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[发明专利]双斐索腔动态短相干干涉测量装置及方法-CN202010735522.1有效
发明人：李建欣;宗毅;段明亮 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种双斐索腔的动态短相干干涉测量装置及方法，该装置包括：用于产生两对正交偏振光的双斐索腔短相干照明系统，用于对正交偏振光扩束准直的扩束系统，用于构成s波斐索干涉腔和p波斐索干涉腔的双斐索干涉腔，用于对反射光束准直缩束的准直系统，用于调节双斐索干涉腔反射光束中s波的传播方向的s波通道，用于调双斐索干涉腔反射光束中p波的传播方向的p波通道，用于分离s波斐索干涉腔和p波斐索干涉腔的反射光束的分光系统，用于获取双斐索腔的干涉信息，并对待测面成像的成像系统。
双斐索腔动态相干干涉测量装置方法

[发明专利]斐索激光干涉仪标准镜头及斐索激光干涉仪-CN201610633535.1有效
发明人：曲艺;高松涛;苗二龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-08-04 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种斐索激光干涉仪标准镜头以及斐索激光干涉仪。该斐索激光干涉仪标准镜头包括：光阑及同轴设置的标准镜头主体，所述标准镜头主体包括面向所述光阑的第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面上设置有中心对称的衍射环。本发明提供的斐索激光干涉仪标准镜头以及斐索激光干涉仪具有结构简单，成本低的优点。
激光干涉仪标准镜头

[发明专利]一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜-CN201410613531.8在审
发明人：曲艺;苏东奇;彭石军;苗二龙;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-10-31 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜，涉及光学镜头设计领域，包括：光阑、镜头组分和参考面；干涉仪发出两束不同波长的入射光，通过光阑后，使入射光的口径与镜头组分的口径匹配；镜头组分将入射光会聚在参考面的球心位置不同于现有商业化产品只工作在一个波长的特点，双波长斐索激光干涉仪标准参考镜同时具有两个工作波长，可以满足4英寸至12英寸不同入射口径菲索激光干涉仪的使用要求，扩展单波长标准参考镜的检测能力。
一种波长激光干涉仪标准参考

[发明专利]一种大角度斐索干涉仪波长测量装置-CN202211254311.1在审
发明人：张善超;彭卫军;黄威龙;林芳州;王嘉璇 -专利权人：华南师范大学
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了大角度斐索干涉仪波长测量装置，包括沿主光路共轴依次放置的光纤端口、离轴抛物面镜、斐索干涉仪、柱面镜和线阵ccd；激光通过光纤端口入射到离轴抛物面镜上进行准直，将从光纤端口出射的散射光准直成具有一定光斑大小的平行光；准直后的光入射到斐索干涉仪，从斐索干涉仪反射出来的光通过柱面镜入射到线阵ccd上形成干涉条纹；柱面镜把斐索干涉仪反射出的干涉条纹在竖直方向进行缩束，增大最终入射到线阵ccd上的干涉条纹的光强。本发明所用的斐索干涉仪避免了不想要的反射面所产生的反射光对最终干涉条纹产生的影响，提高了波长最终的测量精度。带角度的楔形窗口镜组成的斐索干涉仪避免了镀膜使得可用波长范围变得很宽。
一种角度干涉仪波长测量装置

[发明专利]基于光纤斐索干涉的自适应宽带测振系统-CN201910947923.0有效
发明人：阚威威;李秋雨;杨炯;张晓明;曾超 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光纤斐索干涉的自适应宽带测振系统，包括压电微位移控制器、光纤斐索干涉仪、光电转换模块、可调放大电路、FPGA模块和压电位移控制模块，光纤斐索干涉仪包括激光器、隔离器和耦合器，能够实现稳定的激光输出、干涉及探测；压电微位移控制器实现微小位移控制，自动寻找最佳工作点；双路的光电转换模块分别处理低频和高频信号；本发明能够在很宽频带内测量物体表面的振动情况，实现从DC到50MHz带宽内的离面位移检测，并具备可拓展到近
基于光纤干涉自适应宽带系统

[发明专利]一种透镜中心厚度的自动测量装置与检测方法-CN202211609665.3在审
发明人：李志松;孙佳兴;崔佳雯;翟天宝;徐潇;胡红磊 -专利权人：上海电机学院
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种透镜中心厚度的自动测量装置与检测方法，包括光谱共焦系统和斐索干涉系统，光谱共焦系统包括光源、共焦小孔和光学系统，光学系统包括第一半反半透镜、色焦镜头和分光镜；斐索干涉系统包括斐索干涉仪和计算机，斐索干涉仪包括激光发射组件和第一成像镜、参考镜、第二扩束镜、第二半反半透镜、第二成像镜和CCD相机。本发明利用光谱共焦系统测得带有误差分量的透镜中心厚度，在斐索干涉系统中利用视场标定与Zernike波面拟合对待测透镜的物理平移误差分量、倾斜误差分量进行实时检测，并利用误差修正公式对已测得的透镜中心厚度进行自动校正
一种透镜中心厚度自动测量装置检测方法

[发明专利]一种双侧斐索干涉仪检测装置-CN202110383929.7有效
发明人：魏相宇;唐锋;卢云君;郭福东;王向朝;陈梦来 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2021-04-09 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：一种双侧斐索干涉仪检测装置，包括光源模块，第一干涉仪主机，第二干涉仪主机，第一标准镜，第二标准镜，被测非透明平面；所述的第一干涉仪主机、第二干涉仪主机均为斐索干涉仪。本发明将点光源位于准直镜的焦面但不在焦点上，从而使经准直镜透射的出射光与干涉仪光轴具有夹角，通过与光阑配合，使对侧干涉仪的出射光进入到本侧干涉仪后，汇聚在光阑的遮光区，不影响本侧干涉仪干涉图的接收；或者使用光开关
一种双侧斐索干涉仪检测装置

[发明专利]一种使用旋转径向光栅的斐索型同步移相干涉测试装置-CN201310101855.9无效
发明人：李建欣;郭仁慧;王小锋;沈华;马骏;朱日宏;陈磊;何勇;高志山;王青;季荣 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2013-03-27 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种使用旋转径向光栅的斐索型同步移相干涉测试装置，包括斐索型干涉光路部分和多普勒频移调谐移相部分，且斐索型干涉光路部分位于多普勒频移调谐移相部分的前端，其中斐索型干涉光路部分由激光器、扩束镜、
一种使用旋转径向光栅斐索型同步相干测试装置

[发明专利]可实时测量的同步相移斐索干涉装置-CN201210039555.8有效
发明人：姚保利;郜鹏;闵俊伟;雷铭;严绍辉;杨延龙;叶彤 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2012-02-21 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明目的是提供一种能对物体表面形貌进行实时高精度测量的同步相移斐索干涉装置。本发明将同步相移技术和斐索干涉方法相结合，解决了传统干涉仪稳定性差、测量精度低、不能实时测量等技术问题。该可实时测量的同步相移斐索干涉装置包括照明单元、干涉单元、同步相移单元。本发明采用同轴干涉光路，充分利用了CCD的空间带宽积，与离轴光路相比具有更高的空间分辨率；本发明采用1/4波片代替传统斐索干涉仪中的玻璃平板，使得物光和参考光具有正交的偏振方向，在实现同步相移前提下保持装置结构的紧凑性
实时测量同步相移干涉装置

[发明专利]一种激光波长测量系统、激光波长计算方法及计算系统-CN202210406141.8在审
发明人：黄建军;金镖;廉哲;刘皓寒 -专利权人：苏州联讯仪器有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：该激光波长测量系统包括：分光装置，用于将待测激光分成呈预设角度布置且分光比为50:50的反射光束和透射光束，所述反射光束和所述透射光束均为平行光束；薄型斐索干涉腔、第一柱面镜和第一线列探测器，依次设置于所述反射光束的下游且均与所述反射光束垂直；厚型斐索干涉腔、第二柱面镜和第二线列探测器，依次设置于所述透射光束的下游且均与所述透射光束垂直，所述薄型斐索干涉腔的厚度小于所述厚型斐索干涉腔的厚度。
一种激光波长测量系统计算方法计算

[发明专利]一种离轴抛物面镜面形精度的检测装置及检测方法-CN201510567241.9有效
发明人：施丽敏 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2015-09-08 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种离轴抛物面镜面形精度的检测装置，由斐索干涉仪、标准球面镜、辅助凹球面柱、基座盘、五维调整架、标准平面镜、二维调整架、承托固定底板、第一底座以及第二底座组成；所述斐索干涉仪上安装有所述标准球面镜，所述标准球面镜是所述斐索干涉仪的光束输出窗口；所述基座盘位于所述斐索干涉仪的下方，所述基座盘上设有待测离轴抛物面镜和辅助凹球面柱；所述基座盘设于所述五维调整架顶面；所述标准平面镜设于所述二维调整架的底面
一种抛物面镜精度检测装置方法

[实用新型]一种离轴抛物面镜面形精度的检测装置-CN201520692195.0有效
发明人：施丽敏 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2015-09-08 - 公布日： 2016-03-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及光学检测技术领域，公开了一种离轴抛物面镜面形精度的检测装置，由斐索干涉仪、标准球面镜、辅助凹球面柱、基座盘、五维调整架、标准平面镜、二维调整架、承托固定底板、第一底座以及第二底座组成；所述斐索干涉仪上安装有所述标准球面镜，所述标准球面镜是所述斐索干涉仪的光束输出窗口；所述基座盘位于所述斐索干涉仪的下方，所述基座盘上设有待测离轴抛物面镜和辅助凹球面柱；所述基座盘设于所述五维调整架顶面；所述标准平面镜设于所述二维调整架的底面
一种抛物面镜精度检测装置

[发明专利]基于斐索干涉仪的氦激光雷达双频测温测风系统及方法-CN202211544782.6在审
发明人：赵若灿;刘映妤;薛向辉;兰家欣;刘振威;陈廷娣;窦贤康 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01S7/483 文献下载
摘要：本发明提供一种基于斐索干涉仪的氦激光雷达双频测温测风系统，包括：发射系统，发射系统包括：至少两台激光器，适用于向待测区域发射频率不同的脉冲激光；接收系统，接收系统包括：望远镜，适用于接收来自待测区域的具有亚稳态氦散射信息的回波信号；滤波片，适用于将望远镜接收到的具有亚稳态氦散射信息的回波信号进行第一级滤波处理；斐索干涉仪，适用于将滤波片处理后的具有亚稳态氦散射信息的回波信号依次进行第二级滤波处理；探测器，适用于接收来自斐索干涉仪处理后的散射回波信号本发明还提供一种基于斐索干涉仪的氦激光雷达双频测温测风方法。
基于干涉仪激光雷达双频测温系统方法

[发明专利]利用斐索干涉仪检测大口径元件膜厚均匀性的方法-CN201611133619.5有效
发明人：才玺坤;武潇野;时光;张立超;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-12-10 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用斐索干涉仪检测大口径元件膜厚均匀性的方法，包括以下步骤：对所述大口径元件进行预处理，消除大口径元件内部残余应力；静置第一预设时间后，利用斐索干涉仪对大口径元件进行面形测量，并标记为初始面形W1；为大口径元件进行镀膜；静置第二预设时间后，利用斐索干涉仪再次对镀膜后的大口径元件进行面形测量，并标记为测试面形W2；利用公式ΔW＝W2‑W1得到镀膜引起的元件面形改变量ΔW；利用面形改变量ΔW对膜厚修正挡板进行优化本发明利用斐索干涉仪检测大口径元件膜厚均匀性，通过镀膜前后分别测量大口径元件的表面面形，将元件两次面形数据相减得到镀膜引起的面形改变量，精确反映了元件的膜厚均匀性水平。
大口径元件斐索干涉仪镀膜膜厚均匀性面形改变量面形测量预设检测预处理挡板表面面形残余应力面形数据元件面形膜厚相减测量修正测试优化

[发明专利]一种锥镜检测装置及其检测方法-CN201210441565.4无效
发明人：程珂;叶青;魏向荣;施丽敏;李旭峰;査雨;顾亚平 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2012-11-08 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种锥镜检测装置由斐索干涉仪、具有圆形光栅的玻璃基底组成，所述的玻璃基底的A面作为参考平面，B面用光刻法制作成圆形光栅，作为光栅面，所述玻璃基底的光栅面B与所述斐索干涉仪输出的单色平行光垂直，以及其检测锥镜方法
一种检测装置及其方法

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