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[发明专利]边缘抛光装置和边缘抛光方法-CN202211607168.X在审
发明人：孙介楠;陈曦鹏 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种边缘抛光装置，包括承载待抛光件的承载面，抛光鼓和与所述抛光鼓枢接的多个连接杆，每个所述连接杆的两端分别设置有抛光垫和配重锤，所述连接杆上还设置有用于在所述抛光鼓旋转过程中自动调整所述连接杆与所述抛光鼓的外周面之间的角度的调节结构通过所述调节结构的设置，可以在抛光过程中动态调整，提高对硅片边缘进行抛光的多个抛光垫对硅片的作用力的均匀性，避免由于抛光垫与硅片边缘之间的作用力不均匀，导致硅片边缘轮廓发生变化，甚至破片问题的发生。
边缘抛光装置方法

[实用新型]一种洁净不锈钢管生产用均匀性好的抛光装置-CN202021804392.4有效
发明人：王良浦 -专利权人：博众不锈钢有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： B24B29/08 文献下载
摘要：本实用新型属于不锈钢管技术领域，具体公开了一种洁净不锈钢管生产用均匀性好的抛光装置，包括工作台，所述工作台的内壁固定连接有接料管道，所述工作台的内壁固定连接有滑轨，所述滑轨的外壁活动连接有滑块，所述滑块的内壁活动连接有收集桶，所述收集桶的正面固定连接有把手，所述工作台的内壁活动连接有滑动块，所述滑动块的内壁固定连接有轴承，与现有的普通洁净不锈钢管生产用均匀性好的抛光装置相比，能够达到该洁净不锈钢管生产用均匀性好的抛光装置抛光效率高的目的，抛光块可以与不锈钢管对相转动，提高了抛光工作的工作效率，给人们的工作带来便利，缩短了工作人员的工作时间，从而方便了人们的工作和生活。
一种洁净不锈钢管生产均匀抛光装置

[发明专利]一种针对血管支架周期性转动电化学抛光装置及抛光方法-CN202010908683.6在审
发明人：顾兴中;赵晟;杨帆 -专利权人：东南大学泰州生物医药与医疗器械研究院
申请日： 2020-09-02 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本发明公开一种针对血管支架周期性转动电化学抛光装置，包括阳极机械驱动机构、拨杆机构、抛光槽、阴极组件和血管支架，拨杆机构不断改变导电丝与血管支架的接触位置，减少接触处的抛光残留，有效解决血管支架电化学抛光过程中支架整体粗细不均、两端过细、夹持处残留明显痕迹的问题，提高成品率，降低劳动强度；通过伺服电机带动丝杆滑块在丝杠以及滑座上下升降，从而带动阳极机械臂活动部、压夹组件、导电丝以及血管支架带入抛光槽内的阴极组件内进行抛光，有效保证血管支架在抛光槽阴极组件内进行抛光时的尺寸均匀性；调整压夹活动板使导电丝张紧，能进一步保证支架抛光整体粗细均匀、两端平整。
一种针对血管支架周期性转动电化学抛光装置方法

[实用新型]一种针对血管支架周期性转动电化学抛光装置-CN202021887078.7有效
发明人：顾兴中;赵晟;杨帆 -专利权人：东南大学泰州生物医药与医疗器械研究院
申请日： 2020-09-02 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种针对血管支架周期性转动电化学抛光装置，包括阳极机械驱动机构、拨杆机构、抛光槽、阴极组件和血管支架，拨杆机构不断改变导电丝与血管支架的接触位置，减少接触处的抛光残留，有效解决血管支架电化学抛光过程中支架整体粗细不均、两端过细、夹持处残留明显痕迹的问题，提高成品率，降低劳动强度；通过伺服电机带动丝杆滑块在丝杠以及滑座上下升降，从而带动阳极机械臂活动部、压夹组件、导电丝以及血管支架带入抛光槽内的阴极组件内进行抛光，有效保证血管支架在抛光槽阴极组件内进行抛光时的尺寸均匀性；调整压夹活动板使导电丝张紧，能进一步保证支架抛光整体粗细均匀、两端平整。
一种针对血管支架周期性转动电化学抛光装置

[实用新型]一种抛光机抛光介质压缩量补偿装置-CN201821378702.3有效
发明人：熊斯贺;江凯军;张瑞嘉;张健 -专利权人：江西新航科技有限公司
申请日： 2018-08-27 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： B24B47/25 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种抛光机抛光介质压缩量补偿装置，包括气缸（1）、抛光介质（8）、顶板部件（9），所述气缸控制抛光介质在非工作区域的行程，顶板部件（9）根据电流反馈来精密控制抛光介质（8）在工作区域的行程，采用本实用新型结构后可实现抛光介质（8）的压缩量得到自动补偿，时时保证产品抛光压力的一致性，使抛光均匀性，平面度一致性及产品良好率高，同时本装置集成性高、维修简单、使用寿命长，因此具有广阔的市场前景。
抛光介质本实用新型抛光机抛光补偿装置顶板部件介质压缩非工作区域抛光均匀性电流反馈工作区域精密控制抛光压力气缸控制使用寿命装置集成自动补偿平面度压缩量气缸维修保证

[发明专利]一种矩形玻璃分段抛光方法-CN201910251017.7有效
发明人：张勇;陈志凯 -专利权人：蒙马科技（深圳）有限公司
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： B24B29/06 文献下载
摘要：本发明公开一种矩形玻璃分段抛光方法，包括：步骤S1、将工件放入工位并固定；步骤S2、设置抛光轮和工件的初始位置；步骤S3、在抛光机的主机上输入程序参数；步骤S4、两抛光轮朝向工件方向移动；步骤S5、工件沿逆时针方向旋转本发明工艺步骤设计简单合理，能够保证工件被抛光的均匀性；分段抛光能不避免玻璃工件角进入抛光轮，从而保护玻璃工件角不被抛光，满足一些不能抛光圆弧角玻璃工件的抛光需求；计算机自动程序设计自动化程度高，更能够保证抛光均匀性
一种矩形玻璃分段抛光方法

[实用新型]透明导电膜层抛光装置-CN200620057485.9无效
发明人：金弼 -专利权人：深圳南玻显示器件科技有限公司
申请日： 2006-04-03 - 公布日： 2007-08-08 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种透明导电膜层抛光装置，包括基板固定盘、抛光布固定件、抛光布和驱动机构，抛光布固定在抛光布固定件上，驱动机构用于使抛光布摩擦基板上的透明导电膜层，驱动机构的输出端耦合至抛光布固定件和基板固定盘两者中的任意一个或两个，使抛光布在基板的透明导电膜层表面作平动摩擦运动，或者使抛光布在基板的透明导电膜层表面作平动摩擦运动的同时还绕自身中心轴转动。利用本实用新型对ITO膜层进行软抛光，不仅保证了ITO膜层在10微米*10微米范围内原子力显微镜AFM测得的粗糙度Ra、Rp－v有显著降低，而且保证ITO膜层的电阻均匀性在抛光前后差异很小，保证量产的均匀性和重复性
透明导电抛光装置

[发明专利]一种高精度抛光粉及其制备方法-CN201910287265.7在审
发明人：柳焱 -专利权人：苏州孚纳特电子新材料有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度抛光粉及其制备方法，该抛光粉的稀土重量（REO）≥80%，CeO₂/REO≥55%。本发明还公开了一种高精度抛光粉的制备方法。本发明提供的高精度抛光粉具有粒度分布均匀，悬浮性好，硬度高，研磨均匀，使用寿命长。制备方法工艺流程简单，环保，工艺容易操作，易于工业化生产。
高精度抛光制备粒度分布使用寿命研磨工艺流程抛光粉悬浮性稀土环保

[发明专利]一种高均匀性高抛光型塑料模具钢ZW636及其制备方法-CN201910453916.5有效
发明人：曹立军;王建华;刘道献;赵伟东;宋文建;蒋大鹏;崔瑞婷;张长春;陈海桐;邵智勇;刘海坤;潘成明 -专利权人：唐山志威科技有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： C22C38/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种高均匀性高抛光型塑料模具钢ZW636及其制备方法。0.15%，Als：0.015~0.030%，Cu≤0.25%，O≤12ppm，N：60~100ppm，H≤1.5ppm，余量为Fe和不可避免的杂质；通过特定的制备方法使得该塑料模具钢具有以下特点：（1）组织均匀晶粒细小，组织评级≤4级，晶粒度6级以上；（2）硬度均匀，同截面硬度均匀性≤3HRC；（3）高的抛光性能，可抛光至8000目，抛光率95%。
一种均匀抛光塑料模具钢 zw636 及其制备方法

[发明专利]铈基混合稀土抛光粉及其制备方法-CN201110377165.7有效
发明人：杨筱琼;赵月昌;郝祥;赵秀娟;李冉;李雪云 -专利权人：上海华明高纳稀土新材料有限公司
申请日： 2011-11-23 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：本发明的目的在于公开一种铈基混合稀土抛光粉及其制备方法，所述铈基混合稀土抛光粉由晶型为氟氧化物稀土与立方相稀土氧化物组成的均一固溶体；与现有的产品相比，采用本发明制备部分氟化的碳酸稀土与碳酸稀土混合，一方面确保了氟化反应均匀性，另一方面解决了碳酸稀土一次氟化难脱水和产量低的缺点；通过氟含量的控制，确保了氟化均匀性，解决了氟化不均匀而产生影响抛光精度及速率的游离态氟离子及氟化物，在焙烧过程中不产生局部异常粗大的颗粒；产品的耐磨性好，抛光速率快，抛光精度容易控制；产品的均一性好，生产效率高，成本低、无污染，适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密器件的表面抛光加工，实现本发明的目的。
混合稀土抛光及其制备方法

[发明专利]一种可拆卸的线性液动压抛光辊子及包含该抛光辊子的抛光装置-CN202110255139.0在审
发明人：文东辉;淦作昆;胡振扬;陈嘉琦 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种可拆卸的线性液动压抛光辊子及包含该抛光辊子的抛光装置；抛光辊子由辊子主体和三种槽结构单元组成，辊子主体为外径340mm，内径280mm，长170mm，深150mm的镂空圆柱体，其上均匀分布若干个矩形槽用于放置槽结构单元，辊子主体与槽结构单元之间通过螺钉紧固；本发明通过组合辊子槽结构单元获得新型辊子结构以产生更大、更均匀的液动压，从而使得抛光过程中材料的去除率和去除均匀性提高。
一种可拆卸线性液动压抛光辊子包含装置

[发明专利]用来减少浆液回流的化学机械抛光法-CN200480036590.8有效
发明人： T·T·克韦纳克;J·J·亨道恩;G·P·马尔多尼 -专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
申请日： 2004-12-02 - 公布日： 2007-01-03 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：在存在浆液(116)之类的抛光介质的情况下使用抛光层(108，208)抛光制品(例如晶片(112，212))表面(120)的方法。该方法包括对制品的转速或抛光层的速度或这二者进行选择，以控制去除速率均匀性或抛光表面缺陷的产生，或此二者。
用来减少浆液回流化学机械抛光

[实用新型]一种增压雾化喷淋装置及其抛光装置-CN201920362905.1有效
发明人：罗斌;邓家云;潘继生;阎秋生 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及精密加工装置的技术领域，更具体地，涉及一种增压雾化喷淋装置及其抛光装置，包括用于供应有压气体和浆液的气液供应组件、用于实现浆液增压和浆液雾化的浆液雾化组件以及喷洒角度可调的浆液喷洒组件，所述气液供应组件连通于所述浆液雾化组件的一端本实用新型的增压雾化喷淋装置，实现浆液流动的高速高压，解决了浆液的不均匀性、分散性差、浪费浆液等问题，使得浆液成分分散均匀，节约加工成本；本实用新型的抛光装置和抛光方法，使抛光浆液均匀喷淋在工件表面及抛光盘面上，从而实现对工件的超精密加工，且可通过调节蠕动泵转速和气源压力以满足不同抛光工件加工所需的参数。
一种增压雾化喷淋装置及其抛光

[发明专利]一种用于大尺寸空间角度窗口玻璃侧面抛光的装置及方法-CN202310044623.8在审
发明人：张森;苏瑛;张云龙;郭芮;王章利;张燕;惠刚阳;左晓舟;张鑫诚;刘昊轩;李毅;刘伟光 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明属于光学窗口玻璃精密加工领域，具体公开了一种大尺寸空间角度窗口玻璃侧面抛光的装置和方法，实现大尺寸异形窗口玻璃空间角度侧面抛光。装置通过将窗口玻璃固定在窗口玻璃支撑机构上，采用窗口玻璃侧面校垂机构和窗口玻璃水平旋转机构将窗口玻璃侧面空间角度校垂，并调整至与自动抛光机构垂直，通过自动抛光机构上抛光毛毡的旋转及往复运动，毛毡对异形窗口玻璃侧面进行高精度余量去除，实现对窗口玻璃的抛光。本发明具有结构简单、抛光方法简便、抛光效率高、抛光速度均匀、去除量均匀、适应性强、空间角度快速校垂等特点。
一种用于尺寸空间角度窗口玻璃侧面抛光装置方法

[发明专利]精密型混合稀土抛光粉及其制备方法-CN201110285482.6有效
发明人：杨筱琼;赵月昌;郝祥;赵秀娟;李冉;李雪云 -专利权人：上海华明高纳稀土新材料有限公司
申请日： 2011-09-23 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种精密型混合稀土抛光粉及其制备方法，所述混合稀土抛光粉是由晶型为氟氧化物稀土与立方相稀土氧化物组成的均一固溶体；与现在的产品相比，通过球磨粉碎及均化助剂的添加使得碳酸稀土前躯体的晶粒尺寸均匀，氟化反应均匀完全，不产生影响抛光精度及速率的游离态氟离子及氟化物，结晶度高；产品抛光粉的耐磨性好，抛光速率快，抛光精度容易控制；产品的均一性好，生产效率高，成本低、无污染，适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密器件的表面抛光加工
精密混合稀土抛光及其制备方法