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[发明专利]硅基低漏电流双悬臂梁可动栅NMOS相位检测器-CN201510377659.3有效
发明人：廖小平;闫浩 -专利权人：东南大学
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： G01R25/00 文献下载
摘要：本发明的硅基低漏电流双悬臂梁可动栅NMOS相位检测器，由双悬臂梁可动栅NMOS管和低通滤波器构成。NMOS管为增强型，制作在Si衬底上，栅极悬浮在栅氧化层上方，与下拉电极和绝缘层共同构成一个悬臂梁可动结构。悬臂梁的下拉偏置电压设计等于NMOS管的阈值电压。当双悬臂梁都被下拉时，输入信号通过双悬臂梁可动栅NMOS管实现信号相乘，经低通滤波器后完成相位检测。当仅其中一个悬臂梁被下拉时，器件具有较高击穿电压，被选通的信号经过双悬臂梁可动栅NMOS管实现信号放大，从而使得同一电路可以在信号放大与相位检测两种不同模式下切换。同时由于悬臂梁可动栅的设计使得器件减小了栅极漏电流，有效地降低了漏电流功耗。
硅基低漏电悬臂梁可动栅 nmos 相位检测器

[发明专利]一种器件以及电子设备-CN202210344948.3在审
发明人：李明;朱怀远;赵飞;徐景辉 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明实施例所提供的器件包括：可动部件以及悬臂梁，所述悬臂梁与所述可动部件连接；所述悬臂梁的横截面具有第一长度和第二长度，所述第一长度大于所述第二长度；所述可动部件与导线连接，所述导线位于所述悬臂梁具有所述第二长度的端部，所述导线用于与所述可动部件之间传输第一电信号，所述悬臂梁扭转的情况下，所述端部的应力小于所述悬臂梁具有所述第一长度的侧壁的应力。
一种器件以及电子设备

[发明专利]MEMS器件、MEMS温度传感器及各自的制作方法-CN201511005347.6有效
发明人：阮炯明;张冬平 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： G01K5/48 文献下载
摘要：一种改进现有MEMS器件悬臂梁可靠性的MEMS器件及其制作方法，以及改进现有MEMS温度传感器工艺及结构的MEMS温度传感器及其制作方法。其中，对于MEMS器件，在悬臂梁的可动部与固定部的连接处增加折形结构，对该连接处进行加强，避免其折断。对于MEMS温度传感器，在悬臂梁可动部下表面或上表面设置与其热膨胀系数不同的应变片，使得测量过程中，悬臂梁可动部由于热膨胀系数与应变片不同而发生翘曲形变，悬臂梁可动部与固定电极之间电容发生变化，从而对温度进行探测
悬臂梁温度传感器可动部热膨胀系数应变片制作部下表面测量过程固定电极折形结构电容形变固定部上表面折断可动翘曲改进探测

[发明专利]硅基低漏电流四悬臂梁可动栅MOS管的RS触发器-CN201510380043.1有效
发明人：廖小平;王小虎 -专利权人：东南大学
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： H03K3/012 文献下载
摘要：本发明的硅基低漏电流四悬臂梁可动栅MOS管的RS触发器由一个四悬臂梁可动栅NMOS管和两个电阻构成，该四悬臂梁可动栅NMOS管由源极，漏极，栅极组成，形成漏极‑源极‑漏极的结构，在源极和两个漏极之间分别有两个悬臂梁栅，源极左侧的两个悬臂梁栅的悬浮端之间留有一缝隙，两个悬浮端紧密相连的悬臂梁栅的位置关于该MOS管漏‑源‑漏方向对称，同样地，源极右侧的两个悬臂梁栅也是如此。在该触发器的源极左侧和右侧各有一个悬臂梁栅作为该RS触发器的输入端R和S，输出端在源极右侧的漏极和电阻之间输出，当该RS触发器工作时，当NMOS管处于关断时其悬臂梁栅就处于悬浮态，降低了栅极漏电流，从而降低了电路的功耗
硅基低漏电悬臂梁可动栅 mos rs 触发器

[发明专利]硅基低漏电流双悬臂梁可动栅分频器-CN201510378509.4有效
发明人：廖小平;韩居正 -专利权人：东南大学
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： H03L7/18 文献下载
摘要：本发明的硅基低漏电流双悬臂梁可动栅分频器由硅衬底，N型增强型MOSFET，外接的低通滤波器、压控振荡器、乘法器、高频扼流圈构成。MOSFET的栅极是两个悬浮在栅氧化层上的悬臂梁，由直流偏置控制，并作为参考信号和反馈信号的输入。悬臂梁的下拉电压设计为MOSFET的阈值电压。两个悬臂梁可动栅均处于悬浮状态时，MOSFET截止，栅电容较小，能减小栅极漏电流。两个悬臂梁可动栅均下拉与栅氧化层接触时，MOSFET导通，参考信号和反馈信号经MOSFET相乘，通过低通滤波器、压控振荡器和乘法器实现参考信号的分频。下拉单个悬臂梁可动栅，可实现对单个信号的放大，电路具有多功能。本发明降低漏电流，体积更小，且实现多功能。
硅基低漏电悬臂梁可动栅分频器

[发明专利]基于硅基低漏电流双悬臂梁可动栅或非门的RS触发器-CN201510379369.2有效
发明人：廖小平;严嘉彬 -专利权人：东南大学
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： H03K3/012 文献下载
摘要：本发明的基于硅基低漏电流双悬臂梁可动栅MOSFET或非门的RS触发器，原理和结构简单，由基于Si基低漏电流双悬臂梁可动栅MOSFET实现的或非门电路构成RS触发器，降低成本的同时减小了功耗。由于悬臂梁结构在非工作状态时的漏电流极低，有效地降低了功耗。在MOSFET沟道上方对称设计的两个悬臂梁作为可动栅极，在悬臂梁下方各有一个下拉电极，下拉电极上覆盖着一层绝缘的氮化硅介质层。当MOSFET两个输入为低电平时，悬臂梁都处于悬浮状态，MOSFET处于非导通状态，漏极输出为高电平；当至少一个输入端为高电平时，高电平对应的悬臂梁被下拉，此时MOSFET处于导通状态，漏极输出为低电平
基于硅基低漏电悬臂梁可动栅非门 rs 触发器

[发明专利]压电叠层作动器驱动的惯性力发生器-CN201710204928.5有效
发明人：宋来收;夏品奇 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： F16F15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电叠层作动器驱动的惯性力发生器，包括：悬臂梁质量系统、压电叠层作动器及连接件；该悬臂梁质量系统包含悬臂梁和质量块，悬臂梁的自由端连接的质量块运动产生惯性力，悬臂梁的另一端固定于上述的连接件上，压电叠层作动器作为驱动输入，于悬臂梁固支端驱动悬臂梁质量系统。本发明有效利用了压电叠层作动器高驱动力、低驱动位移的驱动特性和悬臂梁质量系统低刚度和高位移放大特性。
压电叠层作动器驱动惯性力发生器

[发明专利]增大自升式平台悬臂梁覆盖能力的方法及装置-CN201510711206.X在审
发明人：王建军;谢梅波;黎剑波;王冬石;宋林松;陈文礼;李春;冼敏元;吴平平 -专利权人：中国海洋石油总公司;中海油田服务股份有限公司
申请日： 2015-10-28 - 公布日： 2016-02-17 - 主分类号： E02B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种增大自升式平台悬臂梁覆盖能力的方法及装置。该装置包括：生产平台；自升式平台船体，位于生产平台的一旁、并与生产平台相间隔；悬臂梁，可移动地安装在船体上，且悬臂梁的一端可伸动至生产平台的上方；和可纵向伸缩的支撑机构，在纵向上位于生产平台和悬臂梁的一端之间、并可伸长而支撑伸出的悬臂梁的一端。本发明提供的增大自升式平台悬臂梁覆盖能力的装置，生产平台上安装有支撑悬臂梁的伸出端的支撑机构，悬臂梁作业时由支撑机构和船体对其进行双端支撑，以此种方式来提升悬臂梁的载荷能力，从而来保证生产平台上边缘井口井位正常作业
增大平台悬臂梁覆盖能力方法装置

[发明专利]硅基低漏电流双悬臂梁可动栅MOS管或非门-CN201510379768.9有效
发明人：廖小平;王小虎 -专利权人：东南大学
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： H03K19/20 文献下载
摘要：本发明的硅基低漏电流双悬臂梁可动栅MOS管或非门由一个双悬臂梁可动栅NMOS管和一个电阻构成，该NMOS管的源极接地，两个悬臂梁栅极作为信号的输入端，漏极都与电阻相接，电阻与电源电压相接；该或非门制作在P型硅衬底上，下拉电极在悬臂梁栅下的部分被在二氧化硅层覆盖，下拉电极接地；该或非门所用的悬臂梁栅MOSFET的栅极并不是直接紧贴在二氧化硅层上方，而是依靠锚区的支撑悬浮在二氧化硅层上方；悬臂梁栅的下拉电压设计的与NMOS管的阈值电压相等，当该或非门工作时，当NMOS管处于关断时其悬臂梁栅就处于悬浮态，降低了栅极漏电流，从而降低了电路的功耗。
硅基低漏电悬臂梁可动栅 mos 非门

[发明专利]硅基低漏电流双悬臂梁可动栅倍频器-CN201510378508.X有效
发明人：廖小平;韩居正 -专利权人：东南大学
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2017-12-05 - 主分类号： H03B19/14 文献下载
摘要：本发明的硅基低漏电流双悬臂梁可动栅MOSFET倍频器，由硅衬底，N型增强型MOSFET，以及外接的低通滤波器，压控振荡器，除法器、高频扼流圈构成。MOSFET的栅极是两个悬浮在栅氧化层上的悬臂梁，下拉电压设计为MOSFET的阈值电压，由直流偏置控制，并作为参考信号和反馈信号的输入。当两个悬臂梁可动栅均处于悬浮状态时，MOSFET截止，栅极不与栅氧化层接触，能减小栅极漏电流，降低功耗。当两个悬臂梁可动栅均下拉与栅氧化层接触时，MOSFET导通，参考信号和反馈信号传输到MOSFET相乘，通过外接电路实现参考信号频率的乘法运算。单个悬臂梁可动栅下拉后，可以实现对单个信号的放大，电路具有多功能。本发明降低功耗，体积更小，实现多功能。
硅基低漏电悬臂梁可动栅倍频器

[实用新型]一种水平安定面作动器行程负载模拟装置-CN202122635161.6有效
发明人：张亚威;毕世豪;蒋海洋;马静波;朱性福 -专利权人：新乡航空工业（集团）有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：一种涉及非标准试验设备技术领域的水平安定面作动器行程负载模拟装置，包含底座、悬臂梁、配重组件和加载伸缩缸；所述悬臂梁一端靠近端部位置与底座顶部对应铰接，悬臂梁另一端与底座之间安装有水平安定面作动器，悬臂梁背离水平安定面作动器的一端安装有用于使悬臂梁安装水平安定面作动器上万向节组件后重心位于悬臂梁与底座铰接位置的配重组件；悬臂梁靠近水平安定面作动器的一端与底座之间安装有用于施加模拟负载的加载伸缩缸，悬臂梁对应水平安定面作动器的一侧安装有用于检测水平安定面作动器行程距离的位移传感器；本实用新型结构简单，能够模拟真实环境负载
一种水平安定面作动器行程负载模拟装置

[发明专利]硅基低漏电流悬臂梁可动栅的环形振荡器及制备方法-CN201510379528.9有效
发明人：廖小平;褚晨蕾 -专利权人：东南大学
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： H03L7/099 文献下载
摘要：本发明的硅基低漏电流悬臂梁可动栅的环形振荡器，由三个CMOS倒相器首尾相接而构成，而这三个CMOS倒相器是由具有MEMS悬臂梁栅的NMOS和PMOS组成。该环形振荡器基于Si衬底，其中的NMOS和PMOS的栅极是悬浮在氧化层上方的悬臂梁，该悬臂梁由Al制作，在悬臂梁栅下方有一个下拉电极，其中NMOS悬臂梁栅下方的下拉电极是接地的，而POMS悬臂梁栅下方的下拉电极是接电源电压的，悬臂梁栅NMOS管和悬臂梁栅PMOS管的阈值电压的绝对值设计为相等，悬臂梁栅的下拉电压设计为MOS管的阈值电压的绝对值。
硅基低漏电悬臂梁可动栅环形振荡器制备方法

[发明专利]一种基于悬臂梁的压电主动减振装置-CN201810805458.2有效
发明人：陈昊;王晓辉;沈景凤;金权;任文豹;何俊;徐海峰;杨友利 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F16F15/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于悬臂梁的压电主动减振装置，涉及悬臂梁技术领域，包括支撑模块，悬臂梁和控制模块；所述悬臂梁设置于所述支撑模块上，所述控制模块用于有效抑制所述悬臂梁的振动；所述支撑模块包括底座和支撑臂，所述支撑臂被设置于所述底座的上部；所述悬臂梁的第一端固定于所述支撑臂上；所述控制模块包括控制器，压电作动器和压电传感器，所述控制器设置于所述支撑臂上，所述压电作动器设置于所述悬臂梁的第二端上表面，所述压电传感器设置于所述悬臂梁的第二端下表面；所述压电作动器和所述压电传感器通过所述控制器与外界电源电性连接。本发明的减振装置，设计合理，实用性强，且可以有效抑制悬臂梁的振动。
一种基于悬臂梁压电主动装置

[发明专利]光可变衰减器和光组件-CN03815277.0无效
发明人：片山诚;蟹江智彦;菅沼宽;西村正幸 -专利权人：住友电气工业株式会社
申请日： 2003-06-13 - 公布日： 2005-09-07 - 主分类号： G02B26/02 文献下载
摘要：平面波导(2)的上表面设置悬臂梁(6)，在该悬臂梁(6)的顶端部固定把通过输入用光路A的光向输出用光路B反射的可动反射镜(8)，此外，在平面波导(2)的上表面设置电极(9)，悬臂梁(6)和电极(9)通过电压源(11)连接，通过该电压源(11)在悬臂梁(6)和电极(9)之间外加电压，在两者间产生静电，使悬臂梁(6)的顶端一侧部分向电极(9)一侧弯曲，据此，可动反射镜(8)向电极(9)一侧移动。
可变衰减器组件

[实用新型]一种基于悬臂梁的压电主动减振装置-CN201821156759.9有效
发明人：陈昊;王晓辉;沈景凤;金权;任文豹;何俊;徐海峰;杨友利 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： F16F15/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于悬臂梁的压电主动减振装置，涉及悬臂梁技术领域，包括支撑模块，悬臂梁和控制模块；所述悬臂梁设置于所述支撑模块上，所述控制模块用于有效抑制所述悬臂梁的振动；所述支撑模块包括底座和支撑臂，所述支撑臂被设置于所述底座的上部；所述悬臂梁的第一端固定于所述支撑臂上；所述控制模块包括控制器，压电作动器和压电传感器，所述控制器设置于所述支撑臂上，所述压电作动器设置于所述悬臂梁的第二端上表面，所述压电传感器设置于所述悬臂梁的第二端下表面；所述压电作动器和所述压电传感器通过所述控制器与外界电源电性连接。本实用新型的减振装置，设计合理，实用性强，且可以有效抑制悬臂梁的振动。
悬臂梁支撑臂压电传感器压电作动器控制模块支撑模块主动减振装置本实用新型有效抑制控制器压电底座控制器设置电性连接减振装置外界电源第一端上表面下表面

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