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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]单面抛光机-CN201510822907.0在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：李荣亮
申请日： 2015-11-23 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种单面抛光机，包括机架、抛光机构和PLC控制器，所述抛光机构包括抛光盘和抛光液桶，所述抛光盘包括上定盘和下定盘，所述上定盘和下定盘均设有环形抛光垫，所述抛光垫的背面具有黏合层，且所述抛光垫上开有两个流通槽，所述抛光液桶通过导管连接至所述下定盘的两侧。本发明结构简单，维修便捷，操作方便，能够在对液晶盒的玻璃基板进行减薄的同时完成抛光工序，降低了成本，提高了减薄抛光效率。
单面抛光机

[发明专利]单面抛光机-CN201310534409.7有效
发明人：张卫国;李启庆 -专利权人：苏州辰轩光电科技有限公司
申请日： 2013-11-01 - 公布日： 2014-02-05 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种单面抛光机，包括：机壳，设置在所述机壳内的抛盘、研磨压盘、气缸和旋转电机，所述研磨压盘设置在所述抛盘上方，所述气缸和旋转电机分别控制所述研磨压盘上下动作和旋转，并且所述研磨压盘的内部设置有中心气缸
单面抛光机

[实用新型]单面抛光机-CN201720287716.3有效
发明人：吴秀凤;范镜 -专利权人：深圳赛贝尔自动化设备有限公司
申请日： 2017-03-22 - 公布日： 2017-11-17 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单面抛光机，包括机架、上盘组件、下盘组件和上盘升降机构，机架包括底座、横梁和两根立柱，下盘组件包括作为下盘的真空吸盘、主轴、筒形的轴承座和由电机驱动的减速机，轴承座和减速机分别安装在底座上，轴承座布置在减速机上方，主轴的中部由轴承座中的轴承支承，真空吸盘安装在主轴的上端；主轴自上而下地穿过减速机，由减速机的内部机构驱动；主轴包括中心轴孔，主轴的中心轴孔与真空吸盘的气道相通，主轴下端装有与中心轴孔连通的真空接头
单面抛光机

[实用新型]单面抛光机-CN202020274588.0有效
发明人：林恩芬;何珍恩 -专利权人：温州享恩机械有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：一种单面抛光机。解决了现有压板不能自转使得抛光时废品率高的问题。它包括机架，所述的机架上设有用于待加工物料安放的抛光盘和用于按压待加工物料的压料装置，所述的压料装置包括压板、升降机构和旋转机构，所述的旋转机构包括旋转轴和用于驱动旋转轴旋转的旋转驱动件，所述的压板设于旋转轴上本实用新型的有益效果是，设置了升降机构可以调节压板和抛光盘之间的距离，从而调节压板的按压力，同时设置了旋转机构使得压板能进行自转，不同压料装置上的压板转速相同，从而使得产品抛光效果好，抛光效率高，成品率高
单面抛光机

[实用新型]单面抛光机-CN202220502495.8有效
发明人：邵晓东;田野;王利利 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单面抛光机，包括：机壳；冰机和抛光主机，所述冰机和所述抛光主机设于所述机壳内且在前后方向上排布，所述抛光主机和所述机壳的底壁间隔开以形成维修空间，所述维修空间内排布有多个气管；连接头组件，所述连接头组件包括三通接头、第一软管和第二软管，所述三通接头具有第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口与所述主机连通，所述第二接口通过所述第一软管与所述冰机的出水端连通，所述第三接口通过所述第二软管与所述冰机的回水端连通根据本实用新型的单面抛光机，有利于减少连接头组件和气管之间的磨损，从而减少漏液和漏气的安全隐患。
单面抛光机

[实用新型]单面抛光机-CN201120011734.1无效
发明人：刘亚彪 -专利权人：湖南永创机电设备有限公司
申请日： 2011-01-17 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：单面抛光机，包括控制面板、机架、动力系统、抛光系统、抛光液桶，控制面板利用导线管固定在机架侧面，通过导线与各部分控制模块相连接，抛光液桶安装在机架的另一侧，通过导管经由抛光液泵连接至抛光系统的下定盘两侧，抛光系统和动力系统均安装在机架上。本实用新型结构简单，操作方便，维修便捷，能够对大尺寸FPD、LCD的玻璃基板做高精度的抛光加工。
单面抛光机

[发明专利]一种单面抛光机全自动化生产线-CN202010936074.1在审
发明人：孙文杰;王和;陆柄宇 -专利权人：苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明是一种单面抛光机全自动化生产线，包括若干个单面抛光机，所述单面抛光机沿同一直线方向上等间隔放置并处于同一高度水平上，每个单面抛光机的中部下箱体上设有机械手，用于单面抛光机之间工件的抓取和传递，以保证每个单面抛光机对工件进行一道对应的抛光工序，若干个单面抛光机对工件沿传递方向形成连续的抛光工序，每个所述单面抛光机的后端液路进/出口上连接有对应的抛光液供给组件，各个单面抛光机的后端液路进/出口还连通有液路系统。本发明结构能够完成粗抛、中抛、精抛五段工序的自动化进行，并提供下料、抛光加工、工件检测、陶瓷盘搬运和刷盘功能，提高加工的效率和便捷性，保证了设备的加工精度。
一种单面抛光机自动化生产线

[实用新型]一种单面抛光机全自动化生产线-CN202021942614.9有效
发明人：孙文杰;王和;陆柄宇 -专利权人：苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型是一种单面抛光机全自动化生产线，包括若干个单面抛光机，所述单面抛光机沿同一直线方向上等间隔放置并处于同一高度水平上，每个单面抛光机的中部下箱体上设有机械手，用于单面抛光机之间工件的抓取和传递，以保证每个单面抛光机对工件进行一道对应的抛光工序，若干个单面抛光机对工件沿传递方向形成连续的抛光工序，每个所述单面抛光机的后端液路进/出口上连接有对应的抛光液供给组件，各个单面抛光机的后端液路进/出口还连通有液路系统本实用新型结构能够完成粗抛、中抛、精抛五段工序的自动化进行，并提供下料、抛光加工、工件检测、陶瓷盘搬运和刷盘功能，提高加工的效率和便捷性，保证了设备的加工精度。
一种单面抛光机自动化生产线

[发明专利]抛光盘在线研磨机-CN202010297811.8在审
发明人：寇明虎;郝元龙 -专利权人：北京特思迪设备制造有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： B24B27/033 文献下载
摘要：本发明公开了抛光盘在线研磨机，包括单面抛光机，所述单面抛光机的左侧固定连接有支撑板，所述单面抛光机的右侧安装有升降机构，所述升降机构左侧的顶部安装有平移机构，所述平移机构前侧的右侧安装有主轴固定微进给机构本发明通过设置主轴固定微进给机构、平移机构、升降机构、支撑板和单面抛光机的配合使用，解决了现有的抛光机的抛光盘盘面在安装中极易产生安装误差，同时修整盘面盘形角度会有偏斜，导致抛光效果不好，不便于使用者使用的问题，该抛光盘在线研磨机，具备能够消除大尺寸抛光机抛光盘面跳动的安装误差及修整盘面盘形角度的优点。
抛光在线研磨机

[实用新型]抛光盘在线研磨机-CN202020561068.8有效
发明人：寇明虎;郝元龙 -专利权人：北京特思迪设备制造有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了抛光盘在线研磨机，包括单面抛光机，所述单面抛光机的左侧固定连接有支撑板，所述单面抛光机的右侧安装有升降机构，所述升降机构左侧的顶部安装有平移机构，所述平移机构前侧的右侧安装有主轴固定微进给机构本发明通过设置主轴固定微进给机构、平移机构、升降机构、支撑板和单面抛光机的配合使用，解决了现有的抛光机的抛光盘盘面在安装中极易产生安装误差，同时修整盘面盘形角度会有偏斜，导致抛光效果不好，不便于使用者使用的问题，该抛光盘在线研磨机，具备能够消除大尺寸抛光机抛光盘面跳动的安装误差及修整盘面盘形角度的优点。
抛光在线研磨机

[实用新型]单双面研磨抛光机-CN201820856294.1有效
发明人：曹建平;曹培福;曾正平 -专利权人：湖南省新化县鑫星电子陶瓷有限责任公司
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： B24B37/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单双面研磨抛光机，在现有的单面研磨抛光机的基础上增加辅助抛光装置，使得现有的单面研磨抛光研磨机具备双面抛光的功能，因而无需增加新的双面研磨平抛光机即可实现双面抛光的目的。
双面研磨抛光机单面研磨双面抛光抛光机本实用新型抛光研磨机抛光装置双面研磨

[发明专利]一种利用单面抛光机改造的双面抛光机-CN202211668890.4在审
发明人：刘亚彪;周继国 -专利权人：湖南永创机电设备有限公司
申请日： 2022-12-24 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B24B7/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用单面抛光机改造的双面抛光机，包括单面抛光机本体，单面抛光机本体安装有中间箱体，中间箱体上安装有滑轨，并利用滑轨安装有摇摆箱体，摇摆箱体安装于滑轨上，并约束于滑轨上往复运动，摇摆箱体设置有用以安装上定盘的机械臂，单面抛光机本体还包括下定盘，下定盘与上定盘始终为偏心设置；玻璃夹具盘由导向环、不锈钢板、尼仑挡条组成，不锈钢板中间开设有用以固定玻璃的区域，区域周边安装有尼仑挡条，不锈钢板的外边沿为圆形，刚性连接有导向环该机器综合了双面抛光机和单面抛光的特点，既能抛光大尺寸的产品，又能保证产品的非抛光面不受损害。
一种利用单面抛光机改造双面

[发明专利]一种硅抛光片边缘加工工艺-CN201611159340.4在审
发明人：王新;李耀东;刘斌;路一辰;李俊峰;潘紫龙;韩晨华;王玥 -专利权人：有研半导体材料有限公司
申请日： 2016-12-14 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅抛光片边缘加工工艺。该加工工艺包括以下步骤：(1)使用单面抛光机对碱腐蚀或酸腐蚀后的硅片进行单面粗抛光；(2)使用边缘抛光机对硅片边缘进行抛光处理；(3)使用单面抛光机进行中抛光和精细抛光。本发明提供了一种改善硅抛光片边缘质量的技术路线和加工流程，可以有效提升硅抛光片边缘质量，获得边缘无损伤、更加适合于外延加工的高品质硅抛光片。
硅抛光片单面抛光机边缘加工边缘抛光机硅片边缘技术路线加工流程精细抛光抛光处理粗抛光高品质碱腐蚀酸腐蚀无损伤抛光硅片加工

[实用新型]用于单面抛光机的机械手臂及具有其的单面抛光机-CN202220087373.7有效
发明人：邵晓东 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单面抛光机的机械手臂及具有其的单面抛光机，包括：机座，机座设于单面抛光机的机台；机臂壳，机臂壳的底部与机座可转动地相连，机臂壳的远离机座的一端设有抛光头，机臂壳内设有连接杆，连接杆的一端与机臂壳可转动地相连；气缸件，气缸件包括缸体和推杆，推杆可伸缩地设于缸体，缸体的下端与机座可转动地相连，推杆的自由端与连接杆的另一端通过螺纹连接；螺母，螺母与推杆的外周壁螺纹相连且适于与连接杆止挡配合，机臂壳的一侧侧壁设有检修口根据本实用新型的用于单面抛光机的机械手臂，无需特制工具就可以对抛光头进行压力校正，操作方便，有利于保证对晶圆的抛光品质。
用于单面抛光机机械手臂具有

[发明专利]一种晶圆抛光方法-CN201811524272.6有效
发明人：张黎欢;沈思情;孙强;柏友荣;张俊宝;陈猛 -专利权人：上海超硅半导体有限公司;重庆超硅半导体有限公司
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆抛光方法，使用单面抛光机对晶圆进行双面抛光，单面抛光机包括抛盘、抛光模板和抛光盘，抛光模板与抛盘连接；晶圆抛光方法包括：提供一晶圆，晶圆包括第一待抛光面和第二待抛光面，第一待抛光面与第二待抛光面相对设置；将晶圆放置于抛光模板中，暴露出第一待抛光面；使用抛光盘对第一待抛光面进行抛光；取出晶圆；将晶圆放置于抛光模板中，暴露出第二待抛光面；使用抛光盘对第二待抛光面进行抛光。该晶圆抛光方法，实现使用单面抛光机完成晶圆的双面抛光的目的，降低成本，满足了低端市场对于晶圆的需求。
一种抛光方法

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