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[实用新型]一种单晶炉炉底以及用于该单晶炉炉底的提拉工具-CN202223054699.9有效
发明人：秦丽涛;宋克冉;李昕忆 -专利权人：曲靖晶澳光伏科技有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉炉底以及用于该单晶炉炉底的提拉工具。其中，单晶炉炉底包括：形成为圆形板状的炉底本体以及贯穿所述炉底本体设置的对接孔，其中，所述对接孔包括从所述炉底本体的上表面向下凹陷形成的上型腔以及从所述上型腔的底部开口向下凹陷直至贯穿所述炉底本体的下表面的下型腔，所述下型腔的顶部开口面积大于所述上型腔的底部开口面积。根据本实用新型实施例的单晶炉炉底以及用于该单晶炉炉底的提拉工具，可方便成型炉底拆卸且不会对本身造成损坏。
一种单晶炉炉底以及用于工具

[实用新型]单晶材料生产的新炉型-CN03247213.7无效
发明人：陈欣阳 -专利权人：陈欣阳
申请日： 2003-06-13 - 公布日： 2004-08-25 - 主分类号： F27B14/00 文献下载
摘要：本实用新型单晶材料生产的新炉型属单晶材料的生产设备，适合生产普通金属(铜、铝…)的单晶材料用炉。单晶材料生产的新炉型采用联体炉和连通器技术的结构。本实用新型单晶材料生产的新炉型由熔炉、保温炉组成，其特征是有联体炉，联体炉包含有熔炉(3)和保温炉(2)，熔炉和保温炉之间用中间隔层(2)分开，中间隔层下部靠近炉底处有连通孔(6)相通。
材料生产新炉型

[实用新型]一种移动式高频感应单晶炉-CN202121283255.5有效
发明人：孙世刚;李学洋 -专利权人：蔻晶(上海)科技有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种移动式高频感应单晶炉，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体顶部中心处固定连接有单晶炉副室，所述单晶炉本体前侧设有观察框，所述单晶炉本体外围固定连接有支架，所述支架底部固定连接有底板，所述底板底部固定连接有托板，所述托板底部固定连接有阻尼减震座，所述阻尼减震座呈矩形排列分布，所述阻尼减震座底部固定连接有U型缓冲槽，所述托板两侧与U型缓冲槽内壁滑动连接，所述U型缓冲槽外壁固定连接有牵引环，本实用新型结构新颖，设计合理，便于对单晶炉本体进行稳定移动，通过设置密封套与套筒可避免坩埚拖杆在升降过程中泄漏单晶炉本体内部的热能，提高了坩埚本体的温度稳定性，便于对单晶硅进行顺利生产。
一种移动式高频感应单晶炉

[发明专利]单晶炉热交换设备及其应用方法-CN202210462840.4在审
发明人：陈养俊 -专利权人：晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种单晶炉热交换设备及其应用方法，涉及单晶炉冷却技术领域，包括：冷却水管、冷却气管、箱体和水箱，水箱用于与循环水排连通；冷却水管包括至少一个U型水管，用于循环水流通，U型水管的进水端与水箱连通，出水端与循环水排连通；在第一状态下，至少部分U型水管位于箱体外部用于插入与热交换设备连接的单晶炉的进料口中；在第二状态下，U型水管位于箱体中；冷却气管中的进气管用于插入单晶炉的第一预留口，出气管用于连接与单晶炉的主路管道采用水冷和气冷相结合的方式对单晶炉的腔体进行冷却，有效降低了单晶炉的停炉冷却时间，有利于提高单晶炉的单位时间产能。
单晶炉热交换设备及其应用方法

[发明专利]提高汉虹95型单晶炉投炉量的方法及汉虹95型单晶炉-CN202210032474.9在审
发明人：李立峰;曹森;骆新龙;陈小龙;巴剑锋;石志强 -专利权人：新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明提供一种提高汉虹95型单晶炉投炉量的方法及汉虹95型单晶炉，方法包括：将石墨坩埚的直壁高度增加至428mm，将石英坩埚的直壁高度增加至430mm，将石墨坩埚下限位下调30mm，将导流筒加长至412.5mm；将单晶棒开始拉制的速度设为0.68mm/h，每拉制300‑500mm，拉制速度下调4.5％‑7.4％。本发明能够在现有石墨热场尺寸下，提高汉虹95型单晶炉的投炉量，从而大大降低投入成本。
提高 95 型单晶炉投炉量方法型单晶炉

[发明专利]一种制备太阳能级N型单晶硅的方法-CN201811011445.4在审
发明人：孟涛;王海庆;路景刚 -专利权人：包头美科硅能源有限公司
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备太阳能级N型单晶硅的方法，（1）将硅原料加入置于单晶炉的石英坩埚中，并在硅原料中间部位放入N型母合金和镓；（2）单晶炉合上，抽真空检漏、加热融化，复投器复投硅原料，加热融化；（3）降温稳定、找功率、籽晶融结、引晶、放肩、转肩，等径，收尾，得第一跟单晶棒，拉至单晶炉副腔室冷却，单晶炉剩余熔液保温；（4）单晶棒冷却后取出称重；（5）复投器装入复投料，并在硅原料的中间部位放入N型母合金和镓；（6）加热融化、降温稳定、找功率、籽晶融结、引晶、放肩、转肩、等径，收尾，冷却得第二根单晶棒；初始投料量中加入适量镓，更好的中和磷，有效提高N型单晶硅电阻率的集中度，从而提高太阳能的电阻合格率。
单晶炉硅原料加热融化单晶棒冷却太阳能级母合金等径放肩放入引晶籽晶制备收尾石英坩埚抽真空电阻率副腔室集中度投料量称重电阻检漏熔液投料装入保温太阳能取出合格率中和

[实用新型]一种单晶炉水冷屏对中校准仪-CN202221917232.X有效
发明人：梁旭松;杨刚;胡楚汉;李宝飞;黄建超;周洪富;马自成 -专利权人：四川永祥光伏科技有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉水冷屏对中校准仪，包括L型手持架、激光测距仪及对心件，L型手持架的横臂沿其长度方向开设有贯通的放置槽，激光测距仪固定安装于放置槽内、其激光束朝L型手持架的横臂外端发射，对心件连接于L型手持架的竖臂顶端；对心件可与单晶炉炉盖法兰的端面、外圆面贴合，用于找出单晶炉炉盖的圆心以使激光测距仪的激光束与单晶炉炉盖的直径重合并射向水冷屏直筒段的外圆面。通过对心件实现激光测距仪的激光束与单晶炉炉盖的直径重合，并以无接触的方式准确测量出水冷屏中心与炉盖中心的偏差情况，从而对水冷屏进行居中调节，操作简单便捷，提高了水冷屏对中的调节效率，有效避免了测量时对水冷屏表面的污染
一种单晶炉水冷校准

[实用新型]一种单晶炉副室与炮筒的连接件-CN201120255544.4有效
发明人：郑裕财;金炯;郜勇军 -专利权人：浙江矽盛电子有限公司
申请日： 2011-07-15 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉副室与炮筒的连接件，该连接件具有一个U型箍，且在U型箍的两个端处分别连接有与U型箍相垂直的两个直扣。采用本实用新型，可以通过U型箍和直扣将单晶炉副室与炮筒连成一体，因此，能确保单晶炉副室与炮筒同步移动，防止晶棒损伤。
一种单晶炉副室炮筒连接

[实用新型]单晶炉加热器及单晶炉加热系统-CN201720150898.X有效
发明人：王会敏;张浩强;曹祥瑞;颜超;陈二星;王东;孔哲;何志国 -专利权人：邢台晶龙电子材料有限公司
申请日： 2017-02-20 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型适用于直拉型单晶硅制备装置技术领域，提供了一种单晶炉加热器及单晶炉加热系统。本实用新型的单晶炉加热器包括下发热体、与所述下发热体相连的加热器脚和上发热体，所述上发热体与所述下发热体可拆卸地连接。本实用新型的单晶炉加热系统包括坩埚、保温套、一个单晶炉加热器和一个电源系统。本实用新型提供的单晶炉加热系统，仅使用一个单晶炉加热器和一个电源系统，就可应用在大尺寸的热场，较一般的单电源单晶炉加热系统产量高、品质高，较一般的双电源单晶炉加热系统功率小，结构简单，操作简便。
单晶炉加热器加热系统

[发明专利]氮掺杂P型单晶硅制造方法-CN202111153124.X在审
发明人：徐鹏;兰洵 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种氮掺杂P型单晶硅制造方法，包括：将高掺杂氮单晶与多晶硅投入坩埚并加热拉晶炉，得到第一硅熔体；向所述第一硅熔体加入高掺杂硼单晶，得到第二硅熔体；在所述第二硅熔体中以直拉法拉制氮掺杂P型单晶硅。根据本发明的氮掺杂P型单晶硅制造方法，使得氮和硼在较低的炉室温度下完全融入硅熔体，解决了炉室温度高，加热时间久的技术问题。同时，改变高掺杂硼单晶和高掺杂氮单晶的熔融顺序，以抑制氮化硼(BN)的形成导致拉晶失败的情况发生。
掺杂单晶硅制造方法

[发明专利]一种改良N型单晶硅棒特性的掺杂方法-CN201710009114.6在审
发明人：张立平;梁永生;冉瑞应;李博一;金雪 -专利权人：银川隆基硅材料有限公司
申请日： 2017-01-06 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：本发明公开的一种改良N型单晶硅棒特性的掺杂方法，包括步骤：先按一定比例在硅原料中添加纯铝颗粒，然后将硅原料及纯铝颗粒装入单晶炉内的石英坩埚中，将单晶炉密封通入保护气体后，通过加热器将硅原料及纯铝颗粒熔化，最后经过引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉工序后，得到N型单晶硅棒。本发明的一种改良N型单晶硅特性的掺杂方法解决了现有的单晶硅棒由于在生长过程中电阻分布不合理导致其尾部电阻不良率较高的问题。本发明的一种改良N型单晶硅特性的掺杂方法在硅原料中添加纯铝颗粒，高温熔化并分布在硅溶液中，随单晶硅棒的生长根据分凝原理在单晶硅棒中分布，从而达到改善N型单晶硅棒尾部电阻率分布和抑制缺陷产生的目的。
硅原料纯铝单晶硅棒掺杂改良单晶炉加热器熔化电阻率分布保护气体电阻分布高温熔化缺陷产生生长过程石英坩埚不良率硅溶液等径电阻放肩分凝停炉引晶收尾装入密封生长

[发明专利]一种单晶炉取棒辅助装置-CN201510819048.X有效
发明人：姜舰;刘大力;王雅楠;崔彬;戴小林;吴志强;索思卓;白鸽玲;赵伟 -专利权人：有研半导体材料有限公司
申请日： 2015-11-23 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶炉取棒辅助装置，包括外环型圈、内环型圈及单晶吊篮，其中外环型圈和内环型圈分别由两个半圆环构成，外环型圈与内环型圈之间通过数个联接杆联接；构成外环型圈的两个半圆环之间通过螺栓连接；外环型圈的下端沿圆周方向设有凹槽；内环型圈的上端内侧沿圆周方向设有开槽；单晶吊篮由多个单晶套环和多根吊装带组成，多个单晶套环通过多根吊装带相互连接，纵向排列；位于最上方的单晶套环设置在所述内环型圈的开槽上，位于最下方的单晶套环为可伸缩圈通过装置取单晶棒，单晶棒直接落入装置内可以避免单晶落入炉对石墨埚或CFC埚等部件的损伤，同时可以减少操作者取棒的劳动强度，防止取棒过程可能带来的人员伤害和产品损伤。
单晶环型圈内环取棒套环沿圆周方向辅助装置半圆环单晶棒单晶炉吊装带吊篮开槽损伤螺栓连接落入装置人员伤害通过装置纵向排列可伸缩联接杆石墨埚上端下端联接

[实用新型]新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场-CN201220316081.2有效
发明人：韩建超;沈杨宇 -专利权人：上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2012-06-30 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场，包括导流筒；其特征在于，所述导流筒表面设置有碳化硅涂层。本实用新型中的新型单晶炉热场，由于采用设置碳化硅涂层的导流筒，可降低硅单晶棒生产能耗，可降低5%以上。使用本实用新型中的新型单晶炉热场，拉制的N型<100>轻掺硅单晶的OISF可降低到100个/cm2以下。本实用新型中的新型单晶炉热场，能有效改善硅单晶棒中的Fe含量，平均值为1.80E+10atoms/cm3，最大值6.91E+10atoms/cm3。扩散长度达到450.2μm。
新型单晶炉热场拉制轻掺硅单晶棒

[实用新型]一种用于单晶炉大热场的低能耗炉底固毡-CN202220961173.X有效
发明人：吴婷;王艺澄;王军磊 -专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶炉大热场的低能耗炉底固毡，包括炉底软毡（1）和炉底固毡（2），炉底软毡（1）包括底层软毡（11）、中层软毡（12）和上层软毡（13），炉底固毡（2）包括普通型固毡（21）和镂空型固毡（22），普通型固毡（21）连接在底层软毡（11）和中层软毡（12）之间，镂空型固毡（22）连接在中层软毡（12）和上层软毡（13）之间；底层软毡（11）设为四层，中层软毡（12）和上层软毡（13）均设为三层，镂空型固毡（22）的表面的镂空槽（22a）朝向中层软毡（12）设置。本实用新型的优点是减少炉底散热、增加炉底保温性，进而降低单晶炉功耗和单晶硅棒的非硅成本。
一种用于单晶炉大热场能耗炉底固毡

[实用新型]一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置-CN201520788179.1有效
发明人：潘清跃;王平 -专利权人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
申请日： 2015-10-13 - 公布日： 2016-09-07 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于单晶炉的二次加料漏斗装置，包括单晶炉炉体、端盖、漏斗、坩埚、拉杆、挡板和旋转升降机构，所述的漏斗和坩埚位于单晶炉炉体内，所述的端盖连接在单晶炉炉体的上方，所述的拉杆竖直穿过漏斗，所述拉杆的下端与挡板相连，所述拉杆的上端与旋转升降机构相连，所述的漏斗通过法兰固定连接在单晶炉炉体内，所述的坩埚通过电动杠固定连接在单晶炉炉体内的底部。本设计通过圆台型挡板和旋转升降机构使物料更加分散的掉落进坩埚内，提高了坩埚内部空间的利用率。
一种用于单晶炉二次加料漏斗装置

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