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- [发明专利]一种基于红外成像的薄膜测厚仪-CN201310073337.0有效
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赵斌;曹智颍;汪琛;陈海平
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华中科技大学
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2013-03-08
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2013-06-26
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G01B11/06
- 本发明公开了一种基于红外成像的薄膜测厚仪,包括光源、准直透镜、分光棱镜、参考路散射玻璃、参考路红外滤光片、参考路反射镜、测量路散射玻璃、测量路红外滤光片、测量路反射镜、半透半反分光镜、成像透镜、CCD;测量时参考物经反射镜、分光镜和成像透镜成像到CCD光敏面,被测物经反射镜和成像透镜也成像到CCD光敏面,CCD将图像传送至计算机,经图像处理后根据图像的灰度值求得被测物的厚度;如此形成双光路测量系统,避免了光源光强变化的影响;使用散射光透射成像的测量体系,避免了传统红外测厚装置中存在的干涉影响;设置具有多个局部标准厚度的参考物,该装置可以获取参考物各个局部标准厚度,从而能够更加精确地测量薄膜厚度。
- 一种基于红外成像薄膜测厚仪
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