专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种高真空多层绝热结构压力反演方法-CN202210897388.4在审
  • 谭宏博;吴昊 - 西安交通大学
  • 2022-07-28 - 2022-10-25 - G06F30/20
  • 一种高真空多层绝热结构压力反演方法,通过给定多组压力分布,拟合压力分布获得多项式系数,将多组压力分布带入MLI仿真程序中,获得多组温度分布,将多组温度分布及多项式系数组成高维样本集,对高维样本集进行截断奇异值分解,使用吉洪诺夫正则化方法求解实测温度对应的正交基系数并重构压力所对应的多项式系数;本发明通过精确的温度测量反演获得压力,准确获得MLI压力分布,实现高精度MLI绝热性能预测,从而指导高真空多层绝热结构的抽空工艺方案优化
  • 一种真空多层绝热结构压力反演方法
  • [发明专利]压力传感器的制备方法-CN201510770504.6有效
  • 刘孟彬;毛剑宏;杨天伦 - 上海丽恒光微电子科技有限公司
  • 2015-11-12 - 2018-08-24 - B81C1/00
  • 本发明揭示一种压力传感器的制备方法,包括:提供半导体基板,半导体基板包括互连电路和底部接触电极,半导体基板表面具有覆盖互连结构的上层金属介质;形成牺牲,牺牲覆盖底部接触电极及部分层介质;形成压力感应压力感应覆盖牺牲以及剩余的介质;刻蚀压力感应以及介质,暴露至少部分上层金属,且暴露至少部分压力感应的底壁;形成连接结构,连接结构覆盖暴露的上层金属以及暴露的压力感应的底壁本发明中,通过连接结构实现压力感应与上层金属之间的电性连接,并且,压力感应与连接结构、上层金属之间均不会形成合金,提高了压力传感器的阻值均匀性。
  • 压力传感器制备方法
  • [发明专利]压力传感器及其形成方法-CN201310542786.5在审
  • 刘国安;徐伟;刘煊杰 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2013-11-05 - 2015-05-13 - G01L9/12
  • 一种压力传感器及其形成方法,其中压力传感器包括:基底,在基底中形成有晶体管;位于基底上的介质,所述介质覆盖基底和晶体管,在介质中形成有下极板,所述下极板的上表面暴露,所述下极板与晶体管电连接;位于所述介质上的压力感应膜,所述压力感应膜覆盖层介质且与晶体管电连接,所述下极板与压力感应膜之间具有空腔;位于压力感应膜上的多个相互隔开的块状件,所述块状件位于空腔上方,所述压力感应膜上表面露出本技术方案中,多个块状件的重力使压力感应膜本身的应力得到释放,压力传感器的灵敏性增强,性能较佳。
  • 压力传感器及其形成方法
  • [发明专利]一种半导体器件及其制作方法和电子装置-CN201410446864.6有效
  • 张先明;丁敬秀 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2014-09-04 - 2017-05-10 - B81C1/00
  • 本发明提供一种半导体器件及其制作方法和电子装置,所述制作方法包括提供基底,在所述基底上形成有介电,在所述介电中形成有底部电极;在所述底部电极上方沉积形成牺牲;在所述牺牲和部分所述介电上形成压力传感膜;蚀刻所述压力传感膜,以形成开口暴露部分所述牺牲,并去除所述牺牲;在所述压力传感膜和部分层介电上形成氧化物,以填孔所述开口,以形成密闭的空腔;执行激光退火步骤,以释放所述压力传感膜内的应力。根据本发明的方法,在牺牲释放后进行激光退火处理,其工艺窗口更大,对压力传感膜的应力具有比较好的调节效果,提高了压力传感器的灵敏度和良率。
  • 一种半导体器件及其制作方法电子装置
  • [发明专利]一种可拼装压力探测器件和路面层压力监测结构-CN202010315675.0在审
  • 赵鸿铎;曾孟源;吴荻非;边泽英;蔡爵威 - 同济大学
  • 2020-04-21 - 2020-09-08 - G01L1/24
  • 本发明涉及道路工程领域,特别是涉及一种可拼装压力探测器件和路面层压力监测结构。本发明提供一种可拼装压力探测器件,包括封装件本体,所述封装件本体包括传感区域和非传感区域,所述传感区域沿封装件本体的高度方向延伸,所述传感区域中的第二柔性体封装件的封装面上分布有传感段光纤和凹槽,所述凹槽的位置与传感段光纤相交错,所述传感区域中的第一柔性体封装件的封装面上设有与凹槽相配合的凸起,还包括分布于非传感区域的过渡段光纤,所述过渡段光纤与传感段光纤连接。本发明结合分布式光纤传感技术,提供了一种可拼装压力探测器件和路面层压力监测结构,可实现水泥混凝土铺面板底层压力的大范围快速监测。
  • 一种拼装压力探测器件路面监测结构
  • [实用新型]一种可拼装压力探测器件和路面层压力监测结构-CN202020599712.0有效
  • 赵鸿铎;曾孟源;吴荻非;边泽英;蔡爵威 - 同济大学
  • 2020-04-21 - 2020-11-06 - G01L1/24
  • 本实用新型涉及道路工程领域,特别是涉及一种可拼装压力探测器件和路面层压力监测结构。本实用新型提供一种可拼装压力探测器件,包括封装件本体,所述封装件本体包括传感区域和非传感区域,所述传感区域沿封装件本体的高度方向延伸,所述传感区域中的第二柔性体封装件的封装面上分布有传感段光纤和凹槽,凹槽的位置与传感段光纤相交错,传感区域中的第一柔性体封装件的封装面上设有与凹槽相配合的凸起,还包括分布于非传感区域的过渡段光纤,过渡段光纤与传感段光纤连接。本实用新型结合分布式光纤传感技术,提供了一种可拼装压力探测器件和路面层压力监测结构,可实现水泥混凝土铺面板底层压力的大范围快速监测。
  • 一种拼装压力探测器件路面监测结构
  • [发明专利]压力传感器及其形成方法-CN201310543025.1有效
  • 伏广才;汪新学;倪梁 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2013-11-05 - 2018-03-09 - H01L21/02
  • 一种压力传感器及其形成方法,其中压力传感器的形成方法包括提供基底,在基底上形成有晶体管;形成介质介质覆盖基底和晶体管,在介质中形成有下极板,下极板的上表面暴露;在介质上形成SiGe,在SiGe与下极板之间形成空腔;在SiGe上形成刻蚀停止,在刻蚀停止上形成第一SiN;刻蚀第一SiN形成按压部和包围按压部的边缘部,至刻蚀停止上表面露出,按压部与边缘部相互隔开,按压部对应空腔位置,在刻蚀第一SiN的过程使用的刻蚀气体包括第一含氟气体;刻蚀刻蚀停止,至SiGe露出。使用本技术方案形成的压力传感器,可靠性提高,性能较佳。
  • 压力传感器及其形成方法
  • [发明专利]基于柔性触觉电容的三维压力传感器-CN202111591586.X在审
  • 覃缘;郎锦墀;杨昊也;来增源;李金澎;蒲治华 - 天津大学
  • 2021-12-23 - 2022-05-13 - G01L5/165
  • 本发明提供了一种基于柔性触觉电容的三维压力传感器,其球形接触端头位于柔性上部基底的上方,所述电容上部电极、极介质、电容下部电极、柔性下部基底层从上到下依次位于三维压力传感器柔性上部基底的下方,所述电容上部电极层位于三维压力传感器柔性上部基底层的下表面,所述韧性支撑圆柱、韧性支撑垫片与极介质处于同、共同构成柔性支架,其排布为韧性支撑圆柱位于极介质四顶角处的间隙区域内,韧性支撑垫片位于极介质中心处的间隙区域内;所述传感器可以分别感知施加的法向力、剪切力和拉力,实现较大维度的压力传感,具有较高灵敏度。
  • 基于柔性触觉电容三维压力传感器

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