专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]投影物镜偏振像差测量方法-CN201810712998.6有效
  • 倪晟 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2018-06-29 - 2020-09-22 - G01M11/02
  • 本发明提供了一种投影物镜偏振像差测量方法,所述投影物镜偏振像差测量方法通过基于光强测量装置测量获得所有组光强值构建为的光强矩阵和所有选取的元素构建的λ函数矩阵计算投影物镜的琼斯矩阵,即本发明的测量方法可以直接计算获得投影物镜的琼斯矩阵,相比现有方法中先测量获得穆勒矩阵,再将穆勒矩阵转换至琼斯矩阵的方法,有效避免因穆勒矩阵转换至琼斯矩阵的退偏效应造成的结果误差,提高了测量和计算精准度。
  • 投影物镜偏振测量方法

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