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[发明专利]一种高悬浮性氧化铈抛光液及其抛光工艺和应用-CN202110275867.8在审
发明人：钟伟春;汤金慧;黎建军 -专利权人：拓米（成都）应用技术研究院有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种高悬浮性氧化铈抛光液，属于玻璃抛光技术领域。所述抛光液包括以下质量百分比的各组分：抛光粉50～60％，阴离子分散剂2～8％，非离子型分散剂4～10％，螯合剂0.1～1％，pH值调节剂0.1～1％以及杀菌剂0.1～1％。本发明还提供利用所述抛光液进行抛光的工艺，采用先四周抛光，再凹面抛光，最后凸面抛光的顺序；本发明高悬浮性氧化铈抛光液可以实现玻璃抛光。本发明抛光液是一种生产易操作、悬浮及再分散性优良、各组分水溶性复配性好、去除速率高、表面质量好、成本更低的高悬浮性氧化铈抛光液，能解决现有抛光液存在的不足，并能实现规模化生产和应用。
一种悬浮氧化抛光及其工艺应用

[实用新型]一种抗拉性好的LCD复合抛光绒-CN202220292834.4有效
发明人：刘文明 -专利权人：深圳市瑞宝丰科技有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： B24D11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及抛光绒技术领域，且公开了一种抗拉性好的LCD复合抛光绒，包括LCD复合抛光绒主体、拉伸机构、抛光机构和撕拉机构，所述拉伸机构位于LCD复合抛光绒主体的内部，所述抛光机构位于LCD复合抛光绒主体的外端，所述撕拉机构位于LCD复合抛光绒主体的外端。该抗拉性好的LCD复合抛光绒，安装了拉伸机构，便于加强LCD复合抛光绒主体的抗拉性，当对LCD复合抛光绒主体进行拉扯时，LCD复合抛光绒主体对拉伸带拉扯，拉伸带反过来将LCD复合抛光绒进行拉扯，避免LCD复合抛光绒遇到拉扯力而变形，保障LCD复合抛光绒的抗拉性，里布用于固定拉伸带的位置，便于拉伸带的连接，复合绒布包裹拉伸带，便于后续的绒线连接，将外部绒线和拉伸带进行连接。
一种抗拉性好 lcd 复合抛光

[发明专利]用于钨的抛光浆料以及衬底抛光方法-CN201610195620.4在审
发明人：郑胜元 -专利权人：优备材料有限公司
申请日： 2014-08-28 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： C23F3/06 文献下载
摘要：揭示一种用于钨的抛光浆料和一种衬底抛光方法。所述浆料包含用于进行抛光且具有正动电位的磨料以及用于促进钨的氧化且用于控制所述磨料的动电位的电位调节剂。本发明的抛光浆料具有钨对绝缘层的高抛光选择性、低抛光选择性和反抛光选择性。
用于抛光浆料以及衬底方法

[发明专利]提高GLSI硅通孔碱性CMP中铜膜厚度一致性的方法-CN201510987683.9在审
发明人：刘玉岭;刘俊杰;檀柏梅 -专利权人：天津晶岭微电子材料有限公司
申请日： 2015-12-24 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种提高GLSI硅通孔碱性CMP中铜膜厚度一致性的方法，具体步骤如下：测量抛光片的初始铜膜厚度，选择抛光垫；调整FA/O抛光液的流速150—300mL/min、抛光机的工作压力12kPa-40kPa、抛光头的转速30rpm—120rpm和抛光盘的转速30pm-120rpm，抛光时间60s-300s，开始抛光；在抛光结束后将抛光片取出，清洗干净，选取多个测试点测量抛光后的剩余铜膜厚度，用抛光前后的铜膜厚度差换算出抛光速率，有益效果：在FA/O表面活性剂与抛光头/抛光盘转速的协同作用下提高了抛光片表面质量传递与温度均匀性，从而控制铜膜的一致性，可以使片内非均匀性降至3％以下。
提高 glsi 硅通孔碱性 cmp 中铜膜厚度一致性方法

[实用新型]一种抛光垫及抛光装置-CN202123059218.9有效
发明人：张迅;易伟华;孙骏超 -专利权人：江西沃格光电股份有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B24B37/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抛光垫及抛光装置，用于对超薄柔性玻璃的弯折位置处的凹槽线条进行抛光处理，包括抛光垫本体，抛光垫本体包括硬质抛光盘和柔性抛光层，柔性抛光层形成于硬质抛光盘的底面。该抛光垫在对超薄柔性玻璃的弯折位置处的凹槽线条进行抛光处理时，由于硬质抛光盘的底面形成有柔性抛光层，柔性抛光层受压形变能够改善抛光垫局部平整度不均衡的缺陷，提升抛光垫与产品面接触均匀性，改善抛光均匀性及降低超薄柔性玻璃压破的风险
一种抛光装置

[发明专利]用于高温应用的层叠抛光垫-CN200880021244.0无效
发明人：阿巴尼什沃尔·普拉萨德;迈克尔·莱西;罗兰·塞维勒;凯利·纽厄尔 -专利权人：卡伯特微电子公司
申请日： 2008-05-01 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于化学机械抛光的抛光垫，其包括抛光层、底层及热熔性粘合剂，该热熔性粘合剂将该抛光层与该底层接合在一起。该热熔性粘合剂包含2～18重量％的EVA，且当该抛光层达到40℃的温度时，该热熔性粘合剂基本上耐分层。本发明还提供了使用上述抛光垫抛光基材的方法及该抛光垫的制备方法。
用于高温应用层叠抛光

[发明专利]抛光设备-CN201810130748.1在审
发明人：褚恒岩;钟明云 -专利权人：江西联创电子有限公司
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种抛光设备，包括底座、机架、上抛光盘以及下抛光盘，所述下抛光盘安装在所述底座上，所述上抛光盘安装在所述机架上并位于所述下抛光盘的上方，所述下抛光盘设有多个安装基板，所述上抛光盘设有多个朝向所述安装基板的抛光板，所述抛光板上设有抛光层，所述抛光设备还包括用于驱动所述抛光板、所述安装基板以及所述下抛光盘转动的驱动装置。本发明抛光设备具有适用范围广、安全性和可靠性高以及抛光效率高等优点。
抛光盘抛光设备安装基板抛光板底座抛光效率驱动装置抛光层转动驱动

[发明专利]一种前囊抛光器-CN202210228596.5在审
发明人：叶鸿飞;赵培泉;田恬 -专利权人：叶鸿飞;赵培泉
申请日： 2022-03-08 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： A61F9/007 文献下载
摘要：本发明提出了一种前囊抛光器，涉及医疗设备技术领域。该前囊抛光器包括抛光部、拉伸机构和手柄，抛光部为由形变材料制成的弧状结构，且抛光部设置于手柄的一端；拉伸机构设置于手柄内，且拉伸机构和抛光部的一侧相互连接。同时该拉伸机构还能够将抛光部拉伸收缩于容置槽内，减少抛光部长时间暴露于外的损伤。通过折叠抛光部，使抛光部呈折叠态伸入前房，并环状打开行抛光，避免伤及其他组织。另一方面，抛光部环状的大小及形态可根据需求调节，从而便于行囊袋不同位置的横行或纵行抛光。该前囊抛光器通过设置可以形变的抛光部，提高对白内障手术时的抛光效率、使用便捷性、抛光全面性和安全性。
一种抛光

[发明专利]一种五轴数控抛光机-CN202310390670.8在审
发明人：汪福安;颜怀寒 -专利权人：深圳玖创精密科技有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种五轴数控抛光机，属于数控机床领域，常规技术手段中水幕需要将粉尘范围全部覆盖，要使用大量水进行循环，本申请通过抛光砂轮上的洒水孔，其包括抛光组件、装夹组件、湿润组件以及基体；抛光组件包括抛光头、抛光安装板、抛光自转驱动件以及抛光翻转驱动件，抛光头包括抛光砂轮、抛光连接轴、抛光传动轮，抛光连接轴另一端设置有密封性轴承，抛光连接轴与密封性轴承的内圈同轴转动；湿润组件包括水箱、液压泵、运输管、液压控制阀，运输管一端与密封性轴承的外圈连接；抛光连接轴内部具有流道通孔，抛光砂轮具有洒水孔，本申请主要应用于减少抛光过程中吸附粉尘而用水过多的情况，具有改善使用水幕过程中浪费过多水的效果。
一种数控抛光机

[实用新型]一种用于耐磨钢球加工的抛光装置-CN202220496294.1有效
发明人：郑富林 -专利权人：济南华富锻造股份有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B24B29/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于耐磨钢球加工的抛光装置，包括抛光外壳、抛光支撑板、抛光托板、升降组件、抛光顶板、下抛光槽、上抛光槽和抛光组件，所述抛光外壳呈中空腔体设置，所述抛光支撑板转动设于抛光外壳下端内，所述抛光托板滑动设于抛光支撑板上方，所述升降组件设于抛光支撑板、抛光托板之间，所述抛光顶板转动设于抛光外壳上端内且设于抛光托板上方，所述下抛光槽设于抛光托板顶壁。本实用新型属于耐磨钢球加工技术领域，具体是提供了一种升降组件通过推高抛光托板，将钢球固定在下抛光槽与上抛光槽之间，方便抛光组件快速抛光钢球，工作效率高、抛光效果好、实用性强、安全性高的用于耐磨钢球加工的抛光装置
一种用于耐磨加工抛光装置

[实用新型]一种震动抛光机-CN201920181024.X有效
发明人：钱保根 -专利权人：上海金相机械设备有限公司
申请日： 2019-02-01 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：一种震动抛光机，包括抛光机本体、抛光装置、防护罩、夹持装置和控制主板，抛光装置设置在抛光机本体上部，夹持装置设置在防护罩内部，防护罩固定设置在抛光装置外部；抛光装置包括抛光盘、抛光台，抛光盘为圆形盘体结构，下部设置有转轴，抛光台固定设置在抛光机本体上，抛光盘嵌套设置在抛光台底端；抛光机本体正面设置有显示面板、控制按钮，侧面设置有旋钮，内部设置有电机，电机驱动轴与转轴固定连接；显示面板、控制按钮、旋钮与控制主板的输入端电性连接，电机与控制主板的输出端电性连接。本实用新型通过在防护罩上设置夹持装置，用于夹持抛光的物体，代替了人工手持，出现纰漏的可能性更低，而且可自行调整夹持位置，适用面更广。
防护罩抛光机抛光装置夹持装置控制主板抛光盘抛光台电性连接固定设置控制按钮显示面板旋钮转轴电机嵌套本实用新型电机驱动轴侧面设置夹持位置内部设置圆形盘体正面设置自行调整抛光输出端输入端底端夹持震动外部

[发明专利]改进缺陷度的多层抛光垫及其制造方法-CN200610171190.9无效
发明人： D·B·詹姆斯 -专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请日： 2006-12-20 - 公布日： 2007-06-27 - 主分类号： B24D17/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用来抛光半导体基板的复合化学机械抛光垫，该抛光垫包括：具有第一可压缩性的抛光层；具有第二可压缩性的中间层，所述第二可压缩性小于第一可压缩性；具有第三可压缩性的底层，所述第三可压缩性大于第二可压缩性，小于第一可压缩性；所述抛光层中孔隙结构的含量至少为50体积％。本发明提供了减少缺陷且提高抛光性能的多层水基抛光垫。
改进缺陷多层抛光及其制造方法

[实用新型]一种硬质合金用可调型抛光装置-CN202221825033.6有效
发明人：谢林祥 -专利权人：浙江名鹰合金材料有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硬质合金用可调型抛光装置，包括支架和抛光平台，抛光平台上设置有抛光支撑座和定位结构，抛光支撑座上设置有抛光结构，抛光结构包括旋转臂，旋转臂的外侧端固定有竖向电动伸缩杆，竖向电动伸缩杆的底端固定有抛光座，抛光座的底面设置有调节滑槽，调节滑槽内设置有滚珠丝杆，抛光座的侧面固定有驱动电机，调节滑槽内设置有与滚珠丝杆螺纹连接的调节滑块，调节滑块的底面连接有抛光电机，抛光电机的主轴上固定有抛光砂轮。本实用新型的结构设置合理，可以实现抛光座的升降及位置调节，可以调节抛光座在旋转臂上的不同位置，以满足不同位置的抛光加工操作，有利于提高其抛光操作的有效性及抛光的效率，适用性强且实用性好。
一种硬质合金可调抛光装置

[发明专利]一种工件抛光检测方法-CN201810034578.7有效
发明人：陈华;张连新;黄文;何建国;郑永成;唐小会;侯晶;刘坤;周涛;陈苓芷 -专利权人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
申请日： 2018-01-15 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G05B19/404 文献下载
摘要：本发明公开了一种工件抛光检测方法。该方法的装置由支架、抛光头、气缸、测头、安装板和激光测距仪组成。该方法将测头固定连接在气缸活塞的下端，气缸运动到下限位时，测头接触式测量工件表面，获取位姿数据，采用最小二乘法计算得到理论工件坐标系与机床坐标系间的变换矩阵，免去装调工件位姿的工序；激光测距仪位于抛光头Z向正下方，激光测距仪连续扫描工件表面获取等法向间距的抛光轨迹，校核工件位姿免装调时坐标系转换的正确性、校核等法向间距抛光数控程序的正确性、验证抛光数控程序与机床伺服性能的匹配性。该方法节省了抛光工艺辅助时间，保证了抛光工艺过程等法向间距抛光，提高了抛光去除的可靠性、抛光质量的可控性和抛光工艺效率。
一种工件抛光检测方法

[发明专利]一种工件抛光检测装置-CN201810034709.1有效
发明人：陈华;张连新;黄文;何建国;郑永成;唐小会;侯晶;刘坤;周涛;陈苓芷 -专利权人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
申请日： 2018-01-15 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种工件抛光检测装置。该装置由支架、抛光头、气缸、测头、安装板和激光测距仪组成。工作时将测头固定连接在气缸活塞的下端，气缸运动到下限位时，测头接触式测量工件表面，获取位姿数据，采用最小二乘法计算得到理论工件坐标系与机床坐标系间的变换矩阵，免去装调工件位姿的工序；激光测距仪位于抛光头的Z向正下方，激光测距仪连续扫描工件表面获取等法向间距的抛光轨迹，校核工件位姿免装调时坐标系转换的正确性、校核等法向间距抛光数控程序的正确性、验证抛光数控程序与机床伺服性能的匹配性。该装置节省了抛光工艺辅助时间，保证抛光工艺过程等法向间距抛光，提高了抛光去除的可靠性、抛光质量的可控性和抛光工艺效率。
一种工件抛光检测装置

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