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[实用新型]晶圆夹持旋转装置及晶圆清洗槽-CN201220749855.0有效
发明人：王振荣;刘红兵;陈概礼 -专利权人：上海新阳半导体材料股份有限公司
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆夹持旋转装置，其特征在于，包括：下表面用于固定晶圆的下基板，所述下基板可转动地设置；夹持夹子，所述夹持夹子包括向基板中心延伸的钩体；钩体位于下基板下方；夹持夹子受驱动朝向下基板运动和远离下基板运动本实用新型中的晶圆夹持旋转装置，既可以固定晶圆，又可以带动晶圆旋转。清洗时可以保证全面清洗晶圆。清洗效果均匀。电镀或蚀刻时，既可以保证电镀或蚀刻晶圆的每一个部位，又可以保证电镀、蚀刻均匀。
夹持旋转装置清洗

[发明专利]晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置-CN202110402817.1在审
发明人：左国军;陈雷;成旭;李雄朋;申斌;谈丽文;邱瑞;饶相松 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆烘干设备技术领域，提供了一种晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置，用于对晶圆进行烘干。晶圆烘干槽包括：槽体；管道系统，管道系统用于朝向槽体内的不同方向通入气体，以在槽体内交汇形成混合气流场。本申请将多个晶圆置于槽体内，通过管道系统从多个方向朝向槽体内通入气体，可以在槽体内形成混合气流场，混合气流场是流动的，因此，在槽体内形成的烘干区域能够覆盖整个晶圆尺寸范围，以保证晶圆表面的洁净度。
烘干方法装置

[发明专利]晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽-CN201911332461.8在审
发明人：王振荣;刘红兵;鲁珊;方琴剑 -专利权人：上海新阳半导体材料股份有限公司
申请日： 2019-12-22 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽，包括供放置晶圆的放置架机构、第一驱动机构以及第二驱动机构，所述放置架机构与第一驱动机构传动连接进而所述放置架机构整体可沿所述第一驱动机构的输出轴旋转以供甩干本发明所提供的晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽，其结构精巧，方便操作，通过可调节摆转的放置架实现晶圆的垂直旋转甩干以及水平旋转甩干工作。
晶圆湿制程设备用旋转甩干槽

[实用新型]晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽-CN201922317681.5有效
发明人：王振荣;刘红兵;鲁珊;方琴剑 -专利权人：上海新阳半导体材料股份有限公司
申请日： 2019-12-22 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽，包括供放置晶圆的放置架机构、第一驱动机构以及第二驱动机构，所述放置架机构与第一驱动机构传动连接进而所述放置架机构整体可沿所述第一驱动机构的输出轴旋转以供甩干本实用新型所提供的晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽，其结构精巧，方便操作，通过可调节摆转的放置架实现晶圆的垂直旋转甩干以及水平旋转甩干工作。
晶圆湿制程设备用旋转甩干槽

[实用新型]一种水泥检查井盖板模具-CN202320514352.3有效
发明人：马伟伟 -专利权人：河南省久安建材有限公司
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B28B7/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种水泥检查井盖板模具，包括设置在地面上的底板，底板上部设置有第一圆槽、第二圆槽、第三圆槽、第四圆槽、第五圆槽、第六圆槽以及第七圆槽，在第一圆槽、第二圆槽或第三圆槽内安装至少两个小板件，在第四圆槽、第五圆槽、第六圆槽或第七圆槽内安装至少两个大板件，第一圆槽、第二圆槽、第三圆槽、第四圆槽、第五圆槽、第六圆槽以及第七圆槽均同心设置，且第一圆槽至第七圆槽的直径从小到大递增设置，通过本实用新型的水泥检查井盖板模具，可通过大小板件与圆槽配合，从而实现不用更换模具而对不同尺寸的检查井盖板进行制作。
一种水泥检查井盖板模具

[发明专利]晶圆槽深检测仪器-CN201910344862.9在审
发明人：马观岚 -专利权人：江苏才道精密仪器有限公司
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： G01B11/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆槽深检测仪器，具有基座，所述基座的工作面上具有大理石平台，所述大理石平台上设有X轴移动组件和Y轴移动组件，所述X轴移动组件带动产品检测平台在大理石平台的X轴上移动，所述Y轴移动组件带动所述产品检测平台在
大理石平台产品检测滑动组件固定架精准度上移动检测丝杆传动组件底部连接竖直设置晶圆槽冶具圆槽种晶自动化

[发明专利]一种晶圆蚀刻槽-CN202011059375.7在审
发明人：赖情依 -专利权人：赖情依
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆蚀刻槽，其结构包括顶盖、蚀刻槽、控制按钮、机体，顶盖与机体的上端铰链连接，控制按钮与机体的前端活动卡合，蚀刻槽安装于机体的上表面位置，通过晶圆及其上表面的蚀刻液对承载块产生的压力，能够使承载块上的吸附盘受挤压在收缩板的配合下向下收缩，从而使密封块能够对吸附盘的中部进行密封，故而使吸附盘能够受挤压对晶圆的底部进行吸附，当储液腔外部的蚀刻液通过透液机构进入其内部时，通过外部的蚀刻液对联动板产生的挤压，能够使联动板与外管之间产生间隙，且通过外摆板自身的重力，能够在失去外管内壁的挤压下向外摆动，从而使外摆板能够配合阻挡块对外部的晶圆碎屑进行阻挡。
一种蚀刻

[发明专利]一种晶圆蚀刻槽-CN201910884889.7在审
发明人：李杰;葛林海;赵建龙;王利强;丁高生 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-09-19 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆蚀刻槽，所述蚀刻槽包括：基座；基板，所述基板固定连接在所述基座上，所述基板形成水平的支撑面；外槽，所述外槽为上部开口的长方壳体，所述外槽的底部安置在所述支撑面上，所述外槽侧壁的下方开孔且与第一管路的一端连通；内槽，所述内槽为上部开口的长方壳体，所述内槽设置在所述外槽内，所述第一管路的另一端设置在所述内槽上方，所述内槽的底部开孔并与第二管路的一端连通，所述第二管路的另一端与外部连通；以及晶舟，所述晶舟内承载有多个晶圆，所述晶舟设置在所述内槽内；其中，含有氢氟酸的药液自所述内槽开口加入，将所述晶舟上的晶圆全部浸没。本发明设备能够耐受高温下晶圆蚀刻中氢氟酸的强腐蚀性。
内槽晶舟外槽晶圆长方壳体上部开口氢氟酸蚀刻槽基板连通蚀刻底部开孔基板固定强腐蚀性外部连通外槽侧壁一端设置支撑面浸没开孔耐受种晶开口承载安置支撑

[发明专利]一种模具圆槽铣刀-CN201410143724.1有效
发明人：朱松林;廖志雄 -专利权人：中山市园丰精密刃具有限公司
申请日： 2014-04-10 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： B23C5/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种模具圆槽铣刀，包括圆柱形刀杆及刀头，其特征在于所述刀头包括刀颈部及刀嘴部，刀头上设有一定位基面，刀嘴部上设有前刀面，刀嘴部的端部设有一圆弧面，该圆弧面与前刀面相交，且所述圆弧面与前刀面的交线构成刀具的主切削刃，且该交线为一圆弧线，所述圆弧面与刀颈表面相接的位置通过一相对于圆弧面与刀颈表面内凹的过渡圆弧过渡，而该过渡圆弧与前刀面相交而成的圆弧线构成刀具的副切削刃。
一种模具铣刀

[发明专利]拖板炉圆锭槽输送装置-CN201310383617.1有效
发明人：王鸿熙;王武 -专利权人：苏州工业园区华福科技有限公司
申请日： 2013-08-29 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： B65G37/00 文献下载
摘要：本发明提供一种拖板炉圆锭槽输送装置，包括感应加热炉以及桥式横向输送机，感应加热炉布置于桥式横向输送机的中间，将桥式横向输送机分隔成前后两段分别为上料及出料输送机和输送机，上料及出料输送机和输送机通过同步带相互配合本发明通过上料及出料输送机和输送机通过同步带的配合，在坯料运行过程中致使针对圆坯槽的运动，坯料本身无运动，因而坯料表面不会有划痕，保证坯料的完整性。
拖板炉圆锭槽输送装置

[发明专利]用于晶圆刻蚀的反应槽-CN201711166869.3有效
发明人：吴良辉 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种用于晶圆刻蚀的反应槽。本发明所述的用于晶圆刻蚀的反应槽，其中包括槽体，所述槽体内设有升降臂、传动单元和导向单元，所述升降臂的内部为中空结构，所述传动单元设于所述升降臂的内部，所述传动单元的输入端与动力源相连，所述传动单元的输出端与所述导向单元的一端相连，所述导向单元的另一端穿过所述升降臂且能够与所述升降臂之间发生转动，所述导向单元穿过所述升降臂的所述另一端用于支撑晶圆并带动所述晶圆进行转动。通过使用本发明所述的用于晶圆刻蚀的反应槽，能够将刻蚀过程中的晶圆进行转动，有效地对晶圆表面进行均匀的刻蚀，提高晶圆表面质量。
用于刻蚀反应

[发明专利]手动压槽弯圆条机-CN201310148751.3无效
发明人：胡赢光;顾凤英;孟兴蛟;宋正元 -专利权人：云南明泰玻璃股份有限公司
申请日： 2013-04-26 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： B21D21/00 文献下载
摘要：本发明公开一种手动压槽弯圆条机。是一种小零部件加工机械设备，解决金属条压槽弯圆的技术问题。本发明的设备可用于金属条压槽弯圆加工。
手动压槽弯圆条机

[发明专利]圆筒外圆铣槽定位工装-CN201210486290.6无效
发明人：范罗荣 -专利权人：无锡市航鹄科技有限公司
申请日： 2012-11-26 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： B23Q3/00 文献下载
摘要：本发明涉及圆筒外圆铣槽定位工装，包括定位轴，定位轴分为夹持段和定位段，夹持段与定位段之间设有凸肩，定位段的外圆上带有通孔，通孔内安装有定位螺杆，定位螺杆上套有螺母；本发明结构简单，操作简便，定位加工精度高
圆筒外圆铣槽定位工装

[发明专利]圆净化槽的清除器-CN95190299.7无效
发明人：汉斯·乔治·胡贝尔;雷纳尔·科勒尔 -专利权人：汉斯·胡贝尔机械设备制造有限公司
申请日： 1995-02-14 - 公布日： 1996-07-17 - 主分类号： B01D21/06 文献下载
摘要：一个用于圆净化槽(1)的清除器具有一个位于载泥浆液体表面下方的框架(8)，一个其上安装的并在槽底(3)上沿着滑过的和圆槽(1)径向上延伸的清除装置(10)以及一个用于由框架(8)和清除装置(10)组成之结构单元的驱动装置该装置具有一个在圆槽(1)中央安置的和向上敞开的输入漏斗(5)用于载有泥浆的液体。在由框架(8)和清除装置(10)组成的被驱动结构单元上还安置一个游动泥浆清除板(14)。这两个板件(14、15)大致从圆净化槽(1)的中央延伸至侧壁(2)，因此，在圆净化槽(1)之整个表面上的游动泥浆通过一个在该游动泥浆清除板(14)和刮离板(15)之间的剪切形重叠作用被推到一起和输送到一个排放漏斗
净化清除

[发明专利]圆网-无网槽成型器-CN88100744.7无效
发明人：宋大兴;张景春 -专利权人：宋大兴;张景春
申请日： 1988-02-15 - 公布日： 1989-09-06 - 主分类号： D21F1/00 文献下载
摘要：一种圆网成型器，用梳浆箱置于网笼水平中心线上45°角网前。伏辊有调节装置可调节与网笼的轴心水平间距，形成一个短的初始成型区段。设有网槽，可提高纸浆在成型段脱水速度。
圆网无网槽成型