“减薄制样”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1112631个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种用于单芯片减薄的工装及方法-CN201910907612.1有效
发明人：冯小成;荆林晓;李峰;李洪剑;井立鹏 -专利权人：北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于单芯片减薄的工装，包括单晶硅片和减薄膜，单晶硅片中心加工有圆孔，待减薄的单颗芯片通过减薄膜固定在圆孔内部；单晶硅片的厚度为待减薄芯片厚度±5μm，圆孔的直径小于90mm，且大于等于待减薄芯片对角线的本发明进一步公开了一种用于单芯片减薄的方法，首先制备工装，然后利用工装固定芯片，设置减薄机粗磨和精磨参数，实现粗磨减薄和精磨减薄，保证减薄后的芯片厚度、TTV和自身强度满足设计要求。利用本发明中的工装及方法，可高效、稳定的完成单颗芯片的减薄，实现对MPW拼版圆片上不同厚度要求芯片的减薄，方法简单实用、易于实现，可操作性强。
一种用于芯片工装方法

[发明专利]一种晶圆减薄方法及减薄装置-CN202211694359.4在审
发明人：李森;刘远航;赵德文;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆减薄方法及减薄装置，所述晶圆减薄方法在减薄装置中进行，所述减薄装置包括转台，所述转台的表面配置有六个工位，分别包括多个装卸工位、多个粗磨工位和多个精磨工位；所述晶圆减薄方法包括：提供至少一片晶圆，由所述装卸工位上片；所述转台带动晶圆转动进入各所述粗磨工位，进行多次粗磨减薄；所述转台继续带动晶圆转动进入各所述精磨工位，进行多次精磨减薄。本发明提供的减薄装置配置了6加工工位，可采用不同的加工模式兼容不同硬度材料的减薄工艺，节省了加工时间，大幅提升了晶圆减薄的产能和设备利用率。
一种晶圆减薄方法装置

[实用新型]晶圆减薄装置-CN202222790692.7有效
发明人：向雪燕 -专利权人：重庆康佳光电技术研究院有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆减薄装置，晶圆减薄装置用于对晶圆进行减薄。晶圆减薄装置包括承载上料机构以及减薄机构，其中，晶圆放置于承载上料机构上，承载上料机构与减薄机构相对设置，减薄机构包括盛载有第一溶液的刻蚀液容器以及与刻蚀液容器选择性连通的喷射组件，喷射组件与承载上料机构上放置的晶圆对准在本申请的晶圆减薄装置中，第一溶液对晶圆进行刻蚀减薄，减薄晶圆的整体厚度，机械结构稳定性好，避免出现晶格损伤、划痕、崩边甚至破片，有效提升晶圆减薄的良率。
晶圆减薄装置

[发明专利]生活垃圾焚烧炉排渣的自动采样制样一体化系统-CN201810402435.7在审
发明人：郭祥信 -专利权人：中国城市建设研究院有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G01N1/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于生活垃圾焚烧炉排渣的自动采样制样一体化系统，包括对所述垃圾焚烧炉排出的炉渣进行定时采样的自动采样机，对从所述自动采样机输出的炉渣进行破碎的破碎机，将破碎后的炉渣缩分成小份待测样品的缩分机本发明的自动采样制样一体化系统集炉渣采样、制样于一体，既能保证采样、制样的规范性，又能减轻采样人员的劳动强度，保障采样人员安全；因此采用本发明的自动采样制样一体化系统有助于焚烧炉操作人员得到真实的炉渣热灼减率数据
炉渣制样一体化系统自动采样采样焚烧炉破碎机破碎生活垃圾焚烧炉自动采样机缩分机排渣垃圾焚烧炉待测样品定时采样工业应用炉渣输送人员安全输送机排出输出帮助保证

[实用新型]生活垃圾焚烧炉排渣的自动采样制样一体化系统-CN201820630784.X有效
发明人：郭祥信 -专利权人：中国城市建设研究院有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G01N1/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于生活垃圾焚烧炉排渣的自动采样制样一体化系统，包括对所述垃圾焚烧炉排出的炉渣进行定时采样的自动采样机，对从所述自动采样机输出的炉渣进行破碎的破碎机，将破碎后的炉渣缩分成小份待测样品的缩分机本实用新型的自动采样制样一体化系统集炉渣采样、制样于一体，既能保证采样、制样的规范性，又能减轻采样人员的劳动强度，保障采样人员安全；因此采用本实用新型的自动采样制样一体化系统有助于焚烧炉操作人员得到真实的炉渣热灼减率数据
炉渣制样一体化系统自动采样采样本实用新型焚烧炉破碎机破碎生活垃圾焚烧炉自动采样机缩分机排渣垃圾焚烧炉待测样品定时采样工业应用炉渣输送人员安全输送机排出输出帮助保证

[实用新型]一种型线轴瓦-CN202321000010.6有效
发明人：张志峰;田骏 -专利权人：米巴精密零部件（中国）有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： F16C33/04 文献下载
摘要：轴瓦内壁在周向上分为承载区和非承载区；承载区在周向上占有轴瓦内壁的夹角为40.0°~90.0°，承载区包括沿轴瓦两侧边缘设置的过渡面和位于两侧的过渡面之间的主承载面，过渡面的宽度为6.0‑10.0 mm；轴瓦在过渡面上做减薄处理，最小减薄为0，最大减薄为30.0~50.0μm。本实用新型提供的型线轴瓦加工难度低，易于制得高尺寸精度的产品；本实用新型的型线轴瓦能够有效延缓使用过程的磨损，延长使用寿命。
一种线轴

[发明专利]一种喷淋式玻璃基板减薄线-CN201910368288.0有效
发明人：凌卫平 -专利权人：蚌埠市羚旺新工艺材料研发科技有限公司
申请日： 2019-05-05 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种喷淋式玻璃基板减薄线，包括：机架，该机架的左侧设置有输送台，所述输送台上设置有输送轴，所述输送台的侧壁设置有控制柜；减薄箱，该减薄箱设置在所述机架上方，且位于所述输送台右侧，其中，所述减薄箱内设置有输送机构，所述输送机构与所述输送轴位于同一水平线上，所述减薄箱两侧对称设置有移动机构，该移动机构上对应所述减薄箱顶部设置有喷淋装置，所述移动机构由设置在所述减薄箱底部两侧壁的驱动机构驱动连接，本发明通过设置输送机构，能够使待减薄玻璃在减薄箱内间断式的前进，延长了袋减薄玻璃在减薄箱的停留时间，确保待减薄玻璃能够充分与减薄液接触。
一种喷淋玻璃基板减薄线

[实用新型]一种喷淋式玻璃基板减薄线-CN201920630850.8有效
发明人：凌卫平 -专利权人：蚌埠市羚旺新工艺材料研发科技有限公司
申请日： 2019-05-05 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种喷淋式玻璃基板减薄线，包括：机架，该机架的左侧设置有输送台，所述输送台上设置有输送轴，所述输送台的侧壁设置有控制柜；减薄箱，该减薄箱设置在所述机架上方，且位于所述输送台右侧，其中，所述减薄箱内设置有输送机构，所述输送机构与所述输送轴位于同一水平线上，所述减薄箱两侧对称设置有移动机构，该移动机构上对应所述减薄箱顶部设置有喷淋装置，所述移动机构由设置在所述减薄箱底部两侧壁的驱动机构驱动连接，本实用新型通过设置输送机构，能够使待减薄玻璃在减薄箱内间断式的前进，延长了袋减薄玻璃在减薄箱的停留时间，确保待减薄玻璃能够充分与减薄液接触。
减薄输送机构移动机构输送台本实用新型输送轴玻璃同一水平线玻璃基板对称设置喷淋装置驱动机构驱动连接间断式减薄线减薄液控制柜两侧壁喷淋式箱顶部侧壁停留

[发明专利]晶圆的减薄方法-CN200910197079.0有效
发明人：黄河;高大为;蒲贤勇;陈轶群;刘伟;谢红梅;杨广立;钟旻 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-10-13 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆的减薄方法，包括下列步骤：提供待减薄的半导体晶圆；对所述晶圆表面进行研磨减薄，直至停止厚度；对所述晶圆表面进行喷雾腐蚀减薄，直至预定减薄厚度。本发明采取分步减薄的方式，先使用机械研磨进行初步减薄至停止厚度；再采用喷雾腐蚀进一步减薄至预定减薄厚度，使得晶圆在减薄过程中，避免因机械研磨所产生的应力损坏晶圆，减少晶圆边缘的断裂现象，并改善晶圆表面平整度
方法

[实用新型]可自动送取样的热风穿透内循环式煤样减湿装置-CN201220301335.3有效
发明人：任率 -专利权人：湖南三德科技发展有限公司
申请日： 2012-06-26 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可自动送取样的热风穿透内循环式煤样减湿装置，包括箱体、控制器、送取样机构以及装设于密闭箱体内的风机、隔板、气体加热器、一个以上的盛样机构，隔板将箱体分隔成连通的上腔室和下腔室，风机位于上腔室中；盛样机构包括用来盛装煤样的煤样盘和用来收集落样的煤样托，煤样盘的底部开设有一个以上的通风孔，煤样盘的顶部上设有用来与隔板接触配合的密封部，煤样托位于煤样盘的下方；送取样机构与盛样机构相连并带着盛样机构进出箱体本实用新型具有结构简单、自动化程度高、操作方便、减湿效率高、能耗低、能够提高制样精确性、降低劳动强度等优点。
自动取样热风穿透循环式煤样减湿装置

[发明专利]废塑料瓶的利用方法-CN200310107571.7无效
发明人：裴珮 -专利权人：裴珮
申请日： 2003-12-17 - 公布日： 2005-06-22 - 主分类号： A61C15/02 文献下载
摘要：就是把凡是壁厚在零点三五毫米以上厚的废塑料瓶切成梭状，将头磨薄做成牙签，它的头是钝圆形的，并且是从近头的五毫米处开始减薄，五毫米处到顶端的小截面是梯形的，其目的是起助力作用，它本身就是助力器，牙签的正面是中间大两头小的，而两头也不一样大，一头大一些一头小一些，其薄厚也不一样，大的一头略厚一些，用以剔较宽的牙缝，小的一头薄一些适合剔较小的牙缝，牙签是顺塑料瓶横向切的，其尺寸薄厚与上述一样，湾的牙签有一个好处，就是对于剔后磨牙很是方便，直牙签是顺废塑料瓶纵向切的，其尺寸薄厚上述一样。
塑料瓶利用方法

[发明专利]一种超薄玻璃留边减薄方法-CN202111653797.1在审
发明人：易文辉 -专利权人：苏州凯利昂光电科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种超薄玻璃留边减薄方法，包括以下步骤：提供一块待减薄的玻璃；在待减薄的玻璃上确定需求尺寸，并在边缘、背面及侧边涂覆防酸油墨；将待减薄的玻璃贴附在载板上，放入氢氟酸中进行减薄；减薄完成后，将玻璃从载板上取下并清洗本发明通过留边的方法，通过涂覆防酸油墨以保护边缘和背面不被腐蚀，进而在减薄完成后，边缘仍未初始厚度，进而增加减薄后玻璃的强度，以防止在拿取减薄完成的玻璃时造成破片。同时在减薄是，通过载板进行支撑，有效避免减薄时玻璃变形，并防止破片。
一种超薄玻璃留边减薄方法

[发明专利]一种利用垃圾渗滤液制备减薄型陶瓷添加剂的方法-CN201710062865.4有效
发明人：刘明华;张玉清;刘以凡;吕源财;李晓泉 -专利权人：福州大学;福建省博屹环保科技有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： C04B35/634 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用垃圾渗滤液制备减薄型陶瓷添加剂的方法，以垃圾渗滤液为原料，依次通过提纯、碱化、磺化和接枝共聚反应，并添加蒙脱石和引发剂进行制得减薄型陶瓷添加剂，根据本发明方法制得的陶瓷添加剂具有良好的减水
一种利用垃圾渗滤制备减薄型陶瓷添加剂方法

[发明专利]一种减薄装置及减薄方法-CN201810117796.7有效
发明人：田维 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-02-06 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种减薄装置及减薄方法，利用承载装置固定显示面板，利用高度调节装置调节显示面板与液体仓内侵蚀液之间的距离，通过使显示面板的第一基板分阶段与侵蚀液接触，逐步减薄第一基板，其中，在第一减薄阶段实现初步减薄，在第二减薄阶段实现快速减薄，在第三减薄阶段实现微减薄，这样第一基板上的缺陷不会过早被侵蚀液完全侵蚀，从而避免缺陷放大，相应的，无需额外进行抛光工序即可消除显示面板表面的凹点、划伤等不良，简化显示面板减薄工序
一种装置方法

[发明专利]一种玻璃减薄生产线及使用方法-CN201910336747.7在审
发明人：韦建晶 -专利权人：合肥伟仕泰克电子材料有限公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开一种玻璃减薄生产线及使用方法，包括转换区、冲洗区和蚀刻区，所述冲洗区和所述蚀刻区的两端均设置在所述转换区上，所述转换区上设置有进料端和出料端；竖直容纳在玻璃减薄治具中的多个玻璃通过所述进料端被加载到所述转换区中，在所述冲洗区中进行减薄前清洁并且在所述蚀刻区中经历减薄处理，经减薄处理后的玻璃可再次经所述转换区进入所述冲洗区以经历减薄后清洁并且通过所述转换区的所述出料端被卸载到外部；本发明中所述玻璃减薄生产线采用喷淋减薄的方式对竖直容纳在玻璃减薄治具中的玻璃进行减薄处理，可实现单次多片玻璃减薄，同时避免浸泡式减薄法中反应产物粘附在玻璃上造成不良品的问题。
减薄玻璃转换区冲洗区减薄处理蚀刻区出料端进料端竖直治具容纳清洁不良品浸泡式多片加载喷淋卸载粘附外部

首页
«上一页
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条