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[发明专利]具有匀场功能的双变频微波炉-CN200910113134.3无效
发明人：刘同赞;肖芬;林贤体;彭浪;姚丽霞 -专利权人：厦门大学
申请日： 2009-12-29 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： F24C7/02 文献下载
摘要：具有匀场功能的双变频微波炉，涉及一种微波炉。提供一种能使加热腔内的电磁场和微波功率分布较均匀，使被加热物受热较均匀，可实现明显提高加热质量和速度的具有匀场功能的双变频微波炉。设有炉体、磁控管和磁控管驱动器，炉体设有加热腔和电路装置安装腔，磁控管和磁控管驱动器设于电路装置安装腔内；磁控管驱动器设有变频器、高频变压器、磁控管频率调节模块和磁控管功率稳定模块，变频器输入端接市电低频交流电，变频器输出端接高频变压器输入端，高频变压器输出端分别接磁控管频率调节模块输入端和磁控管功率稳定模块输入端，磁控管频率调节模块输出端和磁控管功率稳定模块输出端分别接磁控管输入端。
具有功能变频微波炉

[发明专利]一种双磁控管溅射装置及半导体工艺设备-CN202110864874.1在审
发明人：李强;王磊 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种双磁控管溅射装置及半导体工艺设备，双磁控管溅射装置包括主旋转横梁、第一磁控管、第二磁控管和旋转部件；第一磁控管与第二磁控管分别设于主旋转横梁的两端；旋转部件包括第一旋转部和第二旋转部，第一旋转部用于连接驱动源以驱动旋转部件自转，第二旋转部与主旋转横梁的中心转动连接，第一旋转部的旋转轴和第二旋转部的旋转轴之间具有预设距离；主旋转横梁上设有限位件，用于在旋转部件正转或者反转时与旋转部件抵接，使旋转部件带动第一磁控管和第二磁控管围绕第二旋转部旋转，且第一磁控管和第二磁控管中的一者在靶材范围内旋转，另一者至少部分在靶材外旋转。
一种双磁控管溅射装置半导体工艺设备

[发明专利]位置控制双磁控管-CN200710165350.3有效
发明人：克里斯托夫·M·帕夫洛夫;温莎·拉姆;则－敬·巩;洪·S·杨;伊扬·理查德·洪 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2007-10-26 - 公布日： 2008-06-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种双磁控管(60)，用于等离子体溅射，其包括源磁控管(62)和辅助磁控管(64)，每一个都关于各自半径处的靶(18)的中心(14)旋转。在溅射沉积(112)和靶清洗(116)之间磁控管的位置能在互补半径方向上移动。磁控管具有不同的尺寸、强度和不平衡特性。源磁控管较小、较结实且是不平衡源磁控管，并且被定位在溅射沉积和蚀刻的晶片边缘附近。辅助磁控管较大，较不牢固，并且较平衡，而且用于清洗靶中心内部和从溅射沉积中的源磁控管导走溅射离子。每个磁控管可在径向外部位置处都使其等离子体短路。
位置控制双磁控管

[实用新型]一种双磁控管底部加热方式微波消解仪-CN202120035850.0有效
发明人：李洋;周江宇 -专利权人：天燚仪器制造（成都）有限公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G01N1/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双磁控管底部加热方式微波消解仪，涉及微波消解技术领域。包括壳体、位于壳体内的炉腔和位于炉腔底部的磁控管；所述壳体上设置有风冷组件，所述磁控管上套设有散热套，所述风冷组件的输出端朝向散热套的外侧壁设置；所述散热套包括四块依次收尾铰接呈中空四棱柱状的散热板，所述散热套上配设有锁紧组件本实用新型的一种双磁控管底部加热方式微波消解仪可将散热套套设于磁控管上，通过移动任意一块加热板以使其中两端加热板与磁控管相对的两侧壁贴合，并通过锁紧组件将散热套固定于磁控管上，具有安装/拆卸方便，适用于现有的多种尺寸的磁控管的优点
一种双磁控管底部加热方式微波消解

[发明专利]用于采用双电源给双磁控管供电的系统和方法-CN201380073138.8有效
发明人： M·查拉戈泽洛;T·H·耶哈;P·K·斯沃因 -专利权人：贺利氏特种光源美国有限责任公司
申请日： 2013-07-30 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： H02J1/00 文献下载
摘要：公开了一种用于采用双电源给双磁控管供电的系统和方法。第一电源给第一磁控管提供第一电压。第二电源给第二磁控管提供第二电压。平衡器电路控制驱动电流，以改变第一磁控管的磁场和第二磁控管的磁场，从而将第一电压和第二电压维持在基本相等的电压。
用于采用双电源双磁控管供电系统方法

[发明专利]在脉冲双磁控管溅射(DMS)工艺中平衡靶消耗的系统和方法-CN201480040877.1有效
发明人： D·克里斯蒂 -专利权人：先进能源工业公司
申请日： 2014-07-16 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：所述系统具有至少一个具有第一磁控管和第二磁控管的双磁控管对，配置每个磁控管以支持靶材。所述系统还具有DMS组件，该DMS组件具有与开关组件和电压传感器连接的直流电源。配置所述DMS组件以独立地控制对每个磁控管的功率的施加，以及提供每个磁控管的电压的测量。所述系统还具有一个或多个致动器，配置所述致动器以使用由所述DMS组件提供的测量控制每个磁控管的电压。配置所述DMS组件和所述一个或多个致动器以响应每个磁控管的电压的测量，通过控制施加到每个磁控管的功率和电压，平衡靶材的消耗。
脉冲双磁控管溅射 dms 工艺平衡消耗系统方法

[发明专利]使用于等离子体溅射室的双磁控管及等离子体溅射的方法-CN201480006631.2有效
发明人：穆罕默德·M·拉希德;汪荣军;清·X·源;唐先明 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-01-23 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：双磁控管，特别有用于RF等离子体溅射，包括径向静止开环磁控管(82)，包括相对磁极(90、92)且绕中央轴(14)旋转以扫描溅射目标(20)的外部区域；和径向可移动式开环磁控管(84)，包括相对磁极(96、98)且与该静止磁控管一起旋转。在处理期间(图2)，该可移动式磁控管以开口端邻接于该静止磁控管的开口端径向地放置于外部区域中，以形成单一开环磁控管。在清理期间(图3)，该可移动式磁控管的部分径向地向内移动以扫描及清理目标未被该静止磁控管扫描的内部区域。该可移动式磁控管可装设于臂(114)上，该臂于旋转碟状平板(100)的周边处绕轴(118)转动，该静止磁控管装设于该碟状平板，使得该臂离心地根据旋转速率或方向在径向位置间移动。
可变半径双磁控管

[实用新型]双变频加热炉-CN201922271909.1有效
发明人：赵在满;凌奇宏 -专利权人：广东美的厨房电器制造有限公司;美的集团股份有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： F24C7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种双变频加热炉，所述加热炉包括炉体，所述炉体内部形成炉腔，所述炉体外部设有磁控管组件和变频器组件，所述磁控管组件用于向所述炉腔内发生微波；所述磁控管组件为两组，两组所述磁控管组件分别设有与其电连接的变频器组件本实用新型通过采用在炉体外部设置两组磁控管组件，并且在每组磁控管组件上分别设置变频器组件，使得两组磁控管组件同时运行，实现对炉腔内快速微波加热，进而加快烹制食物的效率；由于两组磁控管组件分别向炉腔内馈入微波
变频加热炉

[实用新型]一种双U型冷却水套及设有该冷却水套的磁控管-CN201420304404.5有效
发明人：刘川来;姚永;李玉峰;方国帅;刘军明 -专利权人：青岛东方循环能源有限公司;软控股份有限公司
申请日： 2014-06-09 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： H01J23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双U型冷却水套及设有该冷却水套的磁控管，所述冷却水套内部设有两个U型的水流通道，分别为上层水道和下层水道；所述冷却水套的一侧设有上层水道进水口和上层水道出水口，所述冷却水套的另一侧设有下层水道进水口和下层水道出水口还公开了一种设有所述双U型冷却水套的磁控管。本实用新型的双U形冷却水套结构使水套上各个侧面都有循环水流过，增强了水冷套的冷却效果，提高了磁控管长时间工作的稳定性，增加了磁控管的使用寿命，同时该种结构的双U形冷却水套结构是采用机械加工技术成型，避免了结构内部气泡的出现，提高散热性能，从而提高了磁控管的效率，并且可延长磁控管的使用寿命。
一种冷却水设有磁控管

[发明专利]一种轴向双结构双频输出微波炉用磁控管-CN201910836841.9有效
发明人：殷勇;赵禹;蒙林;李海龙;王彬 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： H01J23/087 文献下载
摘要：本发明公开了一种轴向双结构双频输出微波炉用磁控管，包括：阳极结构、阴极结构、输入结构和输出部件；本发明提供了一种能实现双端双频输出功率的微波炉用磁控管结构，这种结构简单，可以在常规电压下工作，两个腔的输出频率和相位不同，并且输出功率可达到现有的微波炉用磁控管的功率的1.2～2倍。
一种轴向结构双频输出微波炉用磁控管

[实用新型]同轴双圆锥无极灯-CN201120072612.3无效
发明人：金行星;雷彩云 -专利权人：雷彩云
申请日： 2011-03-17 - 公布日： 2011-10-26 - 主分类号： H01J65/04 文献下载
摘要：一种同轴双圆锥无极灯，包括产生微波的带磁控管天线(6)的磁控管(2)，与磁控管(2)相连接的第一圆锥波导(3)，磁控管天线(6)位于第一圆锥波导(3)中，第一圆锥波导(3)开口端设有法兰盘(4)，法兰盘，第一圆锥波导(3)、法兰盘(4)和金属屏蔽网(5)组成微波腔，微波腔中装有无极灯泡(1)，无极灯泡(1)通过石英棒(7)、过渡接头(8)与设于微波腔外的微电机(9)的输出轴相连接，无极灯泡(1)正对磁控管天线(6)且保持一段距离，其特征是金属屏蔽网(5)向外凸出，在磁控管天线(6)外面包有云母层(11)。
同轴圆锥无极

[发明专利]医用电子直线加速器的双调制器控制系统-CN201310099513.8有效
发明人：吴建兴;王小军;王春波;沙亮;高阳;柘江;彭东风 -专利权人：江苏海明医疗器械有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种医用电子直线加速器的双调制器控制系统，包含磁控管调制器、栅控电子枪调制器、磁控管、栅控电子枪、加速管、三个微波检测电路、反馈式微波系统、治疗头、自动剂量控制系统和数字信号处理系统；数字信号处理系统分别连接磁控管调制器和电子枪调制器，磁控管调制器连接磁控管，磁控管与反馈式微波系统之间连接有一个微波检测电路，其余两个微波检测电路分别连接在加速管入口和出口与反馈式微波系统之间；磁控管调制器、三路微波检测电路和自动剂量控制系统分别与数字信号处理系统连接
医用电子直线加速器调制器控制系统

[发明专利]一种石墨双极板燃料电池的冷启动装置和方法-CN202010955840.9在审
发明人：何书默;潘建欣;张奥;杨军;刘剑剑 -专利权人：武汉长海电力推进和化学电源有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： H01M8/04225 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨双极板燃料电池的冷启动装置，包括与燃料电池电堆连接的燃料电池系统控制器以及与燃料电池系统控制器连接的微波辅助装置，所述的微波辅助装置由变压器、二极管、磁控管和波导管构成，所述的磁控管由磁控管本体和产生驱动磁控管本体所需的微波脉冲的磁控管驱动线圈组成，所述的二极管和磁控管之间连接有防止所述微波脉冲传导回微波辅助装置的电容器，所述的微波辅助装置上还连接有外接电源；还公开了其启动方法，本发明从电堆内部加热的角度解决石墨堆燃料电池的低温启动问题，微波加热仅加热电堆本体材料
一种石墨极板燃料电池冷启动装置方法

[发明专利]磁控溅射镀膜腔室、镀膜机以及镀膜方法-CN202111316908.X有效
发明人：谭志 -专利权人：武汉中维创发工业研究院有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：该磁控溅射镀膜腔室包括镀膜罩，样品台以及多个由外到内分布的磁控管组。其中，各磁控管组中具有偶数个磁控管且第1磁控管组的磁控管组中磁控管的数量≥4，第2磁控管组的磁控管组中磁控管的数量≥2，磁控管包括内磁体和位于内磁体两侧的两个外磁体，内磁体的极性与外磁体的极性相反。第1磁控管组中相邻的两个磁控管的外磁体的极性相反，所述第2磁控管组中相邻的两个磁控管的外磁体的极性相同。此时第2磁控管组中磁控管的磁力线会向外围延伸，同时被第1磁控管组中磁控管的磁力线束缚，这样可以有效提高等离子体的溅射纵深，进而提高大尺寸基材表面镀层厚度的均匀性。
磁控溅射镀膜以及方法

[实用新型]微波治疗仪的多路输出装置-CN00217604.1无效
发明人：孟来红 -专利权人：上海市电子物理研究所
申请日： 2000-05-15 - 公布日： 2001-05-30 - 主分类号： A61N5/02 文献下载
摘要：微波治疗仪的多路输出装置,其特点是包括一具有两个以上微波输出接口的微波磁控管以及与该微波磁控管的输出接口配套连接的两个以上辐射器;具有两个以上输出接口的微波磁控管设在治疗仪的壳体内,其微波输出接口伸出在壳体外;各辐射器通过各自的支架设在治疗仪壳体外,并分别通过电缆线与微波磁控管的各输出接口相连接。使一台微波治疗仪利用一磁控管即达到双(多)路输出、发挥两(多)台机器的作用,使机器体积小,制造成本降低,效率提高。
微波治疗输出装置

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