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- [发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN200810213829.4有效
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基村雅洋;宫回秀彰;本庄一大
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大日本网屏制造株式会社
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2008-09-11
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2009-04-01
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H01L21/00
- 在利用处理液对基板进行处理之后,在溶剂环境中使基板干燥的基板处理装置具有:处理槽,用于储存处理液;保持机构,用于保持基板,至少能够在处理槽内的处理位置与位于处理槽上方的干燥位置之间移动;腔室,用于包围处理槽的周围;溶剂蒸气供给部,用于向腔室内供给溶剂蒸气;浓度测定部,用于测定腔室内的溶剂浓度;排出部,用于排出腔室内的气体;控制部,在利用作为处理液的纯水对位于处理槽内的处理位置的基板进行处理之后,通过排出部对腔室内进行减压,并通过溶剂蒸气供给部向腔室内供给溶剂蒸气,在将基板移动至干燥位置的状态下,若溶剂浓度达到规定值,则通过排出部再次对腔室内进行减压。
- 处理装置方法
- [发明专利]处理液供给装置及其脱气方法-CN201811458010.4有效
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楠原充也;柏山真人
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株式会社斯库林集团
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2018-11-30
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2023-08-04
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H01L21/67
- 本发明提供一种处理液供给装置及其脱气方法,能够通过控制排出管的压力来提高脱气效率。在将稀释剂吸入腔室(15)后,在关闭开闭阀(V1)~(V3)的状态下,当通过三通阀(V4)使腔室(15)的容积变大时,腔室(15)内被减压。因此,能够将存在于稀释剂中的气体释放到腔室(15)内。此外,使压力调节机构(37)动作并且打开开闭阀(V3)来进行脱气,但由于通过压力调节机构(37)使得排出管(9)内的压力低于腔室(15)内的压力,因此腔室(15)内的气体可以经由排出管(9)被顺畅地排出因此,能够防止释放至腔室(15)内的气体再次溶入稀释剂中,提高了脱气效率。
- 处理供给装置及其脱气方法
- [发明专利]纺丝助剂预混机构-CN202210922169.7在审
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朱雅琳;王超;严晓娟;卢倩
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海宁中创新材料科技有限公司
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2022-08-02
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2022-11-18
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D01D1/06
- 在容器的侧壁上设置有进液口和出液口,进液口端侧连通多组用于进料的连接接口在所述容器顶部安设有驱动器,在驱动机构的传动轴上连接有搅拌器,进液口和出液口与容器底部预留一定的距离,以使得进入容器内的混合溶液能够暂存在容器内腔底部,在容器底部连通有回收腔,且回收腔底部设置排出孔,并在回收腔内安设开闭机构,开闭机构与搅拌器共用传动轴,用于间歇开启排出孔,排出流入至回收腔内的溶液,并可将排出液进一步利用,从而增加均匀性。本发明通过在混合腔室底部设置溶液暂存混合的腔室,能够使得溶液配比趋于正常数值范围,并在底部间歇性的排出不均匀的溶液。
- 纺丝助剂机构
- [实用新型]一种油漆刷清洗装置-CN201520444360.0有效
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盛铁丰
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盛铁丰
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2015-06-24
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2015-10-28
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B08B3/08
- 本实用新型公开了一种油漆刷清洗装置,清洁筒壳体的内部加工清洗剂储存腔,清洗剂储存腔内存储清洗剂,清洗剂储存腔内安装清洗剂排出活塞,清洗剂排出活塞的上部放置清洗棉,清洗剂排出活塞的底部固定连接弹簧,弹簧的另一端固定在清洗剂储存腔的底部,油漆刷放置在清洗棉的上方,清洗剂储存腔的底部与清洗剂添加管连通,清洗剂添加管上安装开关阀,清洗剂排出活塞的中心位置加工主清洗剂微管,主清洗剂微管四周设置辅助清洗剂微管,本实用新型采用在清洁筒壳体底部设置清洗剂储存腔,在清洗剂储存腔内安装清洗剂排出活塞的设计,能够存储清洗剂,实现油漆刷的清洗,其设计科学合理,结构组成简单。
- 一种油漆清洗装置
- [实用新型]一种饲料添加剂用混合机-CN202022530190.1有效
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李大伟
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河南豫商生物科技集团有限公司
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2020-11-04
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2021-07-20
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B01F7/20
- 其将人工对物料进行搅拌的方式变为机械搅拌,提高了搅拌效率,同时节省了大量的人力和时间,从而增加了实用性;包括工作箱、混合筒、控制阀、第一电机组件、第一减速机、第一搅拌轴、第二电机组件、第二减速机和第二搅拌轴,工作箱内部设置有工作腔,工作箱的底端设置有四组支腿,混合筒内部设置有混合腔,工作腔的底端顶端中部区域贯穿设置有工作口,混合筒位于工作腔中,混合腔的顶端中部区域贯穿设置有进料口,混合腔的底端中部区域连通设置有排出管,工作腔的底端中部区域贯穿设置有排出口,排出管的底端转动穿过排出口,控制阀安装在排出管上。
- 一种饲料添加剂混合
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