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- [实用新型]光纤气体化学传感器-CN91214863.2无效
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金吉祥
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成都科技大学
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1991-08-20
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1992-03-25
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G01N21/75
- 光纤气体化学传感器是一种测定气体含量的光纤化学传感器，尤其适用于二氧化硫气体的测定。它主要包括传感器体、光导纤维和敏感元件。被测气体扩散进入传感器与敏感元件中的化学试剂进行化学反应后，敏感元件的光学特性发生变化，光导纤维传输变化量信息。本实用新型结构简单、价格低廉、使用方便；在测定二氧化硫气体时，检测灵敏，响应速度快，选择性高。不仅可用于烟道气及其他体系的二氧化硫气体监测，还可在选择合适的敏感元件条件下，用于其他气体含量的测定。
- 光纤气体化学传感器
- [发明专利]具有气体过滤器的气体感测装置-CN202210080365.4在审
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C·特拉范;A·M·罗斯
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英飞凌科技股份有限公司
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2022-01-24
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2022-07-29
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G01N27/12
- 公开了一种用于感测环境气体混合物中的第一气体和至少一种第二气体的具有气体过滤器的气体感测装置；其中气体感测装置包括多个化学电阻式气体感测元件；其中第一化学电阻式气体感测元件的材料组成类似于第二化学电阻式气体感测元件的材料组成；其中第一化学电阻式气体感测元件暴露于环境气体混合物，使得第一感测信号取决于环境气体混合物中的第一气体的浓度和环境气体混合物中的第二气体的浓度；其中气体感测装置包括气体过滤器，使得第二感测信号取决于环境气体混合物中的第一气体的浓度的程度小于第一感测信号，并且使得第二感测信号取决于环境气体混合物中的第二气体的浓度；其中气体感测装置被配置为基于第一感测信号和第二感测信号来估计环境气体混合物中的第一气体的浓度和/或环境气体混合物中的第二气体的浓度。
- 具有气体过滤器装置
- [发明专利]具有气封的化学沉积腔室-CN201410307452.4有效
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拉梅什·钱德拉赛卡兰;桑格伦特·桑普伦格
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朗姆研究公司
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2014-06-30
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2020-10-02
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C23C16/455
- 本发明公开了一种用于密封化学沉积装置中的处理区的系统，所述系统包括：化学隔离腔室，所述化学隔离腔室具有在所述化学隔离腔室内形成的沉积腔室；具有面板的喷头模块，所述喷头模块包括多个将反应器化学物质输送到用于对半导体衬底进行处理的空腔中的入口以及将反应器化学物质和惰性气体从所述空腔中去除的排出口，以及被配置成输送惰性气体的外部充气室；基座模块，所述基座模块被配置成支撑衬底并且垂直移动以封闭所述空腔而在所述基座模块与围绕所述面板的外部部分的台阶之间存在狭窄间隙；以及惰性密封气体进料，所述惰性密封气体进料被配置成将所述惰性密封气体送入到所述外部充气室中，并且其中所述惰性密封气体至少部分地沿径向向内流过所述狭窄间隙以形成气封。
- 有气化学沉积
- [实用新型]化学品供应系统-CN201420454473.4有效
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王学利
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中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
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2014-08-12
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2015-01-07
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F17D1/14
- 本实用新型提供了一种化学品供应系统，包括：化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接；还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。桶空过滤器排放的气液混合物进入到气液分离回收装置内；在气液分离回收装置内，液体下沉，气体上升，气液自然分离。其中，分离出来的液体进入到所述第一管线中，被重复利用；分离出来的气体通过气体平衡器排出，避免了气体进入化学品供应系统的管线。既保证了液体完全回收，避免了化学品的浪费，又保证了化学品供应系统的管道中没有气泡。
- 化学品供应系统
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