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[实用新型]一种真空吸附的加热退火装置-CN202222506108.0有效
发明人：刘庆伏;肖平;杨永军;赵志国;赵东明;李新连;付林 -专利权人：华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能青海发电有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空吸附的加热退火装置，包括：加热平台，具有沿周向布置的密封圈，密封圈凸出加热平台的表面并用于支撑基板，基板在加热平台上的竖直投影能够完全遮挡密封圈；真空吸附组件，设置在加热平台上，密封圈饶设在真空吸附组件外侧，真空吸附组件吸附基板时密封圈受压与加热平台平齐。通过真空吸附基板，以使基板靠近加热平台，使基板挤压密封圈，密封圈受压变形，直至基板与加热平台紧密接触，由于密封圈的密封作用，可使加热平台与基板之间密封连接，避免了密封不严，真空吸盘组件吸附时吸附效果不稳定的问题
一种真空吸附加热退火装置

[发明专利]液晶显示装置-CN200510102299.2有效
发明人：赖纪光;赵文山;卢启原 -专利权人：群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司
申请日： 2005-12-07 - 公布日： 2007-06-13 - 主分类号： G02F1/133 文献下载
摘要：本发明涉及一种液晶显示装置包括一第一基板，一与该第一基板相对之第二基板，一夹于该第一基板与第二基板间的液晶层。该液晶显示装置进一步包括至少一加热装置，该加热装置可加热该第一基板及第二基板。
液晶显示装置

[发明专利]加热装置、半导体制造装置-CN201710456969.3在审
发明人：足立昌和 -专利权人：日新离子机器株式会社
申请日： 2017-06-16 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供加热装置和半导体制造装置，能提高加热效率并缩短升温时间，从而实现向加热器投入能量的低电耗化。所述加热装置(20)包括：移送机构(M)，具有支承基板(W)的支承部(1)，在加热位置(HP)和非加热位置(NH)之间移送基板(W)；加热器(4)，在加热位置(HP)上对基板(W)的一个面进行加热；以及热反射板(2)，和基板(W)的另一个面相对、设置在移送机构(M)中，热反射板(2)覆盖基板(W)的另一个面。
加热装置半导体制造

[发明专利]冰箱-CN202010140938.9有效
发明人：关口祯多;平野幸利;关根隆人;舟桥佳邦;小林直之;难波优纪 -专利权人：日立环球生活方案株式会社
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： F25D11/02 文献下载
摘要：本发明将来自加热器的布线极力收纳在配设有加热器的基板内。冰箱具有：能够与工业电源电连接的电源插头；与电源插头电连接的电源基板；分别与电源基板电连接的多个加热器；能够切换加热器的各自的接通‑断开的多个开关；与电源插头电绝缘的控制基板；配设于电源基板并根据来自控制基板的指令来驱动各个开关的加热器微型计算机；以及将加热器微型计算机及控制基板通信地连接的通信线。
冰箱

[发明专利]基板干燥装置及基板处理装置-CN202210282507.5在审
发明人：埀野阳子 -专利权人：芝浦机械电子装置株式会社
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够减少图案闭塞的发生的基板干燥装置及基板处理装置。本发明的实施方式的基板干燥装置(300)具有：加热部(32)，对基板(W)进行加热；干燥室(31)，供在被处理面上形成有处理液所形成的液膜的状态的基板(W)搬入；支撑部(34)，在远离加热部(32)的待机位置(D)上收领搬入到干燥室(31)内的基板(W)；以及驱动机构(35)，使支撑部(34)上支撑的基板(W)一边旋转一边朝接近加热部(32)的干燥位置(U)移动，通过基板(W)的旋转带来的离心力使在自身与被加热部(32)加热后的基板(W)之间产生了气层的液膜排出。
干燥装置处理

[发明专利]基板处理方法和基板处理装置-CN201710850685.2有效
发明人：吉原直彦;奥谷学;太田乔;阿部博史 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-09-20 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供能由有机溶剂良好地处理基板，并使基板良好地干燥的基板处理方法和装置。该方法包括：基板保持工序，将基板保持为水平；基板旋转工序，使基板以沿着铅垂方向的旋转轴线为中心旋转；液膜形成工序，向基板的上表面供给处理上表面的第一有机溶剂，在上表面形成第一有机溶剂的液膜；蒸气供给工序，向具有与基板的下表面相向的相向面的加热器单元的相向面和下表面之间的空间，供给第二有机溶剂的蒸气；基板加热工序，与基板旋转工序和液膜形成工序并行，由第二有机溶剂的蒸气加热旋转状态的基板；基板干燥工序，在基板加热工序后，从基板排除第一有机溶剂的液膜，使基板停止旋转，在将基板与加热器单元接触的状态下，使基板的上表面干燥。
处理方法装置

[实用新型]一种组合式动力电池液冷板-CN202223477592.5有效
发明人：但德鑫;陈军;孟文文 -专利权人：芜湖天弋能源科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01M10/613 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种组合式动力电池液冷板，涉及电力储能技术领域，包括两相同结构的铝制基板，铝制基板的一侧设有安装槽，安装槽内嵌入有铜制导水管，铝制基板的一侧安装有电热片，电热片上安装有加热阻线，铝制基板的一侧粘粘有绝缘层，一组铝制基板的侧壁设有安装块。本实用新型通过加热阻丝对铝制基板直接加热，避免先对冷却液加热后，通过加热的冷却液对铝制基板加热，从而减少热量损失，提升加热效率，同时，铜制导水管与加热阻丝进行弯折且通过凸出与嵌槽相嵌合，保证散热和加热的面积
一种组合式动力电池液冷板

[发明专利]加热装置及加热方法-CN201810715778.9在审
发明人：羽田浩二 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： H05B3/64 文献下载
摘要：本发明提供一种加热装置及加热方法，所述加热装置能够抑制装置的大型化，并且在基板的表面形成高温的气体流，将不需要的气体从基板的表面附近除去。本发明的加热装置具有多个棒状加热器(20)及包覆棒状加热器(20)的多个外管(30)。从供气部供给的气体在外管(30)的内部经棒状加热器(20)加热。而且，从外管(30)的喷出口(32)向基板(9)喷出加热后的气体。借此，在基板(9)的表面形成高温的气体流，将不需要的气体从基板(9)的表面附近除去。另外，基板(9)的加热与气体的加热是由共同的棒状加热器(20)进行。借此抑制装置的大型化。
基板加热棒状加热器加热装置外管表面形成高温抑制装置气体流供气部喷出口包覆喷出

[实用新型]一种环形发热组件和加热容器-CN201621438146.5有效
发明人：卢小平 -专利权人：卢小平
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2017-08-15 - 主分类号： F24H9/18 文献下载
摘要：一种环形发热组件和加热容器，涉及加热装置技术领域，环形发热组件包括加热基板和发热件，发热件焊接于加热基板的底部，加热基板和发热件均为环形，环形发热基板的中部设置有集液装置，液体可经集液装置排出或循环，这样液体流经加热基板的上表面或者液体与加热基板的上表面静态接触时，将增大液体的受热面积，进而使得液体受热更为均匀，同时也提高液体的吸热效率，最后使得整个集液装置的液体水温均匀，提升加热液体的使用效果；本实用新型的加热容器，通过在容器底部安装上述的环形加热组件，使得本实用新型的加热容器对液体的加热更为均匀和高效
一种环形发热组件加热容器

[实用新型]一种电阻热熔融金属丝材3D打印系统-CN201821613542.6有效
发明人：李波波;王强;王万军;任晓飞;卢秉恒;赵纪元 -专利权人：西安增材制造国家研究院有限公司
申请日： 2018-09-30 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： B22F3/115 文献下载
摘要：该系统包括送丝机、导电嘴、基板及电源，送丝机、导电嘴及基板由上至下依次设置，电源的正极与导电嘴连接，电源的负极与基板连接，其特殊之处在于：还包括基板加热组件、局部加热组件和温控系统；基板加热组件包括加热装置和第一测温元件，加热装置固定设置在基板上，第一测温元件安装在基板上；局部加热组件包括第二测温元件和加热元件，加热元件将待打印区域加热，第二测温元件用于测量待打印区域的温度，温控系统分别与加热装置、第一测温元件、第二测温元件和加热元件连接
测温元件基板加热元件加热装置导电嘴电源打印区域打印系统基板加热局部加热熔融金属温控系统组件包括电阻热送丝机丝材正极本实用新型固定设置基板连接金属零件零件成形依次设置负极结合性加热测量制造

[发明专利]一种可降低误差的传感器及其测量方法-CN201210585486.0有效
发明人：李维平;刘清惓;黄标;周晓;佘德群 -专利权人：南京高华科技有限公司
申请日： 2012-12-26 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可降低误差的传感器及其测量方法，传感器结构包括：第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔。测量压力方法：加热电阻通电加热第一基板的空腔，其空腔内空气热胀加压到第二基板膜片；降低加热电阻的加热功率；测量第二基板的膜片上的压力。通过上述步骤，第二基板的膜片可以维持在机械迟滞曲线的卸载线上，能够避免膜片位置的不确定性问题，遏制机械迟滞偏移造成的误差，改善压力传感器的测量精度。
一种降低误差传感器及其测量方法

[实用新型]基板处理装置-CN201920567710.0有效
发明人：中森光则;田中晓;折居武彦;丸山裕隆;南辉臣 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基板处理装置，其在使用处理液对基板进行液体处理后，通过供给挥发性处理液来进行干燥处理，其中，对基板进行加热的基板加热单元在用处理液进行处理的过程中开始向基板的背面供给加热的处理液，由此在供给挥发性处理液之前开始基板的加热，并且在供给挥发性处理液时，向基板的正面供给挥发性处理液的同时向基板的背面供给加热的处理液一定时间，以在基板的表面从挥发性处理液露出之前使基板的表面温度高于露点温度。由此能够防止在基板表面产生水痕而附着微细颗粒的情况。
处理液基板挥发性加热对基板背面基板处理装置基板加热单元本实用新型干燥处理基板表面微细颗粒液体处理附着露点水痕

[发明专利]TFT基板检查装置-CN200680016715.X无效
发明人：小西康雄 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2006-06-13 - 公布日： 2008-05-07 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：一种TFT基板检查装置，能够以短时间利用高温进行基板检查。本发明的TFT基板检查装置(1)包括对已导入的TFT基板(9)进行基板检查的检查室(4)、以及将TFT基板导入至检查室内的加载互锁真空室(2)，加载互锁真空室(2)包括对所导入的TFT基板进行预备加热的加热单元(10)，检查室(4)包括将从加载互锁真空室导入的TFT基板进行保温的保温单元(11)。利用加热单元(10)对TFT基板(9)预备加热，可将处于高温状态下的TFT基板导入至检查室内，因而检查室内无需用于加热至高温的机构，而且无需使检查室内升温的时间即可进行基板检查。
tft 检查装置

[发明专利]基板处理装置、基板处理方法、半导体装置的制造方法以及存储介质-CN202210138353.2在审
发明人：大桥直史 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明的基板处理装置具有：处理室，其容纳基板；基板载置部，其在处理室内载置基板；第一加热部，其设于基板载置部且加热基板；第二加热部，其设于处理室内且加热基板的外周；气体供给部，其向基板供给处理气体；等离子体生成部，其在处理室内将处理气体活性化；以及控制部，其构成为能够控制第一加热部、第二加热部、气体供给部以及等离子体生成部，以进行第一处理工序和第二处理工序，该第一处理工序至少在第一温度与第二温度之间加热基板，该第二处理工序至少在第一温度与第二温度之间以使基板表面的温度偏差在恒定的温度偏差的范围内的方式使第二加热部的温度比进行第一处理工序时的第二加热部的温度高
处理装置方法半导体制造以及存储介质

[发明专利]基板加热装置以及基板处理系统-CN202110163001.8在审
发明人：近藤士朗;小针伦;海老根尧;细田浩;加藤茂 -专利权人：东京应化工业株式会社
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板加热装置，其抑制检测部的劣化并且抑制检测部的变色、劣化所伴随的响应性的变化。该基板加热装置包括：腔室，在内部形成有可收纳基板的收纳空间；基板加热部，配置于所述基板的一面侧，并且可利用红外线对所述基板进行加热；检测部，至少一部分配置于所述收纳空间；保护部，至少保护所述检测部中的配置于所述收纳空间的部分
加热装置以及处理系统