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- [发明专利]圆槽加工铣刀-CN201410729418.6在审
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钱凯
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常州市仁达合金工具有限公司
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2014-12-04
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2015-03-25
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B23C5/10
- 本发明涉及刀具技术领域，具体涉及一种圆槽加工铣刀,包括刀柄及刀头，刀柄与刀头连接，其特征在于，所述刀头包括刀架、滑道及滑块，刀架与刀柄连接，刀架上设有滑道，滑道两侧均套装有滑块，所述刀架和滑道上开设有相通的腰形孔，滑道及滑块通过穿过腰形孔的螺杆连接，所述滑块下面均连接有切削刀，所述刀柄和刀头上开设有放置定位杆的槽孔，槽孔内设有定位杆，所述定位杆与槽孔内上表面之间设有弹簧，弹簧一端与定位杆上表面连接，另一端与槽孔内上表面连接，所述定位杆的顶端为圆弧形，本发明提供一种便于中心定位，在平面上加工圆槽方便的圆槽加工铣刀。
- 加工铣刀
- [发明专利]晶圆浸泡槽-CN201910344800.8有效
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王静强;徐福兴;黄锡钦
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昆山基侑电子科技有限公司
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2019-04-26
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2023-07-25
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H01L21/67
- 为了解决现有技术中晶圆浸泡时间长的技术问题，本发明提供了晶圆浸泡槽，槽体内设置有用于吊装晶舟或者提篮的拉杆组件；拉杆组件包括夹持件、连接件、外管件和内拉杆件，外管件套装在内拉杆件的外部，夹持件与外管件固连，连接件与内拉杆件铰接，夹持件和连接件均与晶舟或者提篮铰接；槽体外部设置有第一伺服滚珠丝杆副组件和第二伺服滚珠丝杆副组件，第一伺服滚珠丝杆副组件带动晶圆离开或者没入化学品中，第一伺服滚珠丝杆副组件通过提高或者降低内拉杆件的高度从而调整晶圆的倾斜的角度，第一伺服滚珠丝杆副组件不停反复运动实现了晶圆在浸泡槽内的反复晃动，被搅动的化学品不停冲击晶圆表面，加速了晶圆表面杂质的剥离速度。
- 浸泡
- [实用新型]晶圆清洗槽-CN202022781192.8有效
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刘佳鑫;童灿钊;赵冬冬;李迁;巫礼杰;仰瑞;高云峰
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大族激光科技产业集团股份有限公司
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2020-11-25
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2021-10-29
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B08B3/02
- 本实用新型实施例公开了一种晶圆清洗槽，包括清洗池、转轴、晶圆载台和清洗喷头，晶圆载台和清洗喷头均设置在清洗池内，清洗池是由侧壁和底座围成的桶状结构，转轴设置在所述底座上，转轴的一端与所述晶圆载台连接从而带动晶圆载台转动，清洗喷头位于所述晶圆载台的上方，清洗喷头用于向晶圆载台喷淋清洗液，侧壁的内表面对应所述晶圆载台的位置设有缓冲层。清洗时被甩出的清洗液和晶圆碎屑以高速撞击到清洗池侧壁时，先撞击到缓冲层上，基于缓冲层的缓冲作用，有效防止清洗液和晶圆碎屑反弹，提高了晶圆的清洗质量，也避免了晶圆和零件被刮伤。
- 清洗
- [实用新型]一种装饰材料分切机-CN201620131526.8有效
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周德义
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广州缘艺包装材料有限公司
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2016-02-19
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2016-08-24
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B26D7/08
- 本实用新型涉及一种装饰材料分切机，包括海绵放置槽(1)，海绵(2)，圆切槽(3)，圆刀片(4)以及圆刀座(5)，所述海绵(2)放置于海绵放置槽(1)中，所述海绵放置槽(1)和海绵(2)上设置有圆切槽(3)，所述圆刀片(4)紧靠两个圆刀座(5)并固定，所述圆刀片(4)与圆切槽(3)的位置对应设置。还包括加油座固定轴(6)，刀片固定轴(7)以及刀座固定轴(8)，所述海绵放置槽(1)，海绵(2)以及圆切槽(3)为多组，均固定在加油座固定轴(6)上，所述圆刀片(4)固定在刀片固定轴(7)上，所述圆刀座(5)为多个，均固定在刀座固定轴(8)上。
- 一种装饰材料分切机
- [发明专利]一种片盒翻转装置-CN202210948368.5在审
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王阳;魏猛;张佳男
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芯达半导体设备（苏州）有限公司
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2022-08-09
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2022-10-04
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H01L21/673
- 本发明属于晶圆浸泡工艺技术领域，特别涉及一种片盒翻转装置。该片盒包括两组侧板及设置于两组侧板之间且呈周向分布的多个晶圆固定组件，各晶圆固定组件上开设有深度不同的第一晶圆固定槽和第二晶圆固定槽，通过第一晶圆固定槽和第二晶圆固定槽分别支撑不同尺寸的晶圆；晶圆固定组件包括主体支杆，主体支杆上呈线性等距设置有多个凸块，第一晶圆固定槽开设于各凸块的末端端面上，第二晶圆固定槽开设于两个凸块之间，且第二晶圆固定槽的深度大于第一晶圆固定槽的深度。本发明在两组侧板之间设置若干组晶圆固定组件，以容纳多种尺寸的晶圆片，达到结构简单，制备方便，成本低，可调节并节省空间的目的。
- 一种翻转装置
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