骏;马兰涛;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-05-23 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板覆盖膜设计方法，包括：掩膜板覆盖膜制作步骤，用于制作掩膜板覆盖膜膜体；气孔形成步骤，用于在掩膜板覆盖膜膜体四个侧边分别布置多个气孔。所述掩膜板覆盖膜设计方法可以用于设计193纳米光源的掩膜板覆盖膜。掩膜板覆盖膜膜体四个侧边上的气孔的尺寸相同。掩膜板覆盖膜膜体四个侧边中的各个侧边上的多个气孔等间距布置。掩膜板覆盖膜膜体四个侧边中的相对侧边上的气孔数量相等，并且对应布置。掩膜板覆盖膜膜体四个侧边中的较长的两个相对侧边上的气孔数量大于四个侧边中的较短的两个相对侧边上的气孔数量。
掩膜板覆盖设计方法

[发明专利]掩膜板部件、其掩膜板体矫形方法和掩膜板体曝光方法-CN201710366560.2在审
发明人：詹敏 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-05-23 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种掩膜板部件、其掩膜板体矫形方法和掩膜板体曝光方法，解决了基于现有掩膜板进行曝光过程后，半成品表面上位于不同位置但具有相同设计的掩膜图案的尺寸不一致的问题。本发明一实施例提供的一种掩膜板部件包括：掩膜板体；形变检测组件，构造为检测所述掩膜板体的形变大小；以及形变矫正组件，构造为对所述掩膜板体的形变进行矫正。
掩膜板形变矫形半成品表面曝光矫正组件曝光过程形变检测掩膜图案不一致矫正检测

[发明专利]掩膜组件及其制造方法-CN201811005162.9有效
发明人：林治明 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供一种掩膜组件及其制造方法，其包括异型条状掩膜体，异型条状掩膜体包括异型遮挡片和支撑条，支撑条之间形成一间隔第二掩膜板和异型遮挡片接触的间隔空间。本申请通过异型条状掩膜体的间隔空间的设置，避免了第二掩膜板和第一掩膜板的异型条状掩膜体存在非线性接触的情况，提高了玻璃基板和第二掩膜板贴合的均匀性。
组件及其制造方法

[发明专利]掩膜板固化方法及掩膜板处理工艺-CN201210366881.X无效
发明人：顾婷婷 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： G03F1/68 文献下载
摘要：本发明揭示了一种掩膜板固化方法，该方法包括：将掩膜板进行等离子体工艺处理，以使掩膜板固化。本发明还揭示了一种掩膜板处理工艺，该工艺包括：制备具有图形的掩膜板；将所述掩膜板进行等离子体工艺处理，使所述掩膜板固化以形成固化掩膜板；以及将所述固化掩膜板进行湿法清洗。本发明采用等离子体对掩膜板进行固化，使掩膜板在湿法清洗去除缺陷的过程中不会损坏到掩模板，提高良率。
掩膜板固化方法处理工艺

[发明专利]掩膜板及清洁方法-CN202210615750.4在审
发明人：匡友元 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜板及清洁方法，该掩膜板包括板体以及粘附层，所述板体包括掩膜图案区以及非掩膜图案区，所述掩膜图案区以及所述非掩膜图案区相邻设置；所述粘附层设于所述非掩膜图案区下方。本申请的掩膜板通过在板体下方设置粘附层，用于吸附污染颗粒，降低产品暗点或亮点发生率，提升产品良率。
掩膜板清洁方法

[发明专利]分立掩膜和通过利用该分立掩膜装配掩膜框组件的方法-CN201110305579.9有效
发明人：朴国喆 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2011-10-11 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：在分立掩膜和通过利用该分立掩膜装配掩膜框组件的方法中，该分立掩膜包括杆体和夹紧部分，在所述杆体上形成有沉积图案，所述夹紧部件沿所述杆体的纵向从所述杆体向外延伸，所述夹紧部分从所述杆体在宽度上增加。通过利用这种结构，由于在所述掩膜框组件的装配期间，拉紧张力因所述夹紧部分的延伸部分而被施加到所述分立掩膜上，因此防止在所述分立掩膜上形成褶皱，从而获得精确的掩膜框组件。
分立通过利用装配掩膜框组件方法

[实用新型]掩膜板搬运治具-CN201320039919.2有效
发明人：郭总杰;袁剑峰;孙亮;周子卿;许朝钦 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2013-01-24 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型提供的掩膜板搬运治具，包括杆体以及设置于杆体上的用于夹持掩膜板的夹持装置。本实用新型的掩膜板搬运治具在工作时，通过夹持装置可以很方便的对掩膜板，特别是大尺寸的掩膜板进行夹持，这样操作者移动杆体即可以实现对掩膜板的搬运。本实用新型的掩膜板搬运治具可以实现很方便的搬运大尺寸的掩膜板。采用本实用新型的掩膜板搬运治具进行掩膜板搬运时，操作者的双手不会碰触掩膜板，由此避免掩膜板因为摩擦而损坏或污染。
掩膜板搬运

[发明专利]掩膜表面化学处理方法及系统-CN200810211878.4无效
发明人：苏益辰;许庭豪;秦圣基;李宏仁;谢弘璋;辜耀进 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2008-09-18 - 公布日： 2009-10-14 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明是有关于一种掩膜表面化学处理方法及系统。该掩膜表面化学处理方法包括以下步骤：在一掩膜上形成一吸收材质层；于形成该吸收材质层后，对该掩膜进行一等离子体处理以减少化学污染物；对该掩膜进行一化学清洗过程；以及对该掩膜进行一气体喷射过程。该掩膜表面化学处理系统包括：一掩膜台用来固定一掩膜，使该掩膜面朝下；一化学分注器，用来提供至少一化学品，以清洗该掩膜；一等离子体模组，用来对该掩膜进行一等离子体处理，以移除污染物；以及一温度控制模组，用来控制该掩膜的温度本发明具有清洁掩膜以减少掩膜上残留的具有不同化学键结强度的化学残余物的效果。
表面化学处理方法系统

[发明专利]蒸镀掩膜的制造装置以及制造方法-CN202110344384.9在审
发明人：山田哲行 -专利权人：株式会社日本显示器
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供品质稳定的蒸镀掩膜的制造装置及蒸镀掩膜的制造方法。并且提升作业者的作业效率。蒸镀掩膜的制造装置，包括：设置结构体的工作台，所述结构体设有蒸镀掩膜和与蒸镀掩膜相接的金属层；和从蒸镀掩膜将金属层剥离并进行卷绕的旋转辊。另外，蒸镀掩膜的制造方法包括：在设有蒸镀掩膜和与蒸镀掩膜相接的金属层的结构体中，一边用旋转辊卷绕金属层，一边使旋转辊沿着与结构体的一边大致平行的第1方向移动，从蒸镀掩膜将金属层剥离。
蒸镀掩膜制造装置以及方法

[实用新型]一种薄膜电池掩膜装置-CN201720050161.0有效
发明人：蓝仕虎;焦伟;何光俊;陈金良;齐鹏飞;赖新暖 -专利权人：中山瑞科新能源有限公司
申请日： 2017-01-13 - 公布日： 2017-08-22 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种薄膜电池掩膜装置，包括掩膜体、定位机构和活动机构，该定位机构位于掩膜体的一侧，活动机构位于掩膜体的另一侧并与定位机构相对设置，该掩膜体用于覆盖待镀膜基板的边缘，定位机构固定待镀膜基板一侧于掩膜体的一侧下方，活动机构可在掩膜体上滑动调节固定待镀膜基板另一侧于掩膜体的另一侧下方。通过本装置能够快速的进行掩膜，保证掩膜的精准性和重复性，保证产品外观的一致，且可以重复利用，节约了生产成本和时间，有利于进一步降低组件成本，提高产品竞争力，且减少了胶带的使用，也杜绝了环境污染。
一种薄膜电池装置

[发明专利]一种对掩膜进行处理的方法-CN201510053594.7在审
发明人：施维 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2015-02-02 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供一种对掩膜进行处理的方法，用于消除掩膜经过修补后出现的污染物，其在掩膜进行一定次数的修补后，用氧等离子体清洗所述掩膜。本发明提供的对掩膜进行处理的方法，用于去除28nm掩膜经过修补后出现的污染物，其通过用氧等离子体提清洗所述掩膜来去除掩膜在掩膜经过修补后出现的污染物，从而使掩膜可以修补更多的次数，提高掩膜的使用次数，降低生产成本
一种进行处理方法

[发明专利]掩膜板及掩膜板的制备方法-CN202211261348.7在审
发明人：刘颖;李金库;周皓月;刘明星;赵晶晶 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供一种掩膜板及掩膜板的制备方法，掩膜板可以用于基板的蒸镀，基板与掩膜板相对设置，基板朝向掩膜板的一侧设置有导电件；掩膜板包括板体，板体上具有凹槽，凹槽的槽口位于板体朝向基板一侧的面上，导电件在板体上的正投影位于凹槽内凹槽可以减少或避免导电件与板体之间的接触，以减少或避免导电件与板体之间摩擦产生的静电，从而减少或避免静电对基板上的电路的损伤，以提高基板的良率。因此，本申请提供的掩膜板及掩膜板的制备方法，可以减少或避免掩膜板对基板上的电路的损伤。
掩膜板制备方法

[发明专利]掩膜版组件及掩膜版、蒸镀边界确认及蒸镀偏位校正方法-CN202111668671.1在审
发明人：周丽芳;董耀龙;李文星;韩冰;钱先锐 -专利权人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种掩膜版组件及掩膜版、蒸镀偏位校正方法。掩膜版组件包括：多个第一掩膜版。第一掩膜版包括：第一本体以及设置于第一本体上的掩膜开口和边界标识开口。其中，掩膜开口用于制备有机材料图案。边界标识开口位于掩膜开口的边界外侧，用于制备边界标识。边界标识用于确定有机材料图案的边界。不同第一掩膜版中的掩膜开口相对于第一本体的位置相同，不同第一掩膜版中的边界标识开口相对于掩膜开口的位置不同。上述的掩膜版组件及掩膜版、蒸镀偏位校正方法，可以改善有机共通层蒸镀边界及蒸镀偏差难以有效界定的问题，从而提高AMOLED产品的工艺可靠性及生产良率。
掩膜版组件边界确认蒸镀偏位校正方法

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top