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- [发明专利]同轴宏微复合直线运动平台装置-CN201210055122.1有效
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李克天;陈新;陈新度;刘强
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广东工业大学
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2012-03-05
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2012-07-04
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B23Q1/26
- 本发明公开了一种同轴宏微复合直线运动平台装置,该装置的宏动平台采用气浮导轨导向,直线电机驱动,光栅尺检测位置精度;宏动平台带动微动平台;微动平台由整体金属板切割加工出四周框架、内部的微动平台和起连接以及导向作用的柔性铰链,框架固定在宏动平台上;微动平台和宏动平台之间通过气浮消除摩擦阻力;微动平台和宏动平台的运动方向同轴;微动平台通过柔性铰链与框架实体连接;柔性铰链对称分布,通过材料的微量弹性弯曲变形,确保微动平台的导向和移动,压电陶瓷驱动器或音圈电机提供微动平台移动的动力,微动传感器感应微动平台的位移,从而实现微动平台的高精度位移和定位。
- 同轴复合直线运动平台装置
- [实用新型]一种同轴宏微复合直线运动平台装置-CN201220078459.X有效
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李克天;陈新;陈新度;刘强
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广东工业大学
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2012-03-05
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2012-09-19
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B23Q1/38
- 本实用新型公开了一种同轴宏微复合直线运动平台装置,该装置的宏动平台采用气浮导轨导向,直线电机驱动,光栅尺检测位置精度;宏动平台带动微动平台;微动平台由整体金属板切割加工出四周框架、内部的微动平台和起连接以及导向作用的柔性铰链,框架固定在宏动平台上;微动平台和宏动平台之间通过气浮消除摩擦阻力;微动平台和宏动平台的运动方向同轴;微动平台通过柔性铰链与框架实体连接;柔性铰链对称分布,通过材料的微量弹性弯曲变形,确保微动平台的导向和移动,压电陶瓷驱动器或音圈电机提供微动平台移动的动力,微动传感器感应微动平台的位移,从而实现微动平台的高精度位移和定位。
- 一种同轴复合直线运动平台装置
- [实用新型]一种电化学加工装置-CN201620838641.9有效
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钟博文
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苏州大学
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2016-08-04
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2017-05-31
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B23H3/00
- 本实用新型涉及一种电化学加工装置,包括底座、电解槽以及朝向电解槽的加工电极;所述底座上设有驱动所述电解槽X向运动的X向运动平台和Y向运动的Y向运动平台,以及驱动所述加工电极Z向运动的Z向运动平台,所述Z向运动平台上连接有驱动所述加工电极三自由度微动的微动平台,所述微动平台包括与所述Z向运动平台连接的X向微动平台、与所述X向微动平台连接的Y向微动平台,以及与所述Y向微动平台连接的Z向微动平台,所述X向微动平台、Y向微动平台与Z向微动平台均包括台体和设置在台体内的动台体,所述动台体的各外侧壁与所述台体的各内侧壁之间均连接有柔性铰链,所述台体上连接有驱动所述动台体直线微动的压电陶瓷。
- 一种电化学加工装置
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