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[发明专利]具有超声波换能器的紧固件及制造工艺和用途-CN201911229907.4有效
发明人：万冰华;王川;杨知硕;单垄垄;马艳云;夏斌宏;张文静;高伟 -专利权人：航天精工股份有限公司
申请日： 2019-12-04 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明创造提供了一种具有超声波换能器的紧固件及制造工艺和用途，所述具有超声波换能器的紧固件包括紧固件，在紧固件的一端或两端上设有超声波换能器原件，其结构由内到外依次设置压电层、保护层和电极层，所述设有超声波换能器原件的紧固件端面为凹槽结构，所述凹槽侧面倾斜，所述压电层和所述保护层位于凹槽内。本发明创造可以有效地将压电层与外界腐蚀环境隔离，大幅度延长了换能器紧固件的使用寿命，提高了其检测精度。
具有超声波换能器紧固制造工艺用途

[实用新型]具有超声波换能器的紧固件-CN201922149343.5有效
发明人：万冰华;王川;杨知硕;单垄垄;马艳云;夏斌宏;张文静;高伟 -专利权人：航天精工股份有限公司
申请日： 2019-12-04 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有超声波换能器的紧固件，所述具有超声波换能器的紧固件包括紧固件，在紧固件的一端或两端上设有超声波换能器原件，其结构由内到外依次设置压电层、保护层和电极层，所述设有超声波换能器原件的紧固件端面为凹槽结构，所述凹槽侧面倾斜，所述压电层和所述保护层位于凹槽内。本实用新型可以有效地将压电层与外界腐蚀环境隔离，大幅度延长了换能器紧固件的使用寿命，提高了其检测精度。
具有超声波换能器紧固

[发明专利]用于与流体的体积流相互作用的MEMS换能器及其制造方法-CN201880041742.5在审
发明人：哈拉尔德·申克;霍尔格·康拉德 -专利权人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会
申请日： 2018-04-20 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种用于与流体的体积流相互作用的MEMS换能器，包括衬底，该衬底包括具有具有形成多个衬底平面的多个层的层堆叠并且在层堆叠内包括腔。MEMS换能器包括连接到腔内的衬底的机电换能器，并且在多个衬底平面的至少一个移动平面内包括可变形的元件，在移动平面内的可变形元件的变形和流体的体积流因果相关。MEMS换能器包括在层堆叠的层内布置电子电路，该电子电路连接到机电换能器并且被配置为提供在可变形元件的变形和电信号之间的转换。
层堆叠衬底机电换能器可变形元件衬底平面移动平面体积流流体变形电子电路连接电子电路可变形腔内转换配置

[发明专利]一种压电微机械换能器-CN202110423696.9在审
发明人：秦风;李慧 -专利权人：广州蜂鸟传感科技有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电微机械换能器，属于换能器技术领域，解决了换能器由于采用多换能器组成阵列，导致器件体积较大、成本高的问题，本发明包括基底，基底包括底硅层和设置于底硅层上的埋氧层，埋氧层上方由下至上依次连接有顶硅层、底层金属层、压电材料层和顶层金属层，底硅层和埋氧层处的基底中心位置设置有背部空腔，压电材料层上形成与背部空腔形状相同、尺寸大小相同、位置相对应的振膜区域，振膜区域内的压电材料层包括安装于外侧的振膜外侧电极本发明通过隔离沟槽将振膜区域的电极分为内侧和外侧，实现了单个换能器的高性能自发自收工作。
一种压电微机械换能器

[发明专利]柔性微机电系统换能器及其制造方法和无线扩音器-CN03165014.7有效
发明人：南润宇;李锡汉 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2003-09-26 - 公布日： 2004-08-04 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开柔性MEMS换能器及其制造方法、以及柔性MEMS无线扩音器。一种柔性无线MEMS扩音器，包括：柔性聚合物材料的衬底，在衬底上通过PECVD形成的柔性MEMS换能器结构，在衬底上印制的天线、用于与外界源通信，在衬底中嵌入的导线和接口电路以便电连接柔性MEMS换能器和天线，电连接到衬底的柔性电池层、用于将电源提供到MEMS换能器，以及电连接到电池层的柔性蓝牙模块层。柔性MEMS换能器包括：柔性衬底，在衬底上沉积的薄膜层，在薄膜层上形成的下电极层，在下电极层上通过沉积压电聚合物形成的有源层，在有源层上形成的上电极层，以及分别电连接到下电极层和上电极层的第一和第二连接焊盘
柔性微机系统换能器及其制造方法无线扩音器

[发明专利]一种具有GS分层式电极的薄膜材料声表面波器件及其制备方法与应用-CN201911200913.7在审
发明人：潘峰;沈君尧;曾飞;傅肃磊;苏荣宣;王为标 -专利权人：清华大学;无锡市好达电子有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：它由下至上依次包括基片、第一层叉指换能器、二氧化硅薄膜、压电薄膜和第二层叉指换能器。其制备方法包括如下步骤：1)利用光刻技术和电子束蒸镀方法，在基片表面制备第一层叉指换能器；2)利用磁控溅射方法，在第一层叉指换能器和基片上生长二氧化硅薄膜；3)使二氧化硅薄膜表面平整，然后采用磁控溅射的方法在其表面上生长压电薄膜；4)采用步骤1)中方法在压电薄膜上制备第二层叉指换能器，并将其与第一层叉指换能器按照设置对准，并利用光刻技术露出第一层叉指换能器的电极PAD区，即得。
一种具有 gs 分层电极薄膜材料表面波器件及其制备方法应用

[发明专利]一种匹配层优化的超声换能器及其制作方法-CN201710017272.6在审
发明人：李翔;陈友伟;袁建人;林钟霞 -专利权人：上海爱声生物医疗科技有限公司
申请日： 2017-01-11 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明公开一种匹配层优化的超声换能器及其制作方法。该超声换能器包括依次连接的背衬层、压电晶体层和匹配层，压电晶体层为复合单晶压材料，复合单晶压材料表面裹敷聚对二甲苯薄膜匹配层，匹配层的数量为单层或多层。该方法包括制好导电的背衬，制作辐射面连接点，使用导电胶在换能器表面制作辐射面连接点，蒸镀聚对二甲苯薄膜，换能器辐射面被敷上一层不导电的薄膜，连接辐射面连接点与信号线。本发明改进了血管内超声成像超声换能器的性能，提高了血管内超声成像的图像分辨率，提高了图像的穿透深度。
一种匹配优化超声换能器及其制作方法

[发明专利]一种柔性超声换能器阵列及其制备方法-CN202211337406.X在审
发明人：陈建中;吴大伟;力乙瑞 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性超声换能器阵列及其制备方法，涉及超声换能器技术领域，解决机械性能和电气性能的缺陷问题；柔性超声换能器阵列包括上打印电极层、导电银浆层、压电层、导电银浆层、下打印电极层，打印电极层是具有“岛‑桥”连接结构的柔性电极阵列，压电层是由若干压电阵元形成的压电矩阵，单个压电阵元向上/下通过导电银浆连接上/下打印电极层对应的电极；其制备方法包括制备激光打印材料，激光打印转移柔性电极阵列，切割压电阵块，集成柔性超声换能器阵列，寻址电路的电气检查；本发明利用激光打印技术制备的柔性超声换能器阵列具有优异的拉伸柔性和轻量性，并且采用行列寻址的柔性电路设计，兼顾电气有效连接与阵列同步形变。
一种柔性超声换能器阵列及其制备方法

[发明专利]表声波谐振器及其制造方法-CN202010761041.8在审
发明人：黄河;李伟;罗海龙 -专利权人：中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种表声波谐振器及其制造方法，所述表声波谐振器包括：基板及设置于基板上的压电层；叉指换能器，设置于压电层的上表面；叉指换能器的间隙之间设有第一介质层，至少部分第一介质层的下表面与压电层的上表面之间设有第一空腔本发明通过在第一介质层临近压电层一侧开设第一空腔，使得叉指换能器的间隙之间的第一介质层悬空，以便于将沿压电层表面传播至第一介质层悬空处的声波反射回去，从而减少声波的损耗；通过叉指换能器将第一空腔分割为多个子第一空腔，以便于将叉指换能器临近于压电层表面的部分暴露于空气中，从而便于消除叉指换能器边界的杂波，进而提升谐振器的整体性能。
声波谐振器及其制造方法

[发明专利]一种声表面波滤波器及其制作方法-CN202010310390.8在审
发明人：付琛;张啸云;刘仁 -专利权人：张家港声芯电子科技有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波滤波器，包括压电基底，压电基底包括厚基底部和薄基底部，压电基底的上表面设置有压电薄膜层，压电薄膜层上设置有至少一对叉指换能器，每一对叉指换能器均包括间隔输入换能器和输出换能器，输入换能器和输出换能器分别位于两侧的厚基底部并与厚基底部对应，薄基底部处于输入换能器和输出换能器之间。另外本发明还公开了滤波器的制作方法，利用磁控溅射工艺或晶圆键合结合机械抛光的方式在压电基底表面制作压电薄膜层，然后采用平面光刻工艺成型叉指换能器，最后进行深硅刻蚀完成薄基底部的成型。
一种表面波滤波器及其制作方法

[发明专利]一种高强度聚焦超声换能器阵列-CN201310312076.3有效
发明人：殷振;李华;李艳;曹自洋;汪帮富;谢鸥;刘义生;吴永芝;任坤;张峰 -专利权人：苏州科技学院
申请日： 2013-07-24 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： A61N7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高强度聚焦超声换能器阵列，包括一个球冠型刚性支撑架和若干个超声换能器，球冠型刚性支撑架的中央单独放置一个超声换能器，其余超声换能器离散分布在以该超声换能器为中心的若干层同心环上，各环层之间的角间距均不相等，各环层之间的间隔及同环内相邻超声换能器的间距在5mm以内，每层同心环的起始超声换能器位置随机而定，每个超声换能器有独立的电激励信号馈线，分别连接至相控信号激励系统。本发明通过基于伪逆矩阵理论的焦点模式合成方法计算超声换能器的相位和电压幅度分布，实现声束电子聚焦和扫描，产生所需单焦点或多焦点等声场控制模式，应用于人体内目标肿瘤病灶的快速加热消融。
一种强度聚焦超声换能器阵列

[发明专利]一种具有超低后向辐射的深水宽带换能器-CN201210549415.5无效
发明人：郝浩琦;夏铁坚;谢民;孔海防;唐良雨;苏妍;苏石飞;姚成章 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七一五研究所
申请日： 2012-12-17 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： G10K9/122 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有超低后向辐射的深水宽带换能器，该换能器由纵弯换能器内芯、耐压外壳及耐压反声障板组成，纵弯换能器内芯封装入于耐压外壳内，纵弯换能器内芯的上端灌注一层聚氨酯及在聚氨酯上硫化一层以提高水密性能的橡胶层，采用换能器和耐压反声障板一体化设计，在耐压反声障板中心留有安装孔洞，耐压外壳固定于耐压反声障板上的安装孔洞中。本发明的有益效果为：该换能器具有超低后向辐射、低频、宽带、耐高静水压的特点，采用换能器与耐压反声障板一体化设计，性能稳定，可靠性强；换能器安装方便，可单独使用，亦可成阵使用以满足对声源级和波束宽度的需求
一种具有超低后辐射深水宽带换能器

[实用新型]一种高强度聚焦超声换能器阵列-CN201320441782.3有效
发明人：殷振;李华;李艳;曹自洋;汪帮富;谢鸥;刘义生;吴永芝;任坤;张峰 -专利权人：苏州科技学院
申请日： 2013-07-24 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： A61N7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高强度聚焦超声换能器阵列，包括一个球冠型刚性支撑架和若干个超声换能器，球冠型刚性支撑架的中央单独放置一个超声换能器，其余超声换能器离散分布在以该超声换能器为中心的若干层同心环上，各环层之间的角间距均不相等，各环层之间的间隔及同环内相邻超声换能器的间距在5mm以内，每层同心环的起始超声换能器位置随机而定，每个超声换能器有独立的电激励信号馈线，分别连接至相控信号激励系统。本实用新型通过基于伪逆矩阵理论的焦点模式合成方法计算超声换能器的相位和电压幅度分布，实现声束电子聚焦和扫描，产生所需单焦点或多焦点等声场控制模式，应用于人体内目标肿瘤病灶的快速加热消融。
一种强度聚焦超声换能器阵列

[发明专利]弹性波装置、滤波器及电子设备-CN202310094514.7在审
发明人：杜波;王华磊;倪建兴 -专利权人：锐石创芯（重庆）科技有限公司
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种弹性波装置，弹性波装置包括压电层、叉指换能器与反射结构。叉指换能器包括两个汇流条以及多个电极指，电极指的一端连接于一汇流条，电极指的另一端向另一汇流条延伸，连接两个汇流条的多个电极指在声波传播方向上依次间隔设置形成一交替区域。弹性波装置还包括温度补偿层与质量层，温度补偿层设于压电层设有叉指换能器的一侧，并至少覆盖叉指换能器的交替区域，质量层设置于温度补偿层背对叉指换能器的一侧，且位于交替区域，质量层用于降低交替区域对应的声波的声速在实现相同谐振频率的情况下，本申请的弹性波装置可以将叉指换能器尺寸做小，从而实现弹性波装置的小型化设计。本申请还提供一种滤波器以及一种电子设备。
弹性装置滤波器电子设备

[发明专利]换能器模块、包括该模块的装置及制造该模块的方法-CN201710401428.0有效
发明人： E·杜奇;M·阿兹佩蒂亚尤尔奎亚;L·巴尔多 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2017-05-31 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请涉及换能器模块、包括该模块的装置及制造该模块的方法。制造换能器模块的方法包括以下步骤：在衬底上形成第一MEMS换能器、具体是陀螺仪以及具有悬置薄膜的第二MEMS换能器、具体是加速度计；在所述衬底上形成导电层并且将所述导电层限定为同时提供电气地耦合到所述第一换能器的至少一个导电带以及所述第二MEMS换能器的所述薄膜。
换能器模块包括装置制造方法