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- [发明专利]半导体基板供给方法及半导体基板供给装置-CN201410445924.2有效
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德山秀树;高瀬慎二
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东和株式会社
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2014-09-03
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2017-05-17
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H01L21/677
- 本发明提供向半导体封装模具的半导体基板供给方法及半导体基板供给装置,使用通常的半导体基板运送机构,向具备浇口块模具结构的半导体封装模具中的半导体基板放置用凹处供给并放置半导体基板。在上下两模的合模时将半导体基板运送至待机在固定操作空间位置的半导体基板接收部的位置上,接着将半导体基板固定在半导体基板接收部上,接着向浇口块的伸出部位的上下移动操作空间侧移送半导体基板接收部,接着使半导体基板接收部上固定的半导体基板的表面(半导体元件安装面)与浇口块的伸出部位接合并设定为浇口块的树脂通道用凹槽与半导体基板的表面不接触,接着将上下两模合模并将半导体基板供给并放置在半导体封装模具中的半导体基板放置用凹处。
- 半导体供给方法装置
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