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[发明专利]工件对准装置-CN201280012699.2有效
发明人：麦考林·N·丹尼尔;威廉·T·维弗;查理斯·T·卡尔森 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2012-03-09 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种对准装置，其具有支架；支架上的二轨条，经组态以使工件通过轨条之间；以及指状物，由支架突出一段距离。指状物经组态以配置于用于工件的载具上。工件可以是太阳能电池且可在输送带上通过所述轨条。当工件承载至载具中时，工件对准装置可移动以将工件对准。
工件对准装置

[发明专利]固持工件用的系统和承载器及对准承载器内的工件的方法-CN201380060451.8有效
发明人：威廉·T·维弗;查理斯·T·卡尔森;斯卡特·A·史密斯;麦可·A·贝克;亚隆·P·威波;詹姆斯·D·史瑞斯奈;罗伦斯·R·葛拉维;麦可·C·席梦思 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2013-07-17 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：揭示一种固持工件用的系统和承载器及对准承载器内的工件的方法。揭示一种能够固持一个或一个以上工件的承载器。承载器包含沿着承载器中的每一单元的边定位的可移动突起。此承载器结合独立对准设备使用多步对准过程相对于若干对准销来对准相应单元内的每一工件，以保证单元中的工件的恰当定位。首先，使工件朝所述单元的一侧边移动。一旦工件已相对于此边对准，工件便接着朝邻近正交边移动，以使得工件与单元的两侧边对准。一旦对准，工件便由沿着每一单元的每一侧边定位的突起固持于适当位置。另外，对准销还用以对准相关联的罩幕，进而保证罩幕与工件恰当地对准。
工件系统承载对准方法

[实用新型]工件自动对准装置-CN201120255639.6有效
发明人：王泽;陈浩权;王万雷 -专利权人：大连民族学院
申请日： 2011-07-19 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： B65G47/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工件自动对准装置，其特征在于包括：导轨导轮部分包括：导向导轮和主架；工件纵向推动部分包括：连接杆和连接杆复位弹簧；所述导轮固定在推动导轮架上，推动导轮架固定在主架上，导向导轮固定在主架的侧面该装置省去了操作工人的，大量的将工件推入轨道后发现未对准又拉出重新摆正推入的重复性操作，并且周向导动部分可减小工件在未加此装置时摩擦轨道壁所带来的摩擦力，进而提高生产线工作效率，减少工件加工所需要的时间
工件自动对准装置

[发明专利]基于相对位置测量的对准系统、双工件台系统及测量系统-CN201510551168.6有效
发明人：李运峰 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于相对位置测量的对准系统、双工件台系统及测量系统，其中，基于相对位置测量的对准系统包括主框架、对准传感器、光强信号采集处理模块、反射镜、工件台、位于工件台上的硅片上的对准标记、位置采集模块、及对准操作与管理模块。位置采集模块同时采集从工件台及反射镜获取的位置数据，而所述反射镜位于所述对准传感器上，即，同时采集所述对准传感器与所述工件台的位置数据，通过处理可得到所述工件台相对于所述对准传感器无振动时的相对位置。即，可得到所述对准传感器相对振幅为零时对准标记的对准位置，从而避免了所述对准传感器的震动的影响，提高了对准重复精度。
基于相对位置测量对准系统双工

[实用新型]刚度检测设备及其安装组件-CN202222409920.1有效
发明人：杨鹏;万伟 -专利权人：上海创率复合材料有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01N3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开刚度检测设备及其安装组件，刚度检测设备具有可移动的一压头，安装组件包括一安装座和一对准座。安装座内形成一安装空间，用于容纳待测工件，所述安装座形成与所述安装空间连通的安装口。对准座与安装座可拆卸相连，对准座内形成一对准通道，对准通道通过安装口与安装空间连通，并与待测工件对准，且对准通道适于压头移动穿入，以使所述压头可与所述待测工件对准并接触，以对所述待测工件对准施压。本实用新型公开的刚度检测设备及其安装组件，使得待测工件检测时易于拆装，且能保证检测时，压头能够对待测工件对准施压，有利于压头施压过程的顺利进行。
刚度检测设备及其安装组件

[发明专利]基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法-CN201410085381.8有效
发明人：程依光;朱江平;胡松;赵立新;陈磊;刘俊伯 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2014-03-10 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法。该方法以拼接光栅那作为掩模、工件台对准标记，以莫尔条纹相位信息为掩模-工件台对准偏差的载体，通过多像素点的相位提取直接计算出掩模和基片的对准偏差，从而实现掩模工件台的快速对准。降低了对工件台精度和速度指标的依赖，既保证了对准精度，又提高了对准效率。
基于拼接光栅莫尔条纹相位解调纳米光刻对准方法

[实用新型]可双面对准的透镜加工夹具-CN201520161630.7有效
发明人：甘捷;张为国 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
申请日： 2015-03-19 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： B23Q3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种可双面对准的透镜加工夹具，包括：底板，底板上设置有用于放置并对准待加工的透镜的工件对准凹槽；多个工件定位件，与底板连接，且多个工件定位件沿工件对准凹槽的周向布置，多个工件定位件将透镜夹持在工件对准凹槽中由于采用了上述技术方案，本实用新型可实现透镜的双面加工，降低了换面加工时的对准难度，提高了成品质量和成品率，具有结构简单、成本低、操作方便的特点。
双面对准透镜加工夹具

[发明专利]具有位置对准功能的工件传输装置-CN201310204167.5有效
发明人：周启舟;韩微微;李恺;唐亮 -专利权人：北京中电科电子装备有限公司
申请日： 2013-05-28 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种具有位置对准功能的工件传输装置，涉及半导体加工制造技术领域。该工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置。其中，所述工件传输装置包括设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行位置对准处理的位置对准组件。本发明的技术方案对工件采用传送的方式，另外在传送过程中还可以对工件进行位置对准处理，能够减少工件传递和位置对准处理的时间消耗，提高工件处理效率。
具有位置对准功能工件传输装置

[发明专利]用于半导体处理的掩膜对准系统-CN201380072416.8有效
发明人：亚隆·P·威波;查理斯·T·卡尔森;威廉·T·维弗;克里斯多夫·N·葛兰特 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2015-10-07 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种用于在离子注入掩模与工件之间提供精确且可重复的对准的掩模对准系统。所述系统包含掩模框架，掩模框架具有松散地连接到掩模框架的多个离子注入掩模。掩模框架设有多个框架对准空腔，且每一掩模设有多个掩模对准空腔。所述系统还包含用于固持工件的压板。压板可设有多个掩模对准销和框架对准销，多个掩模对准销和多个框架对准销经配置以分别啮合掩模对准空腔和框架对准空腔。掩模框架可降低到压板上，其中框架对准空腔移动成与框架对准销对齐以在掩模与工件之间提供粗略对准。掩模对准空腔可接着移动成与掩模对准销对齐，进而将每一个别掩模移位成与相应工件精确对准。
用于半导体处理对准系统

[发明专利]曝光装置-CN201110130113.X无效
发明人：榎本芳幸;皆川弘英 -专利权人：株式会社拓普康
申请日： 2011-05-19 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种曝光装置，结构简单且可以获得极高的对准精度。该曝光装置是一种使既定的掩模(18a)图形曝光于目标工件(23)上的曝光装置(10)。具备：对准照明组件(30)，能够将采用了曝光光的对准光照射在掩模(18a)的掩模侧对准标记(51)上；对准照相机组件(40)，用来使从对准照明组件(30)出射的、经过掩模(18a)以及投影透镜(20)的对准光入射对准照相机组件(40)具有：成像光学系统，将掩模侧对准标记像(53)形成在虚设工件区域(42a)，该虚设工件区域(42a)相对于被入射的对准光照射下的掩模(18a)，位于不同于目标工件(23)的位置而与该目标工件(23)在光学上的位置关系同等；摄像光学系统，目标工件(23)和虚设工件区域相对于摄像装置的光学上位置关系同等。
曝光装置

[发明专利]曝光装置-CN201480046673.9有效
发明人：渡边智也;松冈尚弥;山根茂树 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2014-08-18 - 公布日： 2017-10-10 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：提供一种曝光装置，即便是设于工件的背面的对准标记，也能可靠地使其与掩模对准标记对位，并能高精度地将掩模图案曝光于工件上。本发明的曝光装置包括掩模(13)，该掩模(13)设有掩模对准标记(131)；掩模保持件(12)，该掩模保持件(12)对掩模(13)进行保持；平台(15)，该平台(15)对工件(14)进行装设并加以固定，该工件(14)在面(145)上具有工件对准标记(141)，该面(145)是设有掩模对准标记(131)的面(135)所面对的面的相反一侧的面。平台(15)包括光学零件，当对装设的工件(14)的工件对准标记(141)进行摄像时，该光学零件使光在内部奇数次反射，以在比工件(14)的尺寸靠外侧的位置形成像，平台驱动装置根据通过该光学零件形成的像将掩模对准标记(131)和工件对准标记(141)对位。
曝光装置

[发明专利]一种多孔位工件层叠对准方法及层叠对准装置-CN201610117681.9有效
发明人：程艳花;徐升;郭佩佩;陆炳融;郭跃;曹勇;董慧杰 -专利权人：昆山华恒机器人有限公司;昆山华恒焊接股份有限公司
申请日： 2016-03-02 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明提供一种多孔位工件层叠对准方法，用于对准设有若干调整孔的第一工件、若干固定孔的第二工件，若干所述调整孔与所述若干所述固定孔一一对应，若干所述调整孔包括第一调整孔、第二调整孔及分别位于连接所述第一调整孔和第二调整孔的轴心连线两侧的第三调整孔、第四调整孔，通过调整所述第一工件的位置，先使所述第一调整孔对准第一固定孔且所述第二调整孔对准所述第二固定孔，再通过判断并继续调整所述第一工件，使得所述第三调整孔对准第三固定孔且所述第四调整孔对准所述第四固定孔，本发明还提供一种应用上述方法的层叠对准装置，从而能够快速对准所述第一工件和第二工件，提高对准精度，还能够降低工人工作强度。
一种多孔工件层叠对准方法装置

[发明专利]对准的方法、处理工具以及用于晶片级对准的方法-CN201910433405.7有效
发明人：王景宏;刘丙寅;林勇志;杜友伦 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-05-23 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请的各种实施例指向一种以低对准误差及高生产量进行工件级对准的方法。在一些实施例中，所述方法包括：基于来自成像装置的反馈将第一工件上的第一对准标记对准所述成像装置的视场(FOV)，并进一步基于来自所述成像装置的反馈将第二工件上的第二对准标记对准所述第一对准标记。在所述第一对准标记的所述对准期间，所述第二工件处于所述视场外。所述第二对准标记的所述对准是在不将所述第一对准标记移动出所述视场的情况下执行。此外，在所述第二对准标记的所述对准期间，所述成像装置观察所述第二对准标记，且进一步穿过所述第二工件观察所述第一对准标记。所述成像装置可例如利用反射红外辐射执行成像。
对准方法处理工具以及用于晶片

[发明专利]用于约束工件以对其处理和/或涂覆的装置-CN201580068184.8有效
发明人： A·科米尔;H·谢弗;S·沃伦道夫 -专利权人：萨特隆股份公司
申请日： 2015-10-07 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： B24B13/005 文献下载
摘要：一种用于约束工件的装置(10)，包括对准工位(11)、约束工位(13)以及工件支架(16)，对准工位具有工件支承部(12)，用于对准被支承于其上的工件，约束工位包括约束件安装部(14)，在约束工位中，所对准的工件可由约束件上的约束材料来约束，约束件可安装在约束件安装部中，以相对于基本竖直延伸的约束器轴线(V)对中，工件支架承载用于工件的保持头(15)，工件支架被合适地引导并驱动，通过工件支架，被保持在保持头上的工件可从对准工位运输至约束工位、可以限定的方式沿约束器轴线相对于安装在约束件安装部中的约束件定位、以及在约束期间可通过在约束材料与安装部之间留下间隙而被保持在工件与约束件之间相对于约束件的限定位置中。在该情形下，对准工位可从闲置位置运动至作业位置和相反地运动，在闲置位置中，对准工位不阻碍工件支架的运动，在作业位置中，工件支承部相对于约束器轴线对中。
工位约束件对准工件支架约束器工件支承部闲置位置约束材料作业位置竖直延伸限定位置可安装涂覆支承承载驱动阻碍运输

[发明专利]具有压力传感器的工件对准系统-CN201910211645.2在审
发明人：侯赛因·雅各布·萨德里;斯蒂芬·尤斯奇克;杰弗里·约翰·库珀 -专利权人：福特汽车公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： G01L5/00 文献下载
摘要：本公开提供“具有用于评估工件与固定装置的对准的压力传感器的工件对准系统”。本公开涉及一种工件对准系统，所述工件对准系统包括被构造为接纳工件的固定装置，以及沿着所述固定装置设置在不同位置处的多个传感器。基于所述信号，所述系统确定工件是否在所述固定装置上对准。
工件对准固定装置传感器压力传感器对准施加输出指示系统确定位置处接纳检测评估

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