[发明专利]一种具有GS分层式电极的薄膜材料声表面波器件及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 201911200913.7 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110868181A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 潘峰;沈君尧;曾飞;傅肃磊;苏荣宣;王为标 | 申请（专利权）人： | 清华大学;无锡市好达电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有GS分层式电极的薄膜材料声表面波器件及其制备方法与应用。它由下至上依次包括基片、第一层叉指换能器、二氧化硅薄膜、压电薄膜和第二层叉指换能器。其制备方法包括如下步骤：1)利用光刻技术和电子束蒸镀方法，在基片表面制备第一层叉指换能器；2)利用磁控溅射方法，在第一层叉指换能器和基片上生长二氧化硅薄膜；3)使二氧化硅薄膜表面平整，然后采用磁控溅射的方法在其表面上生长压电薄膜；4)采用步骤1)中方法在压电薄膜上制备第二层叉指换能器，并将其与第一层叉指换能器按照设置对准，并利用光刻技术露出第一层叉指换能器的电极PAD区，即得。本发明具有更高的频率、较高的温度稳定性，同时具有更强的集成性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 gs 分层 电极 薄膜 材料 表面波 器件 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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