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[发明专利]抽真空系统、半导体工艺设备及抽真空的方法-CN202210316224.8有效
发明人：宋晓彬;申震;闫志顺 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本申请公开了一种抽真空系统、半导体工艺设备及抽真空的方法，涉及半导体领域。一种抽真空系统包括：多组第一抽真空组件以及第二抽真空组件；多组第一抽真空组件与多组工艺腔室组一一对应连接，第一抽真空组件包括第一真空泵和多条第一抽真空管路，多条第一抽真空管路的出口端与第一真空泵连接，入口端与工艺腔室组中的多个工艺腔室一一对应连接；第二抽真空组件包括第二真空泵和第二抽真空管路，第二抽真空管路的出口端与第二真空泵连接，入口端与多个工艺腔室分别连接。半导体工艺设备，包括抽真空系统。一种抽真空的方法，应用于半导体工艺设备。本申请至少解决常规设备占用面积大的问题。
真空系统半导体工艺设备方法

[实用新型]一种适用于管式PECVD设备的真空抽气管道结构-CN202120110266.7有效
发明人：陈晖;周玉龙;孙烨;王玉明;李敦信;张欣;闫宝杰;李轶军;杨宝海 -专利权人：营口金辰机械股份有限公司
申请日： 2021-01-15 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：一种适用于管式PECVD设备的真空抽气管道结构属于PECVD设备技术领域，具体涉及一种适用于管式PECVD设备的真空抽气管道结构。本实用新型提供一种能适应PECVD设备做工艺时的抽真空要求，减少工艺气体浪费，降低太阳能电池片单片成本的真空抽气管道结构。本实用新型包括真空泵，真空泵上设置有真空管道，真空管道上依次设置有蝶阀和真空挡板阀，真空管道末端为抽真空口，其特征在于：所述真空泵和蝶阀之间设置有慢抽管路，慢抽管路末端与抽真空口连通；所述蝶阀和真空挡板阀之间设置有工艺抽管路，工艺抽管路末端与抽真空口连通；所述真空管道的口径＞慢抽管路口径＞工艺抽管路口径。
一种适用于 pecvd 设备真空管道结构

[发明专利]一种真空闪蒸系统及真空闪蒸方法-CN202111497140.0在审
发明人：李卫东;李新连;赵志国;赵东明;张赟;夏渊;秦校军;李梦洁;丁坤 -专利权人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能新能源股份有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请提供一种真空闪蒸系统及真空闪蒸方法，包括：工艺腔室和至少一个预抽腔室，工艺腔室用于放置待闪蒸基片，工艺腔室和预抽腔室相互连接，工艺腔室和预抽腔室的连接口处具有真空阀门，预抽腔室的气压值低于工艺腔室的气压值，预抽腔室的体积大于工艺腔室的体积，当真空阀门处于打开状态时，工艺腔室和预抽腔室连通，由于预抽腔室的体积大于工艺腔室且预抽腔室的气压小于工艺腔室，工艺腔室的气压值迅速降低，相较于将待闪蒸基片先放入工艺腔室，再抽真空去除溶剂的长耗时而言，利用已经预先抽好真空的预抽腔室，能够缩短工艺腔室中气压值的降低时间，以缩短去除膜层中残留溶剂的时间，提升残留溶剂去除效果，降低半导体器件制造成本。
一种真空闪蒸系统方法

[发明专利]一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备-CN202010743608.9有效
发明人：李王俊;曹新民;张斌;王凤明 -专利权人：苏州迈正科技有限公司
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备，涉及真空镀膜技术领域。本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、阴极内腔抽真空管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔抽真空管道的一端与所述腔体抽真空管道连接本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，通过两路抽真空管道分别对腔体、阴极内腔进行抽真空，能够快速把残留的工艺气体抽干净，为通入新的工艺气体做好准备，极大地缩短切换工艺气体的时间。
一种快速切换镀膜工艺气体方法设备

[发明专利]多阶抽真空变压吸附工艺-CN201210039085.5无效
发明人：张国瑞 -专利权人：北京信诺海博石化科技发展有限公司
申请日： 2012-02-21 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： B01D53/047 文献下载
摘要：一种适用于处理大规模原料气的真空变压吸附装置的多阶抽真空工艺，包含两个或两个以上各自独立的抽真空系统，各自承担不同负压等级范围的抽真空任务，分步骤地对吸附床接力抽真空，并在抽真空设备与压缩机之间设置具有较大缓冲容积的气柜多阶抽真空工艺适宜的抽真空负压范围为3～20kPa(A)，适用范围是原料气流量大于5000Nm3/h的真空变压吸附装置。
多阶抽真空变压吸附工艺

[发明专利]一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺-CN201910751913.X在审
发明人：朱海荣;彭平;夏中高;李旭杰;杨雄磊 -专利权人：平煤隆基新能源科技有限公司
申请日： 2019-08-15 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本发明涉及硅太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种避免PECVD工序中石墨舟印的处理工艺，包括以下步骤：将存放时间超过4小时的石墨舟搬运至管式PECVD机台，对石墨舟进行洗舟工艺加载，洗舟工艺步骤为：开始、进舟、抽真空、吹扫、抽真空、检漏、抽真空、恒温、恒压、淀积一、抽真空、吹扫、淀积二、抽真空、吹扫、抽真空、充氮、取舟、结束，将运行过洗舟工艺后的石墨舟从炉管中取出后，按正常工艺流程装载硅片，运行镀膜工艺，本发明利用电离氨气对长时间存放的石墨舟在管式PECVD机台上运行洗舟工艺进行处理，处理后的石墨舟装载硅片后镀膜不会出现硅片污染导致的EL石墨舟印。
石墨舟抽真空吹扫硅片淀积管式装载硅太阳能电池氨气机台处理工艺镀膜工艺工艺步骤硅片污染工艺流程电离充氮镀膜恒压加载检漏炉管搬运取出制造

[发明专利]一种可循环利用的呋喃树脂浸渍工艺-CN201510165071.1在审
发明人：张月圆;黄垭楹;蒋锦锋;陈萍 -专利权人：南通晨光石墨设备有限公司
申请日： 2015-04-09 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： C04B41/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种可循环利用的呋喃树脂浸渍工艺，包括除尘干燥、抽真空、浸渍、固化冷却，并按照上述工艺步骤重复进行抽真空、浸渍、固化冷却，其中抽真空工艺是指抽真空至0.08Mpa，并保持2小时，浸渍中抽真空至本发明的呋喃树脂浸渍工艺，由于废除了泡酸工艺，使得呋喃树脂可以进行重复循环利用，降低了生产成本，提高了企业效益。
一种循环利用呋喃树脂浸渍工艺

[发明专利]一种可循环利用的呋喃树脂浸渍工艺-CN201710744700.5在审
发明人：张红星 -专利权人：南通德诺尔石墨设备有限公司
申请日： 2017-08-25 - 公布日： 2017-12-26 - 主分类号： C01B32/21 文献下载
摘要：一种可循环利用的呋喃树脂浸渍工艺,包括除尘干燥、抽真空、浸渍、固化冷却，并按照上述工艺步骤重复进行抽真空、浸渍、固化冷却，其中抽真空工艺是指抽真空至0.1Mpa，并保持1小时，浸渍中抽真空至0.6Mpa本发明的呋喃树脂浸渍工艺，由于废除了泡酸工艺，使得呋喃树脂可以进行重复循环利用，降低了生产成本，提高了企业效益。
一种循环利用呋喃树脂浸渍工艺

[发明专利]一种真空低温绝热管道抽真空工艺-CN201210316527.6有效
发明人：张亚斐;孙飞 -专利权人：苏州拓维工程装备有限公司
申请日： 2012-08-31 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： F16L59/065 文献下载
摘要：一种真空低温绝热管道抽真空工艺，在对低温绝热管道抽真空时采用了使用氮气置换管道内空气，最大限度的减小了真空夹层的水分及其他夹杂物等的含量，获得了更高的真空度，降低低温液体冷损失。满足真空低温绝热管的规模生产，抽真空的工艺可满足同时对数根真空管进行抽真空的要求。
一种真空低温绝热管道工艺

[发明专利]一种抽真空系统的分段集成方法-CN202310842491.3在审
发明人：施敏海;吴辰睿;陈光奇;徐钢;孙振中;高建强;李杰;陆晓莉;陈涛;魏裕隆;庞嘉炜 -专利权人：江苏深绿新能源科技有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本发明涉及的一种抽真空系统的分段集成方法，由控制台通过控制总线与真空机组集成、抽真空工位集成联控组成抽真空自动控制系统，实现真空机组之间最佳的配合。控制总线与抽真空工位集成联控组成工艺过程分析控制分系统，可进行工件抽真空工艺过程的自动处理以及每个工件的工艺过程记录。可通过对工艺过程的大数据统计和分析，实现工件在线质量合格水平的自动判定，并给出工件异常处理报警和特征数据结果报告，完成无人化的自动抽真空作业。本发明提高了设备利用率及生产效率，降低了能耗及运行成本。
一种真空系统分段集成方法

[发明专利]一种抽真空除气工艺-CN201810335782.2有效
发明人：明长友;邹波;邹琴;雒川 -专利权人：成都科瑞尔低温设备有限公司
申请日： 2018-04-16 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： F17C1/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种抽真空除气工艺，包括对被抽产品进行氦质谱检漏后充入高纯热氮气，并辅以内、外温对产品彻底进行加热，再按热氮气充气、闷气、排气热冲洗工艺抽低真空，最后按间断排气抽空工艺抽高真等工序；通过上述工序的设置并结合上述工艺工序设置特有的工艺参数，使得经过本申请抽真空除气工艺处理后的真空绝热低温泵池、真空绝热低温管以及真空绝热低温阀箱类产品等的夹层内残余气体清除效果极佳，进而使得被抽处理后的产品在使用过程中的漏热量大大降低，提高了产品的使用性能和使用寿命
一种真空工艺

[发明专利]制造轿车刹车片盘片抽真空混料的加工工艺-CN200910231581.9无效
发明人：张联峰 -专利权人：信义集团公司
申请日： 2009-12-03 - 公布日： 2010-06-02 - 主分类号： B29B7/86 文献下载
摘要：本发明涉及轿车刹车片的制备工艺领域，具体是一种制造轿车刹车片盘片抽真空混料的加工工艺其技术方案是：包括配料——混料抽真空——冷成型——硫化——磨削——检验——包装等工艺步骤，其特征是在现有混料步骤中增加抽真空工艺，抽真空的条件是在-0.05-0.04MPa之间。本发明的效果：通过增加抽真空处理工序，使混合料挥发份、水分减少，大大减少了硫化工序刹车片裂纹、起泡现象，有效提高了合格品率。
制造轿车刹车片盘片真空加工工艺

[发明专利]用于平滑夹层壁、容器壁的吸盘抽真空方法-CN200710010264.5无效
发明人：孙正维 -专利权人：孙正维
申请日： 2007-02-02 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： F16K15/02 文献下载
摘要：用于平滑夹层壁、容器壁的吸盘抽真空方法，属真空科学领域，研发它的目的是为了解决现用于可拆式真空体抽真空工艺的复杂性与缺点。本发明它是由平滑夹层壁与容器壁常规的钻孔方法，专用于平滑壁的喇叭状吸盘抽真空技术以及制作受压封接性能好的封塞堵工艺组成，其特征是：专用于平滑壁面的喇叭状吸盘抽真空技术与制作抽真空体孔口的封塞堵工艺结合，一次性完成制作抽真空体的方法。本发明实现后与现有的技术相比：1可解决焊熔封接留有的抽真空尾管的技术问题，2本发明的简便可拆性抽真空方法，可开发出更多的实用真空器具，3具有技术灵活，成本相对较低的优点。
用于平滑夹层容器吸盘真空方法

[发明专利]一种玻璃钢抽真空一次性船体成型工艺及其成型装置-CN202110450186.0有效
发明人：林毅良;张杰;王承卓 -专利权人：重庆京穗船舶制造有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： B29C70/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃钢抽真空一次性船体成型工艺及其成型装置，涉及造船技术领域。该玻璃钢抽真空一次性船体成型工艺，包括预备、铺整、压合抽真空以及注脂成型四个步骤。一种玻璃钢抽真空一次性船体成型装置，包括工作台，所述工作台上设置有压合机构、连通导流机构和驱动机构。该玻璃钢抽真空一次性船体成型工艺，采用压合密封的方式替代了传统工艺中使用胶带对真空薄膜边缘进行密封的方式，减轻了操作人员的劳动负担，缩短了工艺耗时，提升了成型作业整体的生产加工效率。该玻璃钢抽真空一次性船体成型装置，在玻璃钢抽真空船体成型的过程中使得树脂更加均匀快速地充满整个模具，提升成型效率的同时保障成型质量。
一种玻璃钢真空一次性船体成型工艺及其装置

[发明专利]制造轿车刹车片盘片硫化工序的抽真空的加工工艺-CN201110461870.5无效
发明人：丁德顺;周永刚;张联峰 -专利权人：信义集团公司
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： B29C35/00 文献下载
摘要：本发明涉及轿车盘式刹车片的制备工艺领域，具体是一种在硫化工序通过加装抽真空系统降低轿车刹车片盘片裂纹起泡的加工工艺。其技术方案是：包括配料——混料——冷成型——抽真空硫化——磨削——检验——包装等工艺步骤，其特征是在现有混料步骤中增加抽真空工艺，抽真空的条件是在-0.05--0.02MPa之间。本发明的效果：通过增加抽真空处理工序，使混合料挥发份、水分减少，大大减少了硫化工序刹车片裂纹、起泡现象，有效提高产品质量。
制造轿车刹车片盘片硫化工序真空加工工艺

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