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- [实用新型]一种高精密顶针穿刺装置-CN202222524378.4有效
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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深圳市易天半导体设备有限公司
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2022-09-23
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2023-06-09
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H01L21/67
- 本实用新型属于芯片转移设备技术领域,具体涉及一种高精密顶针穿刺装置,包括基座,法兰座,中空的真空盖,夹针柱,顶针,底座,还包括其内设有纵向通孔的真空导套,设于法兰座内的真空孔,设于夹针柱上的气路开关结构,设于真空盖的盖板内的通气孔;夹针柱活动穿设于法兰座的纵向通孔、纵向穿孔及真空盖内,顶针可相对盖板上下移动;真空导套与法兰座内壁之间间隙、夹针柱外壁与纵向穿孔及真空盖之间间隙以及开关结构与纵向通孔内壁之间间隙构成气路。采用上述结构,同现有技术相比,真空设备快速对气路抽真空,夹针柱在上下移动过程中关闭、打开气路,吸附蓝膜、刺破蓝膜、顶针缩回的动作先后顺次进行,切换时间短,有利于提高顶升芯片的效率。
- 一种精密顶针穿刺装置
- [发明专利]一种针刺式排晶机-CN202211325771.9在审
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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深圳市易天半导体设备有限公司
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2022-10-27
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2023-04-11
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H01L21/67
- 本发明涉及一种针刺式排晶机。包括机架,所述机架上设置有第一驱动装置,所述第一驱动装置用于驱动排晶架移动;排晶架,所述排晶架设置在第一驱动装置上,所述排晶架上设置有第二驱动装置,所述第二驱动装置用于驱动顶出机构移动;还包括蓝膜夹持机构、蓝膜装载机构、蓝膜输送机构和基板承载平台。本发明的针刺式排晶机利用蓝膜输送机构和蓝膜夹持机构配合第一驱动装置实现了蓝膜的自动上下料,提高了加工的效率,同时在加工过程中基板承载平台不动,由第一驱动装置驱动排晶架带动蓝膜夹持机构进行大距离的位移,由第二驱动装置驱动顶出机构进行小距离的位移,顶出位置的调整更快,进一步的提高了加工的效率。
- 一种针刺式排晶机
- [发明专利]一种MicroLED巨量转移方法-CN202211561030.0在审
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黄招凤
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黄招凤
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2022-12-07
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2023-04-07
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H01L33/48
- 本发明涉及一种MicroLED巨量转移方法。包括按照接收基底形状制备不透光的转移架和透光的支撑层,转移架上对应要转移MicroLED的位置开设有透光孔;并在支撑层上设置动态释放层和粘性层,并利用粘性层将待转移的MicroLED固定;移动转移架使待转移的MicroLED与接收基底上的转移位置对位;使用激光照射转移架,激光穿过透光孔使动态释放层鼓泡,将MicroLED转移至接收基底,最后通过激光完成MicroLED在接收基底上的焊接固定。本发明通过针对性的按照接收基底的形状制备转移架及支撑层,使得待转移的MicroLED的底面平齐,在激光照射时所有MicroLED均移动相同的距离即可完成所有MicroLED的转移,同时转移架的不透光设计以及透光孔的设计保证了激光照射位置的准确性,转移的安全性和准确性更高,良品率更高。
- 一种microled巨量转移方法
- [实用新型]推力测试装置-CN202222008986.X有效
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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深圳市易天半导体设备有限公司
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2022-07-29
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2022-11-15
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G01L5/00
- 本申请提供一种推力测试装置,第二驱动机构驱动推力检测机构在第二方向上运动,第三驱动机构驱动待检测芯片载体上的芯片在第三方向上运动,第二方向与第三方向处于同一平面,则推力检测机构可检测到待检测芯片载体上芯片的推力;由于推力检测机构和待检测芯片载体是相对独立运动的,因此推力检测机构和待检测芯片载体可以被同时驱动,以使推力检测机构的接触端能更快接触待检测芯片载体上的芯片,以提高推力测试效率。而千分表用于测量推力检测机构在第一方向上的运动量,通过查看千分表上的读数,用户可以准确的调整推力检测机构在第一方向上的运动量,从而便于用户准确调节。
- 推力测试装置
- [实用新型]推力测试装置-CN202221152919.9有效
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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深圳市易天半导体设备有限公司
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2022-05-13
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2022-11-15
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G01L5/00
- 本申请提供一种推力测试装置,该推力测试装置包括推力检测机构、第一驱动机构、第二驱动机构和千分表,推力检测机构用于检测待检测芯片载体上芯片的推力。第一驱动机构用于驱动待检测芯片载体在第一平面上运动与推力检测机构的接触端接触;第二驱动机构用于驱动推力检测机构在第一方向上运动。千分表设于第二驱动机构上,千分表的测量端与推力检测机构接触,千分表用于测量推力检测机构在第一方向上的运动量。本申请中第二驱动机构驱动推力检测机构在第一方向上运动,而千分表用于测量推力检测机构在第一方向上的运动量,通过查看千分表上的读数用户可以准确的调整推力检测机构的在第一方向上的运动量,从而便于用户准确调节。
- 推力测试装置
- [实用新型]LED芯片焊接平台-CN202221152917.X有效
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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深圳市易天半导体设备有限公司
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2022-05-13
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2022-11-15
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B23K26/70
- 本申请提供一种LED芯片焊接平台,该LED芯片焊接平台包括平台本体、加热机构、温度测量机构及控制器,平台本体用于承载芯片基板,芯片基板上设有待焊接的LED芯片。加热机构用于对平台本体进行加热,温度测量机构用于测量平台本体的温度,并生成与平台本体温度相对应的温度信号;控制器分别与加热机构、温度测量机构连接,控制器用于接收温度信号并基于温度信号控制加热机构工作。本申请中控制器接收温度信号并基于温度信号控制加热机构工作,从而控制加热机构对平台本体加热,热量通过平台本体传导至芯片基板及LED芯片上并将芯片基板及LED芯片加热至设定温度再进行焊接,焊接时用户只需要在更小范围内调整镭射光的参数,从而便于用户操作。
- led芯片焊接平台
- [实用新型]具有芯片去除功能的LED芯片转移装置-CN202221348886.5有效
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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黄招凤
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2022-05-31
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2022-11-08
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H01L21/67
- 本申请提供一种具有芯片去除功能的LED芯片转移装置,该装置包括图像采集模组、不良芯片去除模组和移动模组。图像采集模组用于采集第一芯片载体的图像,并识别图像中的不良LED芯片,第一芯片载体上有转移至第一芯片载体上的LED芯片。不良芯片去除模组用于去除第一芯片载体上的不良LED芯片,移动模组用于移动第一芯片载体上的不良LED芯片与所述不良芯片去除模组对位。本申请中图像采集模组采集第一芯片载体的图像,并识别图像中的不良LED芯片;然后移动模组移动第一芯片载体上的不良LED芯片与不良芯片去除模组对位,不良芯片去除模组再去除第一芯片载体上的不良LED芯片。因此防止了不良的LED芯片移动至下一道工序影响后续LED产品的生产。
- 具有芯片去除功能led转移装置
- [发明专利]一种激光焊接芯片的方法-CN202210814398.7在审
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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深圳市易天半导体设备有限公司
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2022-07-12
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2022-10-14
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H01L21/60
- 本发明属于芯片焊接技术领域,具体涉及一种激光焊接芯片的方法,包括以下步骤:a、基板上料;b、芯片上料;c、通过CCD相机对每颗芯片进行辨识;d、芯片与基板上的焊盘对位,移动芯片盘,将步骤c中经计算机系统判断为外观合格的且需要焊接的目标芯片移动到用于顶升目标芯片的顶针机构上方,沿X、Y方向移动基板,使焊盘与目标芯片相对应;e、通过顶针机构上的顶针将目标芯片顶升至焊接该目标芯片的焊盘处并使二者接触;f、激光焊接,将目标芯片焊接在焊盘上;g、顶针机构的顶针回到初始位置,单颗芯片焊接完成。因此,同现有同类技术相比,本发明的方法具有工序少、设备少、占地面积小、效率及良率高、适应范围广泛的技术效果。
- 一种激光焊接芯片方法
- [发明专利]芯片焊接方法和系统-CN202210524967.4在审
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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黄招凤
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2022-05-13
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2022-09-30
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H01L21/67
- 本申请涉及一种芯片焊接方法和系统。方法包括:获取基板的图像及第一芯片载体的图像;在根据基板的图像获取基板上的第一标识点,根据第一芯片载体的图像获取第一芯片载体上的第二标识点。再根据基板上的第一标识点与第一芯片载体上的第二标识点的对应关系,将基板与第一芯片载体对位。再将第一芯片载体上的第一芯片与基板上的第一焊盘压合,就实现了批量移动第一芯片与第一焊盘压合,从而提高生产效率。最后在第一芯片载体上的第一芯片与基板上的第一焊盘压合时,采用激光焊接将第一芯片载体上的第一芯片焊接在基板的第一焊盘上。现有的工艺仅能单次焊接125*125mm内的LED芯片,而本申请能够单次批量焊接330*330mm范围内的LED芯片,显著提升了单次LED芯片的焊接量。
- 芯片焊接方法系统
- [发明专利]巨量转移方法及设备-CN202210524975.9在审
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黄招凤;陈罡彪;游燚;陈学志
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黄招凤
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2022-05-13
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2022-09-30
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H01L21/67
- 本申请提出一种巨量转移方法及设备,该方法包括:对目标基板上的焊盘进行辨识并获取焊盘的焊盘位置数据;基于根据焊盘位置数据获取的焊盘之间的焊盘间距通过针刺方式将目标芯片分别排列在粘于载体玻璃上的转移膜上;对排列于转移膜上的目标芯片与目标基板的焊盘对位后压合焊接;对焊接有目标芯片的目标基板进行测试;对目标基板上的测试异常芯片进行捕捉定位得到异常位置数据;根据异常位置数据对目标基板上的异常芯片进行返修;对返修后的目标基板进行测试,若仍然存在测试异常芯片,则对目标基板上的异常芯片再次返修。本申请通过巨量转移方案以巨量转移的方式固晶,保证芯片的放置的精准性和稳定性,提高产品稳定性、生产效率及良品率。
- 巨量转移方法设备
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