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- [发明专利]TFT阵列检查方法以及TFT阵列检查装置-CN201080065328.1有效
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永井正道
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株式会社岛津制作所
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2010-03-17
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2012-11-28
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G01N23/225
- 本发明包括:检测工序,通过带电束的照射来检测面板上的取样点的信号强度;二值化工序,对在检测工序中检测的取样点的信号强度进行二值化,求出二值化图像;对照工序,将在二值化工序中求出的二值化图像中所含的形状作为对照对象形状,对该对照对象形状与预先登记的登记形状进行形状比较以进行对照;以及缺陷判别工序,根据对照工序的对照结果,判别对照对象形状中是否包含登记形状,若在对照对象形状中包含至少一个登记形状,则将包含该对照对象形状的像素判别为缺陷,若在对照对象形状中不包含所登记的所有登记形状中的任何登记形状,则将包含对照对象形状的像素判别为正常,从而不受附加于检测信号的噪声成分影响地检测缺陷像素以进行阵列检查。
- tft阵列检查方法以及装置
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