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- [实用新型]推力测试装置-CN202221152919.9有效
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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深圳市易天半导体设备有限公司
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2022-05-13
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2022-11-15
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G01L5/00
- 本申请提供一种推力测试装置，该推力测试装置包括推力检测机构、第一驱动机构、第二驱动机构和千分表，推力检测机构用于检测待检测芯片载体上芯片的推力。第一驱动机构用于驱动待检测芯片载体在第一平面上运动与推力检测机构的接触端接触；第二驱动机构用于驱动推力检测机构在第一方向上运动。千分表设于第二驱动机构上，千分表的测量端与推力检测机构接触，千分表用于测量推力检测机构在第一方向上的运动量。本申请中第二驱动机构驱动推力检测机构在第一方向上运动，而千分表用于测量推力检测机构在第一方向上的运动量，通过查看千分表上的读数用户可以准确的调整推力检测机构的在第一方向上的运动量，从而便于用户准确调节。
- 推力测试装置
- [实用新型]推力测试装置-CN202222008986.X有效
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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深圳市易天半导体设备有限公司
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2022-07-29
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2022-11-15
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G01L5/00
- 本申请提供一种推力测试装置，第二驱动机构驱动推力检测机构在第二方向上运动，第三驱动机构驱动待检测芯片载体上的芯片在第三方向上运动，第二方向与第三方向处于同一平面，则推力检测机构可检测到待检测芯片载体上芯片的推力；由于推力检测机构和待检测芯片载体是相对独立运动的，因此推力检测机构和待检测芯片载体可以被同时驱动，以使推力检测机构的接触端能更快接触待检测芯片载体上的芯片，以提高推力测试效率。而千分表用于测量推力检测机构在第一方向上的运动量，通过查看千分表上的读数，用户可以准确的调整推力检测机构在第一方向上的运动量，从而便于用户准确调节。
- 推力测试装置
- [发明专利]电动式直线运动促动器-CN201780031698.5有效
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增田唯
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NTN株式会社
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2017-05-19
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2021-03-09
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H02K7/06
- 本发明的课题在于提供一种电动式直线运动促动器，其可谋求空间的节省，使推力的支承结构简化，谋求成本的降低。该电动式直线运动促动器(1)包括：电动机(2)；直线运动机构(3)；外壳(4)；控制装置(CU)。直线运动机构(3)和电动机(2)经由直线运动机构(3)的旋转输入输出轴(5)而于轴向设置。直线运动机构(3)包括推力轴承(34)，该推力轴承(34)针对伴随直线运动部(6)的直进运动的轴向的荷载而保持反作用力。在控制装置(CU)中具有推力施加机构(54)，该推力施加机构(54)按照因定子(7)和转子(8)的交链磁通，作用于旋转输入输出轴(5)上的轴向的力而产生作用于推力轴承(34)上的轴向的力的方式施加推力。
- 电动直线运动促动
- [发明专利]一种适用于重负载的局部同步多级油缸-CN201410530048.3有效
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曾红丰;张利剑
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北京机械设备研究所
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2014-10-10
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2015-01-28
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F15B15/16
- 本发明公开了一种适用于重负载的局部同步多级油缸，包括：缸筒（1）、下缸盖（7）、上支耳（8）、导向带（9）、格莱圈（4）、O形圈（10）、导油管（5）、缓冲阻尼环（6）、推力级油缸（2）和速度级油缸（3推力级油缸（2）与速度级油缸（3）并联，格莱圈（4）和O形圈（10）经过压缩固定安装在密封槽内，导向带（9）安装在导向带槽内。本油缸工作时推力级油缸（2）同速度级油缸（3）一起伸出，油缸能输出大推力，推力级油缸（2）运动到位后，速度级油缸（3）同步高速运动。本油缸通过将逐级伸缩结构与同步伸缩结构进行融合，确保了本油缸能在运动初期实现输出大推力，运动末期实现高速稳定运动。
- 一种适用于负载局部同步多级
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