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[发明专利]工件的研磨装置-CN201480026546.2有效
发明人：桥本浩昌;佐佐木正直 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2014-04-10 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： B24B37/32 文献下载
摘要：本发明是一种工件的研磨装置，其具备用于研磨工件的研磨布、用于供给研磨剂的研磨剂供给机构，以及用于保持工件的研磨头，该研磨头通过背部衬垫来保持所述工件的背面，并通过环状的模板来保持所述工件的边缘部，且将工件和模板推压至研磨布上，由此来使工件在研磨布上作滑动接触，来研磨工件，该工件的研磨装置的特征在于，模板是由添加有填料的树脂或含有织布的树脂所构成，在推压研磨布的推压面上露出填料或织布，由此来使该推压面具有细微的凹部。由此，提供一种工件的研磨装置，能够使工件外周部的研磨速度稳定，高平坦度地研磨工件。
工件研磨装置

[发明专利]用于研磨的工件保持盘及工件研磨装置及研磨方法-CN02819209.5无效
发明人：桝村寿;铃木文夫;北川幸司 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2002-09-27 - 公布日： 2005-01-05 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提供工件保持盘，具有用于保持工件的一主面、将另一主面镜面研磨的工件保持盘本体，在前述工件保持盘的工件保持面形成微小的孔。本发明的工件研磨装置，具备具有将工件真空吸附保持的贯通孔的工件保持盘本体的用于研磨的工件保持盘，该工件研磨装置具备覆盖前述保持面的树脂的热膨胀系数是3×10^－5/K以下的用于研磨的工件保持盘、及本发明用于研磨的工件保持盘；本发明的工件研磨方法，用于研磨的工件保持盘的保持面上覆盖热膨胀系数是3×10^－5/K以下的树脂，通过将该保持面的工件的背面真空吸附保持，接着将该工件与研磨布接触来将工件的表面研磨由此提供毫微表面状态等级的凹凸不发生地研磨晶片的研磨装置及研磨方法、及工件保持盘。
用于研磨工件保持装置方法

[实用新型]工件研磨机-CN202121669032.2有效
发明人：杨仕飞 -专利权人：广州创芯旗自动化控制设备有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： B24B19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工件研磨机，其包括工件定位头、研磨机构和工件进给机构，工件定位头上两相对侧面中的一者设有工件定位区，工件定位区的底面为供工件定位的定位基准面，工件定位头上两相对侧面中的另一者设有加工研磨区，工件定位区与加工研磨区之间贯穿有研磨通孔，工件进给机构用于抓取工件到工件定位区处并顶推工件，以使工件的加工端面抵在定位基准面，研磨机构对工件的加工端面露出于研磨通孔的部分进行研磨加工。本实用新型的工件研磨机能确保工件的连接区域符合尺寸公差要求。
工件研磨机

[发明专利]在工件的研磨后使研磨头上升的方法、研磨装置及计算机可读取的记录介质-CN202211633440.1在审
发明人：加藤裕一;锅谷治 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明提供一种在工件的研磨后使研磨头上升的方法、研磨装置及计算机可读取的记录介质，在工件的研磨结束后使研磨头从研磨垫上升时，能够防止工件因与保持环的接触而弯曲，能够防止在工件产生过度的应力。本方法一边使研磨头(7)及研磨垫(2)旋转一边将工件(W)压靠于研磨垫(2)而对该工件(W)进行研磨，使研磨垫(2)及研磨头(7)的旋转停止，使研磨头(7)的保持环(48)相对于工件(W)相对地上升，由此使保持环(48)从研磨垫(2)分离，并且使保持环(48)移动到比工件(W)高的位置，然后在工件(W)保持于研磨头(7)的状态下使研磨头(7)上升。
工件研磨上升方法装置计算机读取记录介质

[发明专利]一种软脆材料柔性研磨装置-CN202111657418.6在审
发明人：牛瑞坤;王欢涛;吴钟鸣;吴冠奇;王赠瑞 -专利权人：金陵科技学院
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明提供一种软脆材料柔性研磨装置，包括研磨盘和工件固定装置；研磨盘上设置有研磨垫，研磨盘和研磨垫可转动；工件固定装置设置在研磨盘上方，用于夹持待研磨工件，待研磨工件在工件固定装置的带动下进行自转；待研磨工件下端与研磨垫接触，在转动的过程中与研磨垫产生相对摩擦，以实现研磨的作用；工件固定装置包括连接体、液囊和夹持机构，液囊的待研磨工件接触；连接体上方固定设置有振动杆，振动杆上设置有压电陶瓷，压电陶瓷径向振动。本发明可实现对软脆材料高效和高质量的研磨，提高了研磨后工件表面质量，进而实现工件的高效精密加工，同时本发明结构简单，操作方便，便于使用，实用性强。
一种材料柔性研磨装置

[发明专利]工件研磨方法和工件研磨装置-CN201510111674.3有效
发明人：澁谷和孝;中村由夫 -专利权人：不二越机械工业株式会社
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明提供一种工件研磨方法和工件研磨装置。本发明的方法能够以高研磨效率研磨高硬度工件。该方法包括如下步骤：将工件的表面压在转动研磨板的研磨部上；以及在执行该加压步骤时供给研磨液。该方法的特征在于，将通过气体放电而已经被活性化的活性化气体转变成气泡并混入研磨液中。
工件研磨方法装置

[发明专利]工件研磨方法和工件研磨装置-CN201810058829.5有效
发明人：澁谷和孝;中村由夫;畝田道雄;石川宪一 -专利权人：不二越机械工业株式会社;学校法人金泽工业大学
申请日： 2018-01-22 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本发明提供工件研磨方法和工件研磨装置，其能够自动制定研磨条件。工件研磨装置具有：修整部，其修整研磨垫的表面；表面性状计测部，其计测研磨垫的表面性状；研磨结果计测部，其计测工件的研磨结果；存储部，其存储通过人工智能来学习如下的相关关系所得到的相关数据，该相关关系为修整条件数据、通过表面性状计测部计测出的研磨垫的表面性状数据、以及对工件进行研磨的情况下的研磨结果数据的相关关系；以及输入部，其输入作为目标的研磨结果，所述人工智能进行如下处理：第1运算处理，根据所述相关数据逆向推断出与作为目标的研磨结果对应的研磨垫的表面性状；和第2运算处理，根据逆向推断出的研磨垫的表面性状导出对应的修整条件。
工件研磨方法装置

[实用新型]一种研磨装置-CN201420471788.X有效
发明人：林中山;张恩;王醒东 -专利权人：富通集团（天津）超导技术应用有限公司
申请日： 2014-08-20 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种研磨装置，其包括：用于夹持待研磨工件的夹具；与夹具相连的底座；可沿待研磨工件的长度方向滑动的设置在底座上的主体；用于夹持研磨工件两个相对面，并在研磨时之间距离不变的上研磨棒和下研磨棒，且上研磨棒和下研磨棒均设置在主体上；用于调节上研磨棒和下研磨棒之间距离的调节装置。工作时，通过夹具将待研磨工件的一端夹住，而待研磨工件的另一端通过上研磨棒和下研磨棒夹持，并在上研磨棒和下研磨棒的转动过程中实现对待研磨工件的研磨。通过对上研磨棒和下研磨棒之间距离的固定可保证对待研磨工件研磨深度的准确性，从而提高了待研磨工件研磨后的质量。
一种研磨装置

[发明专利]长轴研磨设备-CN202310520637.2在审
发明人：谢晶星 -专利权人：驭准精密机械（上海）有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B24B21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种长轴研磨设备，用于研磨轴类的工件，包含：直线模组；研磨模块，研磨模块包含一对研磨装置，一对研磨装置均设在直线模组上，分别用于工件的精研磨和粗研磨，一对研磨装置经直线模组带动，移动研磨工件；夹紧模块，夹紧模块与一对研磨装置相衔接，夹紧模块夹紧待研磨的工件。本发明结构简单，使用方便，能够对轴类的工件研磨。
研磨设备

[发明专利]一种易碎工件的单面研磨方法和双面研磨方法-CN202310664796.X在审
发明人：王永成 -专利权人：上海致领半导体科技发展有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开一种易碎工件的单面研磨方法和双面研磨方法，涉及研磨工艺技术领域，单面研磨方法：将牺牲件和易碎工件分别固定在单面研磨机的载盘上，并使牺牲件的材质与易碎工件材质相同，牺牲件的厚度大于易碎工件的厚度，再对易碎工件进行研磨；双面研磨方法：将牺牲件和易碎工件分别放置在双面研磨机的游星轮上，并使牺牲件的材质与易碎工件材质相同，牺牲件的顶端高于易碎工件的顶端，再对易碎工件进行研磨。本发明的易碎工件的单面研磨方法和双面研磨方法避免陶瓷件和半导体晶片在研磨加工中发生破碎。
一种易碎工件单面研磨方法双面

[发明专利]多轴自动研磨机-CN201510272527.4有效
发明人：马鸿杰;朱力微;庄绪雷;马毅青;韩洲;班景江 -专利权人：鹰普航空零部件（无锡）有限公司
申请日： 2015-05-25 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： B24B37/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种研磨机，具体的说是一种多轴自动研磨机，属于研磨机技术领域。其包括研磨机床身，研磨机床身左端设工件定位托盘。工件定位托盘上固定工件夹紧组件，工件夹紧组件内设有多个工件夹持腔，每个工件夹持腔内能够夹持一个零件。研磨头的数量与工件夹持腔的数量相同，每个研磨头的轴线上对应设置一个工件夹持腔，每个研磨头对对应设置的工件夹持腔中的工件进行往复研磨。本发明采用了多轴研磨头，能同时对多个零件外圆及内孔进行自动研磨，提高了加工效率，采用了曲轴连杆机构，实现了多轴、径向、轴向自动进行研磨的功能。
自动研磨机

[发明专利]研磨机及研磨方法-CN201510628371.9在审
发明人：今泉知巳 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2015-09-28 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： B23F19/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种研磨机和一种研磨方法。研磨机包括研磨件，该研磨件与工件齿轮啮合并且对工件齿轮进行研磨。研磨件与工件齿轮啮合成使得：在研磨件的齿顶与工件齿轮的齿根面之间存在规定量的间隙，并且，在研磨件的齿根面与工件齿轮的齿顶之间存在规定量的间隙；以及研磨件的有效齿顶定位成比指示工件齿轮的齿形管理直径的曲线更靠近工件齿轮的齿根面
研磨机研磨方法

[发明专利]一种全自动研磨清洗机-CN201810424284.5在审
发明人：王仕初;李建华;韦晓斌 -专利权人：深圳双十科技有限公司
申请日： 2018-05-04 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动研磨清洗机，其特征在于，包括机架、托盘上料机构；第一工件上料机构，第一工件上料机构包括第一工件夹取件以及工件上料机械手；第一研磨机构，第一研磨机构设于第一工件载台上方并用于对第一工件载台上的工件正面进行研磨；工件翻转机构，工件翻转机构设于第一工件载台和第二工件载台之间；第二工件上料机构，第二工件上料机构设于工件翻转机构和第二工件载台之间；第二研磨机构，第二研磨机构设于第二工件载台上方并用于对第二工件载台上的工件反面进行研磨本发明的全自动研磨清洗机，其可完成工件从托盘上料，并实现空托盘的堆叠；且可对工件的两面进行研磨；自动化程序较高。
第一工件上料机构研磨机构工件翻转机构研磨清洗机研磨托盘工件载台上料机械手自动化程序夹取件空托盘堆叠上料载台

[实用新型]一种全自动研磨清洗机-CN201820666364.7有效
发明人：王仕初;李建华;韦晓斌 -专利权人：深圳双十科技有限公司
申请日： 2018-05-04 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动研磨清洗机，其特征在于，包括机架、托盘上料机构；第一工件上料机构，第一工件上料机构包括第一工件夹取件以及工件上料机械手；第一研磨机构，第一研磨机构设于第一工件载台上方并用于对第一工件载台上的工件正面进行研磨；工件翻转机构，工件翻转机构设于第一工件载台和第二工件载台之间；第二工件上料机构，第二工件上料机构设于工件翻转机构和第二工件载台之间；第二研磨机构，第二研磨机构设于第二工件载台上方并用于对第二工件载台上的工件反面进行研磨本实用新型的全自动研磨清洗机，其可完成工件从托盘上料，并实现空托盘的堆叠；且可对工件的两面进行研磨；自动化程序较高。
第一工件上料机构研磨机构工件翻转机构研磨清洗机研磨本实用新型托盘工件载台上料机械手自动化程序夹取件空托盘堆叠上料载台

[发明专利]一种内外径研磨输送装置-CN201811487275.7在审
发明人：王金凤 -专利权人：三之信（天津）自动化设备有限公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种内外径研磨输送装置，在工件横向传送机的下方由右至左依次连接工件投入输送机、外径研磨输送机、内径研磨输送机、工件取出输送机，在工件横向传送机上滑动安装多个气爪，在工件投入输送机的侧壁固装工件投入单元，在外径研磨输送机上、下间隔固装NC外径研磨机投入单元及NC外径研磨机输出单元；在内径研磨输送机上、下间隔固装NC内径研磨机投入单元及NC内径研磨机输出单元，在工件取出输送机上滑动安装工件取出单元，在工件投入输送机、外径研磨输送机、内径研磨输送机上滑动安装工件转运小车。本发明结构设计科学合理，通过几个输送机及转运小车使工件在NC外径研磨机与NC内径研磨机件快速传送，大大提高了生产效率。
研磨输送机研磨机滑动安装固装工件横向输出单元输送装置传送取出结构设计科学机件工件转运取出单元生产效率依次连接转运小车传送机侧壁气爪小车

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