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- [发明专利]一种晶圆内部微裂纹检测装置及检测方法-CN202111505456.X在审
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李柠
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浙江大学杭州国际科创中心
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2021-12-10
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2022-04-29
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H01L21/66
- 本发明属于晶圆缺陷检测领域,公开了一种晶圆内部微裂纹检测装置及检测方法,包括基座,基座中间具有固定座,固定座上安装有晶圆夹持机构,晶圆装夹在所述晶圆夹持机构上,基座左右两边固定安装有水平直线位移平台,水平直线位移平台上安装有立座,立座上具有竖直直线位移平台,测试单元安装在所述竖直直线位移平台上,测试单元用于对晶圆的两面的检测部位进行微裂纹检测。本发明的晶圆内部微裂纹检测装置检测范围从大到小层层检测,提高了检测效率和检测精度。本发明的设计的晶圆夹持机构利用可控磁性原理缓慢将晶圆夹住,避免了刚性压紧造成的晶圆破碎的问题。通过本装置对晶圆内部微裂纹进行检测,提升了芯片产品良品率,降低了不良品比例。
- 一种内部裂纹检测装置方法
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