“圆形硅片”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果541264个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]圆形硅片旋转清洗夹持装置-CN202211594651.9在审
发明人：代胜利;董风娥;李金涛 -专利权人：广东芯微精密半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种用于圆形硅片旋转清洗夹持装置，本装置包括外盖壳体，旋转驱动模块，连接主轴，夹具固定底座，夹头旋转基座，夹爪伸缩驱动模块，夹爪本体，夹爪安装盖板，圆形硅片承托杆；本旋转清洗夹持装置带动圆形硅片在清洗槽内高速旋转，进行边旋转边清洗的动作，实现无遮蔽无死角清洗，提高清洗效果。本装置用于改善圆形硅片边缘清洗效果，本圆形硅片旋转清洗夹持装置主要用于电镀工艺后的清洗工序。本发明所涉及的圆形硅片旋转清洗夹持装置可以减少夹具与圆形硅片的接触面99.94％，减少圆形硅片边沿的遮蔽面积99.94％％，提高圆形硅片边沿清洗效果99％以上。
圆形硅片旋转清洗夹持装置

[实用新型]圆形硅片旋转清洗夹持装置-CN202223372222.5有效
发明人：代胜利;董风娥;李金涛 -专利权人：广东芯微精密半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种用于圆形硅片旋转清洗夹持装置，本装置包括外盖壳体，旋转驱动模块，连接主轴，夹具固定底座，夹头旋转基座，夹爪伸缩驱动模块，夹爪本体，夹爪安装盖板，圆形硅片承托杆；本旋转清洗夹持装置带动圆形硅片在清洗槽内高速旋转，进行边旋转边清洗的动作，实现无遮蔽无死角清洗，提高清洗效果。本装置用于改善圆形硅片边缘清洗效果，本圆形硅片旋转清洗夹持装置主要用于电镀工艺后的清洗工序。本实用新型所涉及的圆形硅片旋转清洗夹持装置可以减少夹具与圆形硅片的接触面99.94％，减少圆形硅片边沿的遮蔽面积99.94％％，提高圆形硅片边沿清洗效果99％以上。
圆形硅片旋转清洗夹持装置

[实用新型]硅片-CN201521010553.1有效
发明人：江菊玲 -专利权人：嘉兴晶格电子科技有限公司
申请日： 2015-12-08 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片，其特征在于：包括硅片本体，所述的硅片本体呈圆柱状，所述的硅片本体上设有圆形凹槽，所述的圆形凹槽的直径与硅片本体的直径比值为0.8，所述的圆形凹槽的圆周面与硅片本体的圆周面距离为0.3cm；本实用新型在于：此结构设计保证了硅片在安装过程中时，由于表面为圆形面，就算碰撞外物，也不会使硅片缺角或破裂现象发生，整体强度较强，保证了使用寿命。
硅片

[实用新型]新型硅片-CN201521007672.1有效
发明人：江菊玲 -专利权人：嘉兴晶格电子科技有限公司
申请日： 2015-12-08 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型硅片，其特征在于：包括硅片本体，所述的硅片本体呈圆柱状，所述的硅片本体上设有圆形凸起，所述的圆形凸起的厚度由圆心往圆周面逐渐变小，所述的硅片本体的厚度与圆形凸起最高点的厚度的比值为0.9；本实用新型在于：此结构设计保证了硅片在安装过程中时，由于表面为圆形面，就算碰撞外物，也不会使硅片缺角或破裂现象发生，整体强度较强，保证了使用寿命。
新型硅片

[发明专利]一种硅片载盘及改善重掺双抛光片损伤层的制备工艺-CN202111461567.5在审
发明人：吴泓明;钟佑生;洪育维;李少华 -专利权人：郑州合晶硅材料有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请属于集成电路中的硅片（晶圆）制造技术领域，具体涉及一种硅片载盘及利用该载盘改善重掺双抛光片损伤层的制备工艺。该硅片载盘相较于现有载盘结构，在现有圆形卡槽的中心增加了圆形凹槽的设计，具体载盘结构包括：作为整个结构承重的矩形承载底座，和设于矩形承载底座中部的用于放置硅片的圆形卡槽；在圆形卡槽的内部的承载底座上开设有圆形凹槽；同时，在圆形卡槽的内部的承载底座上设有贯通承载底座的定位槽（也叫定位pin槽）及导热槽。本申请通过调整硅片载盘的结构设计、硅片的受热改为对流及辐射方式，并结合此设备改进对改善重掺双抛光片正面（抛光面）损伤层的制备工艺进行了相关改进，有效降低了硅片表面颗粒。
一种硅片改善重掺双抛光损伤制备工艺

[实用新型]多规格硅片激光割圆支撑座-CN201821607365.0有效
发明人：丁军雄 -专利权人：襄阳赛普尔电子有限公司
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型属于硅片的激光割圆机领域，具体涉及一种多规格硅片激光割圆支撑座。一种多规格硅片激光割圆支撑座，其特征在于；该支撑座包括圆形托板，所述圆形托板的圆心处设有抽真空孔，所述圆形托板下表面设有圆筒型连接件，所述圆筒型连接件与圆形托板共圆心；所述圆形托板上表面设有多个与之共圆心的圆环形凹槽，所述多个圆环形凹槽分别对应多种规格硅片的外径。该支撑座适用多种规格的硅片激光割圆，减少支撑座种类，避免了更换支撑座及找中心的麻烦；并且也避免了在采用大规格的硅片做小规格的片子切割时硅片被吹断，减少废品损失。
硅片支撑座圆形托板割圆激光圆环形凹槽共圆心连接件圆筒型本实用新型抽真空孔废品损失上表面下表面圆心处切割

[实用新型]圆形硅片的电极面图案结构-CN201220245684.8有效
发明人：钱腾达;顾锡淼 -专利权人：嘉兴优太太阳能有限公司
申请日： 2012-05-25 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本实用新型提供一种圆形硅片的电极面图案结构，包括圆形硅片、以及设置在所述圆形硅片上的主栅线，所述圆形硅片上包括中央区域和外围区域，其中，所述中央区域被包围在所述外围区域中，所述中央区域内设置有中央副栅线本实用新型的硅片形状采用圆形，因此不会因切割而造成浪费，并且对圆形硅片的不同区域设置不同形状的副栅线，提高对电荷富集能力的同时降低了银浆的使用量。
圆形硅片电极图案结构

[发明专利]一种用于硅片外延生长的基座以及装置-CN202310566178.1在审
发明人：俎世琦;金柱炫 -专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种用于硅片外延生长的基座以及装置；所述基座包括：与硅片不相接触的环形区域，所述环形区域位于基座的周向边缘；与硅片相接触的圆形区域，所述圆形区域处于所述环形区域的径向内侧；其中，所述圆形区域被划分为圆形子区域以及多个环形子区域，且在所述圆形子区域以及多个环形子区域中均设置有不同分布密度的孔洞以通过所述孔洞变更硅片表面区域的温度分布。
一种用于硅片外延生长基座以及装置

[发明专利]一种控制硅片抛光表面微划伤的装置及工艺方法-CN202111079725.0有效
发明人：张森阳 -专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制硅片抛光表面微划伤的装置及工艺方法，包括底座箱和上机箱，上机箱的中部串接有打磨箱，打磨箱的左侧开设有贯穿口，上机箱内腔的左侧设有定位挤压机构，本发明涉及硅片抛光技术领域。该控制硅片抛光表面微划伤的装置及工艺方法，通过第一电推杆带动边缘抛光机构下移，螺杆与边角抛光石螺旋转动，边角抛光石夹持在圆形硅片的两侧，适于多种规圆形硅片进行边角抛光，喷水头喷在圆形硅片上部的边缘，排水胶条接取喷水头处喷出冲洗的离子水，刮水胶条对圆形硅片下部吸附的研磨液进行刮除，避免杂质吸附和研磨液长时间腐蚀，影响抛光效果，抛光块对硅片的边缘的表面进行修复，更好的控制硅片表面的微划伤。
一种控制硅片抛光表面划伤装置工艺方法

[实用新型]一种新型硅片-CN201521013030.2有效
发明人：江菊玲 -专利权人：嘉兴晶格电子科技有限公司
申请日： 2015-12-08 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型硅片，其特征在于：包括硅片本体，所述的硅片本体呈圆柱状，所述的硅片本体中端设有第一圆形通孔，所述的第一圆形通孔的左端设有第二圆形通孔和第三圆形通孔，该第二圆形通孔位于第三圆形通孔的上方，且第二圆形通孔的直径与第三圆形通孔的直径比值为2，所述的第一圆形通孔的右端设有第四圆形通孔和第五圆形通孔，该第四圆形通孔位于第五圆形通孔的上方，且第四圆形通孔的直径与第五圆形通孔的直径比值为0.5；本实用新型在于：此结构设计保证了硅片在安装过程中时，由于表面为圆形面，就算碰撞外物，也不会使硅片缺角或破裂现象发生，整体强度较强，保证了使用寿命。
一种新型硅片

[发明专利]一种自动圆形硅片插片机构-CN201710879212.5在审
发明人：甄辉;齐风;李丽娟;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种自动圆形硅片插片机构，包括依次设置的分片部、传输部和插片部，其中，分片部用于分离叠在一起的硅片；传输部用于传输分离的硅片；插片部用于将传输而来的硅片插入硅片装载装置。本发明的有益效果是解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，实现圆形硅片插片的自动化作业。
硅片圆形硅片插片机构插片部传输部插片硅片装载装置自动化作业传输易碎依次设置污染

[发明专利]一种自动圆形硅片插片机-CN201710879218.2在审
发明人：甄辉;齐风;徐艳超;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种自动圆形硅片插片机，包括依次设置的插片机构和抓取机构，其中，插片机构，用于将叠放在一起的硅片分离并且将分离的硅片插入并装满硅片装载装置；抓取机构，用于移送满载的硅片装载装置。本发明的有益效果是解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，实现圆形硅片插片的自动化作业。
圆形硅片硅片硅片装载装置插片机构抓取机构插片机插片自动化作业易碎依次设置装满满载污染

[实用新型]一种自动圆形硅片插片机构-CN201721238254.2有效
发明人：甄辉;齐风;尚杰;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动圆形硅片插片机构，包括依次设置的分片部、传输部和插片部，其中，分片部用于分离叠在一起的硅片；传输部用于传输分离的硅片；插片部用于将传输而来的硅片插入硅片装载装置。本实用新型的有益效果是解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，实现圆形硅片插片的自动化作业。
硅片圆形硅片本实用新型插片机构插片部传输部插片硅片装载装置自动化作业传输易碎依次设置污染

[实用新型]太阳能电池和照明装置-CN201220526685.X有效
发明人：冯文宏;田树全 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2012-10-15 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：太阳能电池包括：硅片，硅片为圆形。本实用新型中的太阳能电池通过圆形的硅片吸收太阳能，与现有技术中方形硅片相比，由于圆形的硅片与灯罩之间存在的间隙小，因而增加了有效接收太阳能的面积，从而使本实用新型中的硅片具有发电效率高的特点。
太阳能电池照明装置

[实用新型]一种圆形硅片装卸装置-CN202020802917.4有效
发明人：马玉水 -专利权人：马玉水
申请日： 2020-05-15 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种圆形硅片装卸装置，包括安装在底板旋转轴上的底板，底板的顶面的中部通过支撑架安装有纵向方筒组；纵向方筒组的各纵向方筒的正前方设有一硅片放置盒支架，各硅片放置盒支架上安装一敞开端与所述纵向方筒的前端对接的硅片放置盒；硅片放置盒上纵向设有若干硅片槽；各纵向方筒的底面上纵向设有与其正前方的硅片放置盒的各硅片槽位置相对应的滚动槽；纵向方筒组的后端设有清洗篮固定架，清洗篮固定架上设有可使硅片旋转腐蚀的清洗篮，可使硅片旋转腐蚀的清洗篮的硅片出入口与纵向方筒组的后端相接触本实用新型圆形硅片装卸装置装载、卸载圆形硅片时，具有装片快速，不易碎片，不容易划伤操作者的手的特点。
一种圆形硅片装卸装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条