|
钻瓜专利网为您找到相关结果 4205399个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种图形化蓝宝石衬底及其制备方法-CN201811026247.5有效
-
孙逊运
-
孙逊运
-
2018-09-04
-
2021-06-29
-
H01L33/20
- 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其是涉及一种图形化蓝宝石衬底及其制备方法。所述图形化蓝宝石衬底,包括蓝宝石平片和在其表面形成的图形化的含硅有机涂层。所述制备方法包括如下步骤:(a)在蓝宝石平片表面涂覆形成含硅有机涂层;(b)在含硅有机涂层表面涂覆光刻胶形成光刻胶层,光刻形成掩膜图形;(c)在光刻胶层的保护下刻蚀含硅有机涂层,将图形转移至含硅有机涂层,去除光刻胶,得到所述图形化蓝宝石衬底。本发明以图形化的含硅有机涂层替代传统的图形化蓝宝石衬底,所述含硅有机涂层的折射率比蓝宝石低,能够有效增加衬底对光的散射效果,提高LED的发光效率;并且,其硬度低于蓝宝石,增大了光刻和刻蚀工艺的宽容度,降低了生产成本
- 一种图形蓝宝石衬底及其制备方法
|