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[发明专利]工艺气的密封系统与密封工艺气的处理方法-CN201610245001.1有效
发明人：贾瑞宝;薛振欣;李雪冰;解静;杨世新;徐驰 -专利权人：中国神华能源股份有限公司;神华包头煤化工有限责任公司;中国神华煤制油化工有限公司
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： F04B39/16 文献下载
摘要：本申请提供了一种工艺气的密封系统与密封工艺气的处理方法。该密封系统包括工艺气源设备、除液设备与密封设备。其中，工艺气源设备包括源出口，用于提供密封工艺气；除液设备包括除液入口与除液出口，除液入口通过第一工艺气输送线路与工艺气源设备相连接；密封设备通过第三工艺气输送线路与除液设备相连接。该工艺气密封系统在工艺气源设备与密封设备之间设置除液设备，将工艺气中的液体去除，防止进入密封系统的工艺气中夹带液体，进而避免了密封设备中的动静环发生液击现象，保证了密封系统的安全运行。
工艺密封系统处理方法

[发明专利]一种排水采气工艺优选方法及系统-CN202110440143.4在审
发明人：周朝;何祖清;刘欢乐;范杰;何同;吴俊霞;王烁龙 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油工程技术研究院
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种排水采气工艺优选方法及系统，属于油气田采气技术领域。所述方法根据井口压力和外输压力，以及全井筒临界携液进行判断，确定是否选用无补能排水采气工艺；如果选用无补能排水采气工艺，则根据适用性初选无补能排水采气工艺，并根据气井流入动态曲线和每种无补能排水采气工艺的工作曲线确定每种无补能排水采气工艺的压力适用界限和携液适用界限，最终根据每种无补能排水采气工艺的压力适用界限和携液适用界限获得优选的无补能排水采气工艺。利用本发明克服了目前排水采气工艺选择方法考虑因素欠缺，无法定量优选的不足，提高了排水采气工艺有效性，有效指导现场气井排水采气工艺选取和工艺介入时机。
一种排水工艺优选方法系统

[发明专利]工艺气中炭黑含量的测定方法-CN201410523002.9有效
发明人：赵灵春;包福娥;刘尚清 -专利权人：中国神华能源股份有限公司;神华包头煤化工有限责任公司;中国神华煤制油化工有限公司
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： G01N5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种工艺气中炭黑含量的测定方法。该测定方法包括以下步骤取含有炭黑的工艺气，形成待测工艺气；将待测工艺气通入炭黑吸附液中，得到炭黑富集液和不含炭黑的潮湿工艺气；获取炭黑富集液中的炭黑，并称量干燥炭黑的重量；计算干燥炭黑的重量与待测工艺气体积之间的比值，获取工艺气中炭黑的含量。通过将炭黑捕集到炭黑吸附液中实现待测工艺气中炭黑与工艺气的分离，然后采用重量法来测定工艺气中炭黑的含量，这种测量方法引入的相对误差也较小，测得的工艺气中炭黑的含量相对更准确，从而能够对炭黑的含量进行实时监控，避免对后续工艺生产造成影响。
工艺炭黑含量测定方法

[发明专利]半导体工艺设备的进气装置及半导体工艺设备-CN202011050820.3有效
发明人：赵庆峰;王晓飞 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺设备的进气装置及半导体工艺设备，其中，半导体工艺设备的进气装置包括第一进气组件和第二进气组件，第一进气组件设置在半导体工艺设备的工艺腔室的进气端，包括第一进气部件和与第一进气部件连通的第一进气管，第二进气组件包括第二进气部件和与第二进气部件连通的第二进气管，第一进气管和第二进气管分别用于通过第一进气部件和第二进气部件向工艺腔室内输送工艺气体，且第二进气管穿过第一进气部件与第二进气部件连通。本发明提供的半导体工艺设备的进气装置及半导体工艺设备，能够提高工艺气体的进气量，以提高输送工艺气体的能力，从而提高晶片上薄膜的均匀性，提高产品良率，改善工艺效果。
半导体工艺设备装置

[发明专利]用于气化炉在线倒炉切换的并气系统及并气方法-CN202310005775.7在审
发明人：卢利飞;张金龙;邬隆;张小平;倪昂;雷聪;张延斌 -专利权人：中国神华煤制油化工有限公司;国能榆林化工有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C10J3/48 文献下载
摘要：提供用于气化炉在线倒炉切换的并气系统，包括通过管线依次连接的工艺气冷却器、分离器和压缩单元；工艺气冷却器连接至拟并线气化炉的工艺气出口，用于对来自拟并线气化炉的工艺气进行冷却，得到工艺冷凝液和工艺冷却气；分离器连接至工艺气冷却器的物料出口，用于对工艺冷凝液和工艺冷却气进行分离；压缩单元连接至分离器的气相出口，用于对来自分离器的工艺冷却气进行做功提压，以提压至操作压力后将其并入生产系统中。还提供利用前述并气系统的并气方法。该并气系统及并气方法能够缩短气化炉在线倒炉切换的时间，减少气化炉在线倒炉切换过程中合成气的放空时间和放空量。
用于气化在线切换系统方法

[实用新型]一种低温甲醇洗工艺气余压发电系统-CN202123426360.2有效
发明人：陈一峰;李锋辉;戴军;林钢 -专利权人：上海慕帆动力科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： F01D15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低温甲醇洗工艺气余压发电系统，包括设于工艺气输出管道内的余压发电装置，余压发电装置包括沿工艺气流向顺序设置的前导流罩、透平和电机，透平的输出端和电机的输入端连接。透平的静叶与工艺气输出管道的内壁连接，前导流罩与工艺气输出管道的内壁连接，用于将工艺气导流至静叶。本实用新型提供的低温甲醇洗工艺气余压发电系统，利用低温甲醇洗工艺气的余压发电，有效利用了工艺气的余压能量。同时，余压发电装置增设在工艺气输出管路内，能够有效额外占用空间，且当在现有低温甲醇洗工艺系统中增设本实用新型时，只需对工艺气输出管路拆除部分进行加装，无需对其他设备改动。
一种低温甲醇工艺气余压发电系统

[发明专利]工艺腔室的进气组件、进气装置及半导体加工设备-CN202110093628.0有效
发明人：李世凯 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种半导体工艺设备中工艺腔室的进气组件、进气装置及半导体加工设备，该进气组件用于将工艺气体输送至与工艺腔室连通的进气管中，进气组件中沿进气方向依次设置有多个混气腔，任意相邻的两个混气腔互相连通，进气组件包括进气接头，该进气接头与位于进气方向最上游的混气腔连通，位于进气方向最下游的混气腔与进气管连通。本发明实施例提供的半导体工艺设备中工艺腔室的进气组件、进气装置及半导体加工设备，可以对工艺气体进行充分混合和匀气，从而不仅可以提高工艺气体的组分分布均匀性，而且还可以减小进气管不同区域之间的气流速度差异，从而可以提高工艺稳定性。
工艺组件装置半导体加工设备

[实用新型]采用SSP工艺废气作为气提介质的PET装置-CN201420056099.2有效
发明人：周华堂;曾文兵;许贤文;顾爱军;李利军;李博鑫;谢林;张宇航 -专利权人：中国昆仑工程公司;中国纺织工业设计院
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： B01D3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种采用SSP工艺废气作为气提介质的PET装置，包括工艺塔、气提塔和SSP装置，所述工艺塔塔顶的酯化水出口通过管道连接所述气提塔顶部的液相入口，所述气提塔的塔釜上的气提水出口通过回流管道连接所述工艺塔的回流入口，所述SSP装置的工艺废气出口与所述气提塔的塔釜的气提介质入口通过管道连接。本实用新型利用SSP装置高温工艺废气作为气提塔的气提介质，有效避免SSP装置的高温工艺废气对环境的影响，还能够有效利用SSP装置的高温工艺废气为气提塔提供热能，提升气提效果。采用SSP工艺废气替代蒸汽或压缩空气作为气提介质，可节约能源。SSP工艺废气中的乙醛随气提尾气送热煤炉焚烧，回收有机污染物的燃烧热值，提高经济效益。
采用 ssp 工艺废气作为介质 pet 装置

[发明专利]天然气制氨和煤制氨与煤制甲醇的组合净化工艺-CN200710050995.2无效
发明人：罗庆洪 -专利权人：罗庆洪
申请日： 2007-12-26 - 公布日： 2008-07-09 - 主分类号： C01B3/50 文献下载
摘要：本发明天然气制氨和煤制氨与煤制甲醇的组合净化工艺属于用于天然气制氨和煤制氨及煤制甲醇的合成气净化技术领域。在煤制甲醇和煤制氨工艺气的低温甲醇净化系统中，把煤制气经过变换工段的工艺分别气通入煤制甲醇和煤制氨工艺气洗涤塔底部，同时将－64℃左右的新鲜甲醇溶液仅对煤制甲醇工艺气进行洗涤；从煤制甲醇工艺气洗涤塔取出半贫液洗涤煤制氨工艺气；从煤制氨工艺气洗涤塔中取出用于合成氨的H₂+CO₂混合气体通入现有天然气制氨工艺净化系统的脱CO₂净化装置，合用现有天然气制氨的后续工艺制备氨优点：把天然气制氨、煤制氨、煤制甲醇三个独立工艺优化合并，简化系统、节省能耗，减少设备数量和投资。
天然气煤制氨甲醇组合净化工艺

[发明专利]一种利用低阶煤中挥发分制备甲醇的方法-CN201910089171.9在审
发明人：薛安克;王建中;王再富;俞天明;吕彬峰 -专利权人：浙江天禄环境科技有限公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： C07C29/151 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用低阶煤中挥发分制备甲醇的方法，低阶煤依次通过烘干工艺和气化还原工艺处理得到富气，富气通过净化工艺得到净化后的富气，气化还原工艺是在无氧或微氧条件下对烘干后的低阶煤进行加热的化学反应工艺；净化后的富气依次通过粗脱硫工艺、第一压缩工艺和精脱硫工艺处理得到重整转化原料气；重整转化原料气通过重整转化工艺处理得到重整转化气；重整转化气通过脱碳补碳、变换转化和补氢工艺中的一种或几种得到氢碳比R值为2.05～2.1的甲醇合成气；甲醇合成气通过第二压缩工艺、甲醇合成工艺得到粗甲醇和甲醇驰放气，粗甲醇通过甲醇精馏工艺得到产品甲醇。
低阶煤重整富气甲醇挥发制备甲醇合成气还原工艺粗甲醇原料气转化气转化烘干气化净化化学反应工艺甲醇合成工艺甲醇驰放气精脱硫工艺生产成本低产品甲醇工艺处理脱硫工艺微氧条件压缩氢碳比有效地补碳精馏脱碳无氧加热

[实用新型]一种用于干气密封的过滤装置-CN201620774486.9有效
发明人：黄延兵;刘杰 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司湖北化肥分公司
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： F04D29/70 文献下载
摘要：其包括至少两个并列式连接的金属过滤器，金属过滤器具有工艺气入口和工艺气出口；与工艺气入口选择性连通的工艺气输入管线；与工艺气出口选择性连通的工艺气输出管线。该过滤装置可以设置在压缩机的干气密封的上游，以为压缩机提供过滤过的工艺气，从而保证压缩机组的长期稳定运行。
一种用于密封过滤装置

[发明专利]用于沉积III-V主族半导体层的方法和装置-CN201610190479.9有效
发明人： F·拉达伊威特;M·德费尔;M·科尔伯格 -专利权人：艾克斯特朗欧洲公司
申请日： 2016-02-02 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及沉积III‑V主族半导体层的装置，所述装置具有工艺腔(1)、构成工艺腔底部的、用于容纳一个或多个待镀基片的基座(2)、用于将基座加热到工艺温度的加热装置(3)以及进气机构(4)，所述进气机构具有用来将氢化物和金属有机化合物引入工艺腔中的至少一个第一和第二工艺气入口区建议腐蚀气入口(9)沿氢化物和金属有机化合物的流动方向(23)在工艺气入口区下游通入工艺腔中，其中设置控制装置并布置工艺气入口区和腐蚀气入口，使得从工艺气入口区流出的工艺气在沉积半导体层时不进入腐蚀气入口，并且净化工艺腔时从腐蚀气入口流出的腐蚀气不进入工艺气入口区。腐蚀气入口由进气机构周围的工艺气腔盖环形区和用来固定盖板的环形固定元件构成。
用于沉积 iii 半导体方法装置

[发明专利]半导体加工设备中气路控制的方法及系统-CN201310722602.3在审
发明人：兰芳 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-12-24 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：其中方法包括判断工艺表单中每一气路在不同步骤中的非零气路流量值是否相同；当非零气路流量值不同时，在每一工艺步骤中，根据工艺表单中的每一气路的气路流量值对所有气路的气路流量进行异步设置，并当气路流量稳定后执行相应的工艺步骤，直至完成所有工艺步骤；当非零气路流量值相同时，对所有气路的气路流量值进行异步设置，并在每一工艺步骤中，根据工艺表单中的气路流量值是否为零打开或关闭气路与工艺腔室之间的阀门；气路流量稳定后执行相应的工艺步骤，直至完成所有工艺步骤。本发明实现气路控制方式的智能选择，缩短气路流量设置时间，提高生产效率。
半导体加工设备中气控制方法系统

[发明专利]半导体设备制造中控制气体输入的方法及系统-CN201310214105.2有效
发明人：王晶;付金生;马平 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：其方法包括根据半导体设备制造工艺任务中的工艺表单中每路气路预设气路流量值，循环检测出在前一次工艺步骤中前次气路流量值不为0，且本次工艺步骤中气路流量值相对于前一次工艺步骤中前次气路流量值发生变化的气路；关闭设置后气路流量值为0的气路，并在预设时间t内将腔室中的气体排出；根据所述预设气路流量值，设置本次工艺步骤中其余气路流量发生变化的气路的气路流量值。其减少了前一次工艺步骤的残余气体对本工艺步骤工艺结果的影响；通过循环检查的方式对有流量变化的气路进行流量设置，提高了气路设置的效率。
半导体设备制造控制气体输入方法系统

[实用新型]一种电子级四氟化碳工艺气及成品气分析管路系统-CN202223023667.2有效
发明人：孙朝阳;侯玲玲;岳成君 -专利权人：昊华气体有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子级四氟化碳工艺气及成品气分析管路系统，包括(1)工艺气分析系统、(2)成品气分析系统、(3)查核样系统、(4)载气纯化系统、(5)驱动气系统、(6)分析尾气回收系统，其中：(1)工艺气分析系统包括：工艺气相色谱分析系统、工艺气体抽空系统；(2)成品气分析系统包括：成品气相色谱分析系统、成品水分分析系统、成品气体抽空系统。该分析管路系统能够实现一套设备快速分析电子级四氟化碳工艺体及成品气体中各个组分含量。
一种电子氟化工艺成品分析管路系统

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