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[发明专利]六氟化硫气体泄漏带电检测采样装置及采样方法-CN201710749975.8在审
发明人：唐彬;陈梁远;郭丽娟;韩方源;张玉波 -专利权人：广西电网有限责任公司电力科学研究院
申请日： 2017-08-28 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： G01N1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种六氟化硫气体泄漏带电检测采样装置，包括有采样探头、样品传输管、真空腔，采样探头通过样品传输管与真空腔相连接。本发明提供一种六氟化硫气体泄漏带电检测采样装置，该装置能对带电运行的六氟化硫电气设备进行气体泄漏检测的采样，其利用真空腔与采样探头之间的压力差，通过样品传输管实现空气样品在低流量条件下的采集和传输，有效地提高了空气样品的传输速度本发明还提供一种六氟化硫气体样品带电检测采样的方法，该方法使用本发明提供的六氟化硫气体泄漏带电检测采样装置，该方法步骤简单，可实现六氟化硫气体样品的带电采样。
六氟化硫气体泄漏带电检测采样装置方法

[实用新型]一种电喷雾离子化源-CN202122895060.2有效
发明人：陈创;杨其穆;徐一仟;蒋丹丹;李海洋 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2021-11-24 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种电喷雾离子化源。电喷雾离子化源中，毛细管喷雾针同轴放置于内部通有高流速气体的气流微孔道中并进行密封固定，构建鞘流气辅助电喷雾，产生稳定的电喷雾离子流；同时，气流微孔道中高流速气体还对毛细管喷雾针的喷雾尖端进行冷却，避免因高温气氛蒸发毛细管喷雾针中喷雾溶液而产生电喷雾停喷现象的发生；毛细管喷雾针产生的带电雾化小液滴，被进一步引入高强度直流极化电场中进行二次极化电离，带电雾化小液滴碎裂成尺寸更小、带电荷数量更多的带电雾化微小液滴，使其更容易实现完全去溶剂化，同时提升目标样品的离子化效率本实用新型所公开电喷雾离子化源具有喷雾稳定、耐受高温气氛、离子化效率高等优势。
一种喷雾离子化

[发明专利]自动试样片制作装置-CN201510542307.9有效
发明人：富松聪;佐藤诚;山本洋 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体供给部，直到试样片移设单元与试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。
自动试样制作装置

[发明专利]离子发生装置-CN200680054739.4无效
发明人：五十岚司 -专利权人：株式会社小金井
申请日： 2006-06-28 - 公布日： 2009-06-03 - 主分类号： H05F3/06 文献下载
摘要：一种离子发生装置，能产生没有异物混入的清洁的离子化气体并涂布于被处理物上。在设置有由氧化钛形成的覆盖层(14)的受光体(11a)上照射来自紫外线发生源(15)的紫外线，将受光体(11a)的周围的空气电离成正的带电粒子和负的带电粒子。在具有电离了的空气的空间内通过电极(17)形成电场而将带电粒子离子化。通过鼓风机(20)将离子化了的带电粒子喷射到被处理物(W)上。
离子发生装置

[发明专利]碳纳米材料的制备装置-CN202211304696.8在审
发明人：孙亚萍;伍权;王兵兵;梁占伟;乔加飞;付鹏;刘秋生;邓杰文 -专利权人：国家能源集团新能源技术研究院有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C01B32/15 文献下载
摘要：本发明涉及碳纳米材料制备领域，公开了一种碳纳米材料的制备装置，其中，所述制备装置包括热解反应炉(9)、设置在连通于所述热解反应炉(9)的反应区的热解气体流动通道中的电离组件，所述电离组件能够对热解气体放电以产生带电离子通过上述技术方案，在热解气体进入到反应区之前，通过电离组件对热解气体进行放电处理，使得热解气体产生带电离子，提高热解气体所携带的能量，从而提高热解反应的转化率，提高产率。
纳米材料制备装置

[发明专利]中子捕获治疗系统-CN202210059774.6在审
发明人：徐浩磊;刘渊豪;卢威骅 -专利权人：中硼（厦门）医疗器械有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本发明的中子捕获治疗系统，包括带电粒子束生成部、射束传输部和中子束生成部，带电粒子束生成部产生带电粒子束，射束传输部将带电粒子束传输至中子束生成部，中子束生成部产生治疗用中子束，带电粒子束生成部包括离子源和加速器，离子源用于产生带电粒子，加速器对离子源产生的带电粒子加速以获得所需能量的带电粒子束，加速器包括提供加速能量的加速器高压电源，加速器高压电源内设置绝缘气体。
中子捕获治疗系统

[实用新型]中子捕获治疗系统-CN202220140856.9有效
发明人：徐浩磊;刘渊豪;卢威骅 -专利权人：中硼（厦门）医疗器械有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本实用新型的中子捕获治疗系统，包括带电粒子束生成部、射束传输部和中子束生成部，带电粒子束生成部产生带电粒子束，射束传输部将带电粒子束传输至中子束生成部，中子束生成部产生治疗用中子束，带电粒子束生成部包括离子源和加速器，离子源用于产生带电粒子，加速器对离子源产生的带电粒子加速以获得所需能量的带电粒子束，加速器包括提供加速能量的加速器高压电源，加速器高压电源内设置绝缘气体。
中子捕获治疗系统

[发明专利]用于美容的臭氧气体发生装置-CN02803401.5无效
发明人：赵振国 -专利权人：利丰电业(集团)有限公司
申请日： 2002-06-13 - 公布日： 2004-03-17 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：一种用于皮肤美容的臭氧气体发生装置，该装置包括一个装有气体的密闭容器(1)，和用于提供容器电位差的装置(9)，因而可使气体带电荷，将容器放置在使用者皮肤的附近，由此通过产生在容器和皮肤之间跳跃的电火花引起带电气体放电，电火花在皮肤附近产生臭氧气体，其中该装置另外包括一个用于保护容器免受破损的防护装置(1a)，该防护装置上带有小孔，以允许容器向使用者皮肤放电。
用于美容臭氧气体发生装置

[发明专利]多层平板结构高场非对称波形离子迁移谱仪-CN200910086487.9有效
发明人：王晓浩;唐飞;李华 -专利权人：清华大学
申请日： 2009-06-16 - 公布日： 2009-11-04 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：多层平板结构高场非对称波形离子迁移谱仪，属于对生化物质进行现场分析检测设备。该迁移谱仪由上基片、中间基片和下基片构成第一气体通道和第二气体通道。离子源位于第一气体通道，分离电极由上分离电极和下分离电极组成，上分离电极和下分离电极分别位于上基片和下基片上。在分离电场的作用下，带电样品离子进入第二气体通道，并在纯净载气的作用下进入迁移区进行过滤分离。离子源和迁移区中的载气流速可分别通过样品载气和纯净载气进行调节。本发明将中性分子和带电的样品离子在进入迁移区之前进行分离，避免了迁移区中分子离子反应的发生；离子源和迁移区中的载气流速可分别调节，提高了离子源的电离效率和迁移区的离子分离效果。
多层平板结构高场非对称波形离子迁移

[发明专利]半导体衬底上二氧化硅介质层的形成方法-CN201510514529.X在审
发明人：钟飞;王科;韩晓刚;陈建维;倪立华 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2015-08-20 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体衬底上介质层的形成方法，包括：将半导体器件衬底置于等离子体增强化学气相沉积工艺腔中，然后通入反应气体SiH₄和N₂O，通过辉光放电产生Si⁴⁺、H⁺、O^2-、N^-等离子体；这些等离子体发生反应，并且在半导体器件衬底上沉积形成SiO₂介质层；停止辉光放电，对半导体器件衬底进行N₂O吹扫，从而使残留的SiH₄充分反应掉；对半导体器件衬底进行惰性气体吹扫，去除带电荷的N₂O和SiH₄反应气体、反应过程中残留的带电分子、以及半导体器件衬底表面吸附的带电分子；将半导体器件衬底取出；本发明避免了半导体器件衬底表面的带电分子聚集缺陷。
半导体衬底二氧化硅介质形成方法

[发明专利]一种电喷雾离子化源及应用-CN202111402695.2在审
发明人：陈创;杨其穆;徐一仟;蒋丹丹;李海洋 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2021-11-24 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：本发明提供一种用于离子迁移谱的电喷雾离子化源。电喷雾离子化源中，毛细管喷雾针同轴放置于内部通有高流速气体的气流微孔道中并进行密封固定，构建鞘流气辅助电喷雾，产生稳定的电喷雾离子流；同时，气流微孔道中高流速气体还对毛细管喷雾针的喷雾尖端进行冷却，避免因高温气氛蒸发毛细管喷雾针中喷雾溶液而产生电喷雾停喷现象的发生；毛细管喷雾针产生的带电雾化小液滴，被进一步引入高强度直流极化电场中进行二次极化电离，带电雾化小液滴碎裂成尺寸更小、带电荷数量更多的带电雾化微小液滴，使其更容易实现完全去溶剂化，同时提升目标样品的离子化效率本发明所公开电喷雾离子化源将鞘流气辅助电喷雾和强电场极化电离两种技术相结合，具有喷雾稳定、耐受高温气氛、离子化效率高等优势，适用于液相色谱与离子迁移谱的联用。
一种喷雾离子化应用

[实用新型]带电测试电气设备中六氟化硫气体湿度的接口装置-CN201120238875.7有效
发明人：韩新华;李波 -专利权人：山东电力集团公司滨州供电公司
申请日： 2011-06-28 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： G01N1/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种带电测试电气设备中六氟化硫气体湿度的接口装置，它有接头，接头中部有顶头，顶头通过支撑杆固定在接头上，接头与截止阀进端安装在一起，截止阀出端上有出管。这种接口装置，可实现带电测试六氟化硫气体的湿度，使用方便、安全，可有效防止逆止阀出现故障后气体发生泄漏。可自由选择测试时机，使其符合测试周期的要求，解决了利用六氟化硫气体进行绝缘的电气设备在运行过程中不能进行跟踪检测的难题。提高了检测结果的准确性，为状态检修提供了及时可靠的状态信息。
带电测试电气设备六氟化硫气体湿度接口装置

[发明专利]带电粒子束装置-CN201910886762.9在审
发明人：大庭弘;杉山安彦;大塚靖孝 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2019-09-19 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供带电粒子束装置。简便地计算引出电压的设定值。带电粒子束装置具有：气体导入室，其被导入原料气体；等离子体生成室，其与气体导入室连接；线圈，其沿着等离子体生成室的外周卷绕，被施加高频电力；引出电极，其对从等离子体生成室的出口的等离子体开口流出的等离子体施加引出电压；电流测定部，其测定从等离子体开口引出的等离子体的等离子体电流的大小；引出电压计算部，其根据相对于引出电压的变化的由电流测定部测定的等离子体电流的大小的变化，计算引出电压的设定值即引出电压设定值；以及控制部
带电粒子束装置

[发明专利]ICP离子源中不同处理气体之间快速切换的方法和结构-CN201210240654.2有效
发明人： A.格劳佩拉;S.克罗格;M.W.乌特劳特;N.W.帕克 -专利权人： FEI公司
申请日： 2012-07-12 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明涉及电感耦合等离子体（ICP）离子源中不同处理气体之间快速切换的方法和结构。可打开的气体通道实现在带电粒子束系统中的电感耦合等离子体源中的处理气体或热烘气体的快速泵出。阀，通常定位在源电极中或形成为气体入口的一部分，在打开以泵空等离子体腔时增加气体流导并且在操作等离子体源期间关闭。
icp 离子源不同处理气体之间快速切换方法结构

[发明专利]用于等离子体处理的装置和方法-CN201080035257.0有效
发明人： S·E·萨瓦斯;C·盖尔维斯基;A·B·威斯诺斯基;S·曼特里普拉加达;S·约 -专利权人：普拉斯玛斯公司
申请日： 2010-07-08 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： C23F1/00 文献下载
摘要：用于基于等离子体的处理的装置和方法，很好地适合于半导体、导体或绝缘膜的沉积、刻蚀或处理。等离子体生成单元包括衬底的处理侧的一个或多个伸长的电极以及贴近衬底的相对侧的中性电极。气体可以贴近带电电极而注入，其电学上击穿并且产生流向衬底区域的激活的组分。然后，该气体流入在带电电极与衬底之间的延伸的处理区，以高速率提供与衬底的受控和连续的反应性，其中有效地利用了反应物给料。气体经由在一个或多个带电电极与分流器之间的通路而被排出。
用于等离子体处理装置方法